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기판의 상면에 플럭스 용액을 초음파로서 무화하여 분사하여 도포하는 상부도포부;상기 기판의 하면에 플럭스 용액을 도포하는 하부도포부;상기 기판을 이송시키며, 상기 상부도포부와 하부도포부에 의해 기판에 도포된 용액을 고르게 코팅하는 기판코팅부;를 포함하며,상기 하부도포부는,플럭스 용액이 저장된 제2플럭스 탱크;상기 기판의 하측에 위치되며, 상기 제2플럭스 탱크로부터 공급된 플럭스 용액이 상기 기판의 하측면에 묻도록 상기 플럭스 용액이 오버플로우 되는 터브;상기 제2플럭스 탱크의 플럭스 용액을 상기 터브까지 안내하는 제2라인;을 포함하는 플럭스 코팅장치
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제1항에 있어서,상기 상부도포부는,플럭스 용액이 저장된 제1플럭스 탱크;상기 기판의 상측에 위치되며, 상기 제1플럭스 탱크에 저장된 플럭스 용액을 초음파로서 무화하여 상기 기판의 상측면에 분사하는 초음파 노즐;상기 제1플럭스 탱크의 플럭스 용액을 상기 초음파 노즐까지 안내하는 제1라인;을 포함하는 플럭스 코팅장치
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제2항에 있어서,상기 상부도포부는,상기 제1라인상에 구비되며, 상기 제1플럭스 탱크의 플럭스 용액을 상기 초음파 노즐까지 압송하는 펌프;상기 제1라인상에 구비되며, 상기 초음파 노즐로 공급되는 플럭스 용액을 여과하는 필터;를 포함하는 플럭스 코팅장치
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삭제
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제1항에 있어서,상기 하부도포부는,상기 터브로부터 오버플로우 되어 넘치는 플럭스 용액을 회수하는 회수조;상기 회수조의 플럭스 용액을 상기 제2플럭스 탱크로 공급하는 제3라인;을 포함하는 플럭스 코팅장치
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제5항에 있어서,상기 회수조는,상기 터브로부터 오버플로우되어 넘치는 플럭스 용액 및 상기 상부도포부로부터 분사되어 상기 기판의 상면에 분사된 후 상기 기판으로부터 떨어지는 플럭스 용액을 회수하도록 이루어지는 플럭스 코팅장치
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제1항에 있어서,상기 상부도포부는 신품의 플럭스 용액을 분사하며,상기 하부도포부는 상기 기판의 하면에 도포된 후 회수된 플럭스 용액을 재사용하도록 이루어지는 플럭스 코팅장치
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제7항에 있어서,상기 하부도포부는,상기 상부도포부에 의해 기판에 분사된 후 회수된 플럭스 용액을 재사용하도록 이루어지는 플럭스 코팅장치
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제1항에 있어서,상기 기판코팅부는,상기 기판의 상면 또는 하면과 접촉하여 상기 기판을 이송시키며, 상기 기판에 분사 또는 도포된 플럭스 용액을 압착하여 상기 기판에 고르게 코팅하는 롤러를 포함하는 플럭스 코팅장치
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