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엑스레이 소스가 착탈 결합될 수 있는 엑스레이 소스 지지부;상기 지지부의 상면 또는 측면에 위치하는 제1 절연기둥; 및상기 제1 절연기둥에 결합되며, 일측에는 전극이 부착되는 하나 이상의 전극 고정부;를 포함하고, 상기 전극 고정부의 위치를 고정 및 조절함으로써 상기 엑스레이 소스의 전극들에 전원을 인가하도록 구성되고, 상기 전극 고정부는 상기 제1 절연기둥이 관통될 수 있도록 구성되며, 상기 전극에는 하나 이상의 돌출부가 형성되어 상기 엑스레이 소스의 전극들에 직접 접촉함으로써 상기 엑스레이 소스의 전극들에 전원을 인가하는것을 특징으로 하는, 엑스레이 소스 어셉터
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제1항에 있어서, 상기 엑스레이 소스의 전극은 게이트 전극 또는 포커싱 전극인 것을 특징으로 하는, 엑스레이 소스 어셉터
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제1항에 있어서, 상기 전극에는 하나 이상의 전극 연결홀이 형성되고,상기 전극 연결홀을 관통하는 전원 연결 부재가 상기 엑스레이 소스의 전극들에 접촉함으로써 상기 엑스레이 소스의 전극들에 전원을 인가하는 것을 특징으로 하는, 엑스레이 소스 어셉터
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제1항에 있어서, 상기 전극에는 하나 이상의 외부 전원 연결홀이 형성되고,외부 전원과 연결된 전선이 상기 외부 전원 연결홀에 접촉함으로써 상기 외부 전원으로부터 상기 전극 각각에 전원을 인가하는 것을 특징으로 하는, 엑스레이 소스 어셉터
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7
제1항에 있어서, 상기 엑스레이 소스의 캐소드 전극은 상기 엑스레이 소스 지지부에 슬라이딩 방식으로 착탈 결합되도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 엑스레이 소스 어셉터
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엑스레이 시스템에 있어서, 제1항, 제3항, 제5항, 제6항 및 제7항 중 어느 한 항에 따른 엑스레이 소스 어셉터가 내부에 위치하며, 고진공으로 유지될 수 있는 메인 챔버; 엑스레이 소스가 내부에 위치하며, 저진공으로 유지될 수 있는 서브 챔버; 상기 메인 챔버와 상기 서브 챔버의 연통을 차단 및 개통할 수 있는 제1 게이트; 상기 서브 챔버를 외부로부터 개방 및 폐쇄할 수 있는 제2 게이트; 및상기 서브 챔버에 위치한 상기 엑스레이 소스가 상기 메인 챔버의 상기 엑스레이 소스 어셉터에 이송되어 결합되도록 상기 엑스레이 소스의 이송을 가이드하는 이송 가이드부;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 엑스레이 시스템
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제8항에 있어서, 상기 엑스레이 시스템은 상기 메인 챔버 및 상기 서브 챔버의 진공도를 제어하는 진공 제어부를 더 포함하고, 그리고 상기 진공 제어부는, 상기 엑스레이 소스가 상기 서브 챔버에 위치하는 경우, 상기 서브 챔버를 선행적으로 진공 유지시키는 것을 특징으로 하는, 엑스레이 시스템
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제8항에 있어서, 상기 이송 가이드부를 통한 상기 엑스레이 소스의 상기 엑스레이 소스 어셉터로의 결합은 수동 또는 자동으로 수행되는 것을 특징으로 하는, 엑스레이 시스템
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11
제9항에 있어서, 상기 엑스레이 소스 어셉터는 상기 엑스레이 소스가 슬라이딩 방식으로 착탈 결합되도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 엑스레이 시스템
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