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상면에 곡률반경을 갖도록 적어도 하나의 렌즈 형성용 홈이 구비된 실리콘 기판; 및상기 렌즈 형성용 홈의 형상이 유지되도록 상기 렌즈 형성용 홈을 포함한 실리콘 기판 상에 형성된 실리카층을 포함하는 광배선 구조물
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제1 항에 있어서,상기 실리콘 기판의 하면에 상기 렌즈 형성용 홈에 형성된 실리카층의 하면 일부분이 노출되도록 비아홀이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물
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제2 항에 있어서,상기 실리콘 기판의 렌즈 형성용 홈에 매립되도록 상기 실리카층의 전체 상부면에 형성된 하부 클래딩층과, 상기 하부 클래딩층의 상면에 형성된 코어층과, 상기 코어층의 상면에 형성된 상부 클래딩층으로 이루어진 광도파로가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물
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제3 항에 있어서,상기 렌즈 형성용 홈 및 상기 비아홀이 각각 일정간격 이격된 두 개의 제1 및 제2 렌즈 형성용 홈과 제1 및 제2 비아홀로 구비될 경우,상기 제1 및 제2 비아홀이 폐쇄되도록 상기 실리콘 기판의 하면에 각각 부착되는 레이저 및 포토 다이오드가 더 구비되고, 상기 실리콘 기판의 하면 일측에 상기 레이저 다이오드를 구동시키는 드라이버 및 수신된 광신호를 전기신호로 변환시키는 수신모듈이 각각 부착되는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물
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제4 항에 있어서,상기 제1 및 제2 렌즈 형성용 홈 상에 위치된 광도파로의 상면에 서로 대향되도록 일정 각도로 경사진 제1 및 제2 미러 홈이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물
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제5 항에 있어서,상기 제1 및 제2 미러 홈은 상기 제1 및 제2 렌즈 형성용 홈 사이의 방향으로 서로 대향되게 45도 각도로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물
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제2 항에 있어서,상기 실리콘 기판의 렌즈 형성용 홈에 매립되도록 상기 실리카층 상에 형성된 마이크로렌즈가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물
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제7 항에 있어서,상기 렌즈 형성용 홈, 상기 비아홀 및 상기 마이크로렌즈가 각각 일정간격 이격된 두 개의 제1 및 제2 렌즈 형성용 홈, 제1 및 제2 비아홀, 및 제1 및 제2 마이크로렌즈로 구비될 경우,상기 제1 및 제2 비아홀이 폐쇄되도록 상기 실리콘 기판의 하면에 각각 부착되는 레이저 및 포토 다이오드가 더 구비되고, 상기 실리콘 기판의 하면 일측에 상기 레이저 다이오드를 구동시키는 드라이버 및 수신된 광신호를 전기신호로 변환시키는 수신모듈이 각각 부착되며, 제1 및 제2 광섬유가 내장된 광접속부재가 상기 실리카층의 상면에 부착되되,상기 광접속부재는 상기 제1 및 제2 광섬유를 통해 상기 제1 및 제2 마이크로렌즈로 광이 전달되도록 상기 실리카층의 상면에 부착되는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물
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제8 항에 있어서,상기 광접속부재 및 상기 실리카층 사이에 스페이서를 이용하여 일정간격 이격되도록 부착되는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물
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제1 항에 있어서,상기 렌즈 형성용 홈의 곡률반경은 50㎛ 내지 200㎛인 것을 특징으로 하는 광배선 구조물
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(a) 실리콘 기판의 상면에 곡률반경을 갖도록 적어도 하나의 렌즈 형성용 홈을 형성하는 단계; 및(b) 상기 렌즈 형성용 홈의 형상이 유지되도록 상기 렌즈 형성용 홈을 포함한 실리콘 기판의 전체 상부면에 실리카층을 형성하는 단계를 포함하는 광배선 구조물의 제조방법
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제11 항에 있어서,상기 단계(a)는,(a-1) 상기 실리콘 기판의 상면에 마스크 패턴을 형성하는 단계; 및(a-2) 습식 또는 건식 식각법을 통해 상기 실리콘 기판의 상면을 식각하여 곡률반경을 갖는 적어도 하나의 렌즈 형성용 홈을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물의 제조방법
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제12 항에 있어서,상기 습식 식각법은 불산, 질산 및 아세트산 용액을 일정 비율로 혼합한 용액으로 식각하며, 각 용액의 부피비에 따라 식각률, 표면거칠기 및 등방성 정도를 조절하는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물의 제조방법
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제11 항에 있어서,상기 실리콘 기판의 전체 상부면에 하부 클래딩층, 코어층 및 상부 클래딩층을 순차적으로 적층하여 광도파로를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물의 제조방법
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제14 항에 있어서,상기 실리콘 기판의 하면에 상기 렌즈 형성용 홈에 형성된 실리카층의 하면 일부분이 노출되도록 비아홀을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물의 제조방법
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제15 항에 있어서,상기 렌즈 형성용 홈 및 상기 비아홀이 각각 일정간격 이격된 두 개의 제1 및 제2 렌즈 형성용 홈과 제1 및 제2 비아홀로 형성할 경우,상기 제1 및 제2 비아홀이 폐쇄되도록 상기 실리콘 기판의 하면에 각각 레이저 및 포토 다이오드를 더 부착하고, 상기 실리콘 기판의 하면 일측에 상기 레이저 다이오드를 구동시키는 드라이버 및 수신된 광신호를 전기신호로 변환시키는 수신모듈을 더 부착하는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물의 제조방법
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제16 항에 있어서,상기 제1 및 제2 렌즈 형성용 홈 상에 위치된 광도파로의 상면에 서로 대향되도록 일정 각도로 경사진 제1 및 제2 미러 홈을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물의 제조방법
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제17 항에 있어서,상기 제1 및 제2 미러 홈은 레이저 또는 블레이드를 이용하여 상기 제1 및 제2 렌즈 형성용 홈 사이의 방향으로 서로 대향되게 45도 각도로 경사지게 형성하는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물의 제조방법
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제11 항에 있어서,상기 실리콘 기판의 렌즈 형성용 홈에 매립되도록 상기 실리카층 상에 마이크로렌즈를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물의 제조방법
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제19 항에 있어서,상기 렌즈 형성용 홈, 상기 실리콘 기판의 하면에 상기 렌즈 형성용 홈에 형성된 실리카층의 하면 일부분이 노출되도록 형성되는 비아홀 및 상기 마이크로렌즈가 각각 일정간격 이격된 두 개의 제1 및 제2 렌즈 형성용 홈, 제1 및 제2 비아홀, 및 제1 및 제2 마이크로렌즈로 형성할 경우,상기 제1 및 제2 비아홀이 폐쇄되도록 상기 실리콘 기판의 하면에 각각 레이저 및 포토 다이오드를 더 부착하고, 상기 실리콘 기판의 하면 일측에 상기 레이저 다이오드를 구동시키는 드라이버 및 수신된 광신호를 전기신호로 변환시키는 수신모듈을 더 부착하며, 제1 및 제2 광섬유가 내장된 광접속부재를 상기 실리카층의 상면에 부착하되,상기 광접속부재는 상기 제1 및 제2 광섬유를 통해 상기 제1 및 제2 마이크로렌즈로 광이 전달되도록 상기 실리카층의 상면에 부착하는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물의 제조방법
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제20 항에 있어서,상기 광접속부재 및 상기 실리카층 사이에 스페이서를 이용하여 일정간격 이격되도록 부착하는 것을 특징으로 하는 광배선 구조물의 제조방법
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제11 항에 있어서,상기 렌즈 형성용 홈의 곡률반경은 50㎛ 내지 200㎛인 것을 특징으로 하는 광배선 구조물의 제조방법
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