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고강도 탄소나노튜브 3차원 네트워크의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014059997
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유체 내에서도 3차원 네트워크 구조를 유지할 수 있는 고강도 탄소나노튜브 3차원 네트워크의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 탄소나노튜브 3차원 네트워크를 형성한 후 원자층 증착법을 통해 금속산화물을 상기 탄소나노튜브 3차원 네트워크 상에 코팅하고, 다시 탄소나노튜브를 코팅하는 단계를 포함하는 것이 특징이다.
Int. CL C01B 31/02 (2006.01.01) C23C 16/26 (2006.01.01) B82B 3/00 (2017.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01)
출원번호/일자 1020110088430 (2011.09.01)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1293123-0000 (2013.07.30)
공개번호/일자 10-2012-0059349 (2012.06.08) 문서열기
공고번호/일자 (20130812) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020100120308   |   2010.11.30
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.09.01)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이해원 대한민국 서울특별시 성동구
2 서정은 대한민국 서울특별시 성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.09.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0683691-76
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.08.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2012-0071492-42
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0016009-17
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0204633-51
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.03.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0204634-07
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.07.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0513399-77
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
1) 실리콘 기판 위에 실리콘 필러(pillar)를 형성하는 단계;2) 상기 실리콘 기판을 금속 이촉매 용액에 침지시켜 기판 위에 금속 촉매를 균일하게 흡착시키는 단계;3) 상기 촉매가 흡착된 기판 위에 탄소소스 기체를 공급하여 상기 실리콘 필러 사이에 탄소나노튜브 3차원 네트워크를 형성하는 단계; 4) 원자층 증착법을 통해 상기 탄소나노튜브 3차원 네트워크 상에 금속산화물을 코팅하는 단계: 및 5) 상기 금속산화물이 코팅된 탄소나노튜브 3차원 네트워크를 상기 금속 이촉매 용액에 다시 침지시켜 촉매를 흡착시킨 후 탄소소스 기체를 공급하여 탄소나노튜브를 코팅하는 단계를 포함하는 것으로,상기 금속산화물은 Al2O3, HfO2, ZrO2, ZnO2, CuOx 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 고강도 탄소나노튜브 3차원 네트워크의 제조 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 금속 촉매는 Fe-Mo 촉매인 것을 특징으로 하는 고강도 탄소나노튜브 3차원 네트워크의 제조 방법
4 4
제3항에 있어서,상기 Fe-Mo 이촉매 용액 내의 Fe와 Mo의 몰농도비는 5:1∼0
5 5
제2항에 있어서, 상기 2) 단계의 이촉매 금속이 흡착된 기판을 열처리한 다음, NH3 또는 수소기체를 공급하여 촉매금속을 환원시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고강도 탄소나노튜브 3차원 네트워크의 제조 방법
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제2항에 있어서,상기 탄소소스 기체는 메탄, 에틸렌, 아세틸렌, 벤젠, 헥산, 에탄올, 메탄올 및 프로판올로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 고강도 탄소나노튜브 3차원 네트워크의 제조 방법
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제2항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 3차원 네트워크는 실리콘 기판 상에 형성된 실리콘 필러 간에 병렬적으로 수평성장되어 복수의 탄소나노튜브 브리지(bridge)가 형성된 것을 특징으로 하는 고강도 탄소나노튜브 3차원 네트워크의 제조 방법
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제2항에 있어서,서로 인접하고 있는 상기 실리콘 필러2개간에 수평으로 형성되어 3차원 네트워크를 이루는 탄소나노튜브 브리지의 개수는 10개 이상인 것을 특징으로 하는 고강도 탄소나노튜브 3차원 네트워크의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 교육과학기술부(한국과학기술연구원) 원천기술개발사업(21세기프론티어연구개발사업) 3차원 네트워크 구조를 갖는 탄소나노튜브 합성 및 광소자 응용 기술