요약 | 본 발명은 복수 차에 걸쳐 증착 및 열처리를 수행함에 따라서, 상대적으로 구분된 상태의 나노입자의 평균 크기의 증가를 조절할 수 있고, 보자력을 상대적으로 증가시킬 수 있는 코발트 피티 나노입자 형성방법을 제공한다.본 발명의 코발트 피티 나노입자 형성방법은 기판(10) 위에 폴리이미드로 이루어진 절연체전구체 층(20)을 형성하고, 상기 절연체전구체 층(20) 위에 코발트(Co)와 피티(Pt)를 배치하여 미리 정한 두께의 코발트 피티 박막(CoPt film)을 증착하고, 상기 코발트 피티 박막과 상기 절연체전구체 층(20)을 미리 정한 열처리 온도로 열처리하여 상기 절연체전구체 층(20) 위에 코발트 피티(CoPt) 나노입자를 형성하고, 상기 코발트 피티 나노입자와 상기 절연체전구체 층(20)에게 복수 차에 걸쳐 증착 및 열처리를 수행하여, 증착 및 열처리 사이클 차수에 대응하게 나노입자 평균 크기를 증가시켜 성장된 코발트 피티 나노입자(30)를 형성한다.코발트 피티, 나노입자, 절연체전구체, 증착, 열처리 |
---|---|
Int. CL | C01G 51/00 (2006.01.01) B82Y 30/00 (2017.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01) |
CPC | C01G 51/00(2013.01) C01G 51/00(2013.01) C01G 51/00(2013.01) C01G 51/00(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020070045427 (2007.05.10) |
출원인 | 한양대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-0849418-0000 (2008.07.24) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20080801) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2007.05.10) |
심사청구항수 | 6 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한양대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 성동구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 윤종승 | 대한민국 | 서울 서대문구 |
2 | 김영호 | 대한민국 | 서울 송파구 |
3 | 김정훈 | 대한민국 | 서울 동작구 |
4 | 김전 | 대한민국 | 서울 마포구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 전익수 | 대한민국 | 서울시 강남구 테헤란로 ***, **층 (역삼동, 우신빌딩)(서정특허법률사무소) |
2 | 김병옥 | 대한민국 | 서울시 강남구 테헤란로 ***, **층 (역삼동, 우신빌딩)(서정특허법률사무소) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한양대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울 성동구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 Patent Application |
2007.05.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0347090-26 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2008.03.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5037763-28 |
3 | 등록결정서 Decision to grant |
2008.07.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0373588-97 |
4 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5068294-39 |
5 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.02.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5022074-70 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5155816-75 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5156285-09 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 기판을 이용한 코발트 피티(CoPt) 나노입자 형성방법에 있어서,(a) 상기 기판 위에 폴리이미드로 이루어진 절연체전구체 층을 형성하는 제1단계;(b) 상기 절연체전구체 층 위에 코발트(Co)와 피티(Pt)를 배치하여 미리 정한 두께의 코발트 피티 박막을 증착하는 제2단계;(c) 상기 코발트 피티 박막과 상기 절연체전구체 층을 미리 정한 열처리 온도로 열처리하여 상기 절연체전구체 층 위에 코발트 피티 나노입자를 형성하는 제3단계;(d) 상기 코발트 피티 나노입자와 상기 절연체전구체 층에게 복수 차에 걸쳐 증착 및 열처리를 수행하여, 증착 및 열처리 사이클 차수에 대응하게 나노입자 평균 크기를 증가시켜 성장된 코발트 피티 나노입자를 형성하는 제4단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 코발트 피티 나노입자 형성방법 |
2 |
2 제1항에 있어서,상기 (a) 제1단계에서 상기 절연체전구체는 폴리이미드(Polyimide, PI)를 반응 용매인 엔-메틸-2-피롤리디온(N-methyl-2-pyrrolidinone)에 1:3의 비율로 용해(dissolve)시킨 후, 규소(Si) 같은 금속이나 세라믹 같은 무기물 기판 위에 회전수 500rpm으로 10초(s), 그리고 3000rpm으로 30초 동안 스핀 코팅하여 형성한 것을 특징으로 하는 코발트 피티 나노입자 형성방법 |
3 |
3 제1항에 있어서,상기 (b) 제2단계에서 상기 제1단계에 의해 코팅된 절연체전구체 층 위에 코발트(Co)를 배치하고, 상기 코발트 위에 피티(Pt) 칩(chip)을 모자익(mosaic) 패턴으로 배치하여, 1 |
4 |
4 제1항에 있어서,상기 (c) 제3단계에서 진공(예 : ) 환경 하에서, 650∼800℃ 중에서 선택된 어느 하나의 열처리 온도로 열처리가 수행되어, 각각 구조를 갖는 4nm 평균 크기의 나노입자가 형성되는 것을 특징으로 하는 코발트 피티 나노입자 형성방법 |
5 |
5 제1항에 있어서,상기 (d) 제4단계에서 상기 증착 및 열처리는 이미 존재하는 분리된 나노입자 위에 두께 1 |
6 |
6 제5항에 있어서,상기 (d) 제4단계에서 성장된 코발트 피티 나노입자는 복수 차에 걸친 반복적인 증착 및 열처리를 통해서 단일층으로 존재하고, 코발트와 피티가 한 원자층으로 상호 중첩되어 쌓여있는 구조를 갖고, 4nm로부터 7nm까지 증가된 나노입자의 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 코발트 피티 나노입자 형성방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
패밀리정보가 없습니다 |
---|
국가 R&D 정보가 없습니다. |
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공개전문 정보가 없습니다 |
---|
특허 등록번호 | 10-0849418-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20070510 출원 번호 : 1020070045427 공고 연월일 : 20080801 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20080715 청구범위의 항수 : 6 유별 : B82B 3/00 발명의 명칭 : 코발트 피티 나노입자 형성방법 존속기간(예정)만료일 : 20130725 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한양대학교 산학협력단 서울 성동구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 168,000 원 | 2008년 07월 25일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 172,000 원 | 2011년 07월 11일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 172,000 원 | 2012년 07월 10일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 | 2007.05.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0347090-26 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2008.03.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5037763-28 |
3 | 등록결정서 | 2008.07.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0373588-97 |
4 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5068294-39 |
5 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.02.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5022074-70 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5155816-75 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5156285-09 |
기술번호 | KST2014065526 |
---|---|
자료제공기관 | 미래기술마당 |
기술공급기관 | 한양대학교 |
기술명 | 정보저장용 금속 및 산화물 나노입자 제조 - HDD용 소재 - |
기술개요 |
본 발명은 복수 차에 걸쳐 증착 및 열처리를 수행함에 따라서, 상대적으로 구분된 상태의 나노입자의 평균 크기의 증가를 조절할 수 있고, 보자력을 상대적으로 증가시킬 수 있는 코발트 피티 나노입자 형성방법을 제공한다.본 발명의 코발트 피티 나노입자 형성방법은 기판(10) 위에 폴리이미드로 이루어진 절연체전구체 층(20)을 형성하고, 상기 절연체전구체 층(20) 위에 코발트(Co)와 피티(Pt)를 배치하여 미리 정한 두께의 코발트 피티 박막(CoPt film)을 증착하고, 상기 코발트 피티 박막과 상기 절연체전구체 층(20)을 미리 정한 열처리 온도로 열처리하여 상기 절연체전구체 층(20) 위에 코발트 피티(CoPt) 나노입자를 형성하고, 상기 코발트 피티 나노입자와 상기 절연체전구체 층(20)에게 복수 차에 걸쳐 증착 및 열처리를 수행하여, 증착 및 열처리 사이클 차수에 대응하게 나노입자 평균 크기를 증가시켜 성장된 코발트 피티 나노입자(30)를 형성한다.코발트 피티, 나노입자, 절연체전구체, 증착, 열처리 |
개발상태 | 연구실환경 테스트 |
기술의 우수성 |
가. 더 높은 저장 밀도
- 자성 나노 입자를 형성하였을 경우 particle density가 약 3 x 1012 particles/inch2 이며 random 하게 배열되어 있기 때문에 그 중에 50%만 활용한다고 해도 1 Tb/inch²의 data 용량의 미디어를 개발할 수 있음. 나. 더 간단해진 제조 공정 1) 기존 박막을 이용한 HDD의 경우 domain 마다 자성 재료조성을 달리해 주어야 하나 본 기관의 기술의 경우 그런 공정이 필요없음. 2) 또한 단순히 박막 증착 후 열처리 공정을 하거나 화학적으로 입자 형성 후 열처리를 함으로써 제조가 가능 다. 더 저렴해진 제조 단가 - 앞에서 언급했듯이 기존 박막을 이용한 HDD의 경우 domain 마다 자성 재료 조성을 달리하기 때문에 공정 비용이 더 들며 본 기관의 경우 공정 자체가 더 단순하기 때문에 제조 단가가 더 저렴함. |
응용분야 | 1) 나노입자 제조 방법 |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | |
사업화적용실적 | |
도입시고려사항 |
과제고유번호 | 1340013830 |
---|---|
세부과제번호 | 과C6A2008 |
연구과제명 | 나노기반Imagineer양성사업단 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
연구주관기관명 | 한양대학교 |
성과제출연도 | 2006 |
연구기간 | 200603~201202 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | 기타 |
과제고유번호 | 1345071157 |
---|---|
세부과제번호 | 과C6A2008 |
연구과제명 | 나노기반Imagineer양성사업단 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
연구주관기관명 | 한양대학교 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200603~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
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