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일단에 개구부가 형성되는 하우징;상기 하우징의 내부 설치되며, 상기 개구부와 마주보도록 배치되는 가변초점렌즈;상기 하우징의 내부에 설치되며, 상기 가변초점렌즈로 평행광을 제공하는 콜리메이터; 및상기 하우징의 내부에 설치되며, 외부로부터 전기적 신호를 전송 받아 상기 가변초점렌즈를 좌우로 이동시켜 광을 스캔하는 멤스 렌즈 스캐너를 포함하고,상기 멤스 렌즈 스캐너는 측방으로 구동되어 상기 가변초점렌즈가 평행광을 스캔하도록 하는 것을 특징으로 하는 주사광학 탐침장치
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제 1항에 있어서,상기 가변초점렌즈는 평행광의 경로와 직교를 이루는 상태로 배치되는 것을 특징으로 하는 주사광학 탐침장치
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제 2항에 있어서,상기 가변초점렌즈는 전기습윤 또는 정전력으로 동작하는 것을 특징으로 하는 주사광학 탐침장치
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제 1항에 있어서,상기 멤스 렌즈 스캐너는,상기 가변초점렌즈를 중앙에 설치하도록 하며, 상기 가변초점렌즈를 통해 스캔하는 것을 특징으로 하는 주사광학 탐침장치
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하우징;상기 하우징의 내부에 설치되며, 평행광을 출사하는 콜리메이터; 상기 하우징의 측부에 설치되며, 상기 평행광의 초점을 가변시켜 출사시키는 가변초점렌즈; 및상기 평행광의 방향이 회전되어 상기 가변초점렌즈에 출사되도록 상기 평행광의 출사방향에 대하여 일정의 회전각 범위 이내에서 회전되어 상기 콜리메이터와 상기 가변초점렌즈의 사이에 배치되는 멤스 미러 스캐너를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사광학 탐침장치
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제 5항에 있어서,상기 가변초점렌즈는상기 콜리메이터로부터 출사되는 평행광의 경로에 배치되어 상기 평행광의 초점 거리를 조정하는 것을 특징으로 하는 주사광학 탐침장치
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제 6항에 있어서,상기 멤스 미러 스캐너는상기 가변초점렌즈의 후방에 배치되는 것을 특징으로 하는 주사광학 탐침장치
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제 6항에 있어서,상기 가변초점렌즈는, 전기습윤 또는 정전력으로 동작하는 것을 특징으로 하는 주사광학 탐침장치
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하우징;상기 하우징의 내부에 설치되며, 광을 전달하는 광 파이버;상기 광 파이버의 끝단에 일체로 설치되며, 광을 집속하여 상기 광의 초점거리를 변경하는 가변초점렌즈; 및상기 광의 출사방향에 대하여 일정의 회전각 범위 이내에서 회전되어 상기 하우징의 내부에 설치되며, 상기 가변초점렌즈를 거친 광을 상기 하우징의 측부를 통해 스캔 주사하는 멤스 렌즈 스캐너를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사광학 탐침장치
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