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레이저 간섭계 및 광신호 정렬 장치를 결합한 레이저 간섭계

  • 기술번호 : KST2015174954
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 레이저 간섭계 및 광신호 정렬 장치를 결합한 레이저 간섭계를 제공한다. 광신호 정렬 장치를 결합한 레이저 간섭계에 있어서, 광신호를 방출하기 위한 광원부, 피측정체의 이동 방향과 평행하도록 광신호를 피측정체에 조사하고, 피측정체에서 반사된 반사광신호를 집속하기 위한 광도파로부, 반사광신호를 분석하여 광도파로부의 위치를 정렬하기 위한 정렬제어부 및 기준광신호와 반사광신호 간의 간섭신호를 분석하여 피측정체에 대한 정보를 생성하기 위한 정보제어부를 포함하여 구성되는 제어부 및 광원부에서 방출된 광신호의 일부를 광도파로부에 제공하고, 광도파로부에서 제공받은 반사광신호를 제어부에 제공하며, 광원부에서 방출된 광신호의 나머지를 기준광신호로 제어부에 제공하기 위한 광경로부를 포함하여 구성될 수 있다. 따라서 피측정체의 변위 및 속도를 정밀하게 측정할 수 있다. 피측정체의 반사면으로의 입사 각도를 조절하기 위하여 광신호를 정렬하면 한층 정밀하고 정확한 피측정체에 대한 변위 및 속도를 측정할 수 있다.광신호, 기준광신호, 반사광신호, 간섭신호, 수직단면, 경사단면, 마이크로 구동기, 반사면
Int. CL G01B 11/00 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01) G02B 6/00 (2006.01)
CPC G01B 9/02048(2013.01) G01B 9/02048(2013.01) G01B 9/02048(2013.01) G01B 9/02048(2013.01)
출원번호/일자 1020090046446 (2009.05.27)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1198910-0000 (2012.11.01)
공개번호/일자 10-2010-0128031 (2010.12.07) 문서열기
공고번호/일자 (20121108) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.05.27)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종현 대한민국 광주광역시 북구
2 김만근 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0319366-01
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.12.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0077581-78
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0229693-87
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.06.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0486208-26
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0486189-46
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0052747-93
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.03.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0239972-98
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0239957-13
11 등록결정서
Decision to grant		 2012.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0506293-37
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
레이저 간섭계에 있어서,광신호를 방출하기 위한 광원부;한쪽 끝이 경사단면이며, 피측정체의 이동 방향과 평행하도록 상기 광신호를 상기 피측정체에 조사하고, 상기 피측정체에서 반사된 반사광신호를 집속하기 위한 광도파로부;기준광신호와 상기 반사광신호 간의 간섭신호를 분석하여 상기 피측정체에 대한 정보를 생성하기 위한 정보제어부; 상기 광원부에서 방출된 광신호의 일부를 상기 광도파로부에 제공하고, 상기 광도파로부에서 제공받은 상기 반사광신호를 상기 정보제어부에 제공하며, 상기 광원부에서 방출된 광신호의 나머지를 상기 기준광신호로 상기 정보제어부에 제공하기 위한 광경로부; 및상기 반사광신호를 분석하여 상기 광도파로부의 위치를 정렬하기 위한 정렬제어부를 포함하여 구성되는 레이저 간섭계
2 2
제1항에 있어서,상기 경사단면의 끝이 일부 제거된 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계
3 3
제1항에 있어서,상기 피측정체의 이동 방향과 평행하도록 상기 광신호를 상기 피측정체에 조사하기 위하여 상기 광도파로부의 외부에 경사면을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 광신호가 상기 피측정체에 조사되는지를 확인하기 위한 영상을 제공하는 영상장치를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계
6 6
제1항에 있어서,상기 정렬제어부는 상기 피측정체의 반사면에 수직하게 상기 광신호가 입사되도록 상기 광도파로부의 위치를 정렬하기 위한 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계
7 7
제1항에 있어서,상기 정렬제어부는 상기 반사광신호의 세기를 실시간으로 측정하여 상기 광도파로를 정렬하기 위한 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계
8 8
제1항에 있어서,상기 정보제어부는 상기 정렬제어부에서 상기 광도파로부에 대한 정렬을 한 후에 상기 정보제어부에서 상기 피측정체에 대한 정보를 생성하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계
9 9
제1항에 있어서,상기 광도파로부의 한쪽 끝이 경사단면인 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계
10 10
제9항에 있어서,상기 광도파로부의 경사단면은 식각 또는 연마에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계
11 11
제9항에 있어서,상기 광도파로부의 경사단면에 금속막이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계
12 12
제9항에 있어서,상기 광도파로부의 경사단면에 마이크로 렌즈가 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계
13 13
제9항에 있어서,상기 경사단면의 끝이 일부 제거된 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계
14 14
제9항에 있어서,상기 광도파로부의 측면에 마이크로 렌즈가 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계
15 15
제9항에 있어서,상기 광도파로부의 측면에 상기 광도파로부를 식각 또는 연마하여 마이크로 렌즈를 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계
16 16
삭제
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국가 R&D 정보가 없습니다.