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간섭계를 이용한 미소변위 측정장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2014009866
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이 발명의 미소변위 측정장치는, 변위측정 대상물과 함께 거동하는 변위 이동체와, 변위 이동체의 이동에 따른 변위광과 기준이 되는 기준광의 광경로 차이로 인한 간섭무늬를 형성하는 간섭계와, 간섭무늬를 파장 성분별로 검출하는 광 검출수단, 및 광 검출수단에서 검출한 간섭패턴을 힐버트(Hilbert) 변환하여 파장 성분별 상(Phase)을 구하고 구한 상의 물리량을 변위정보로 변환하여 미소변위를 측정하는 미소변위 측정수단을 포함한다. 이 발명은 기준이 되는 광경로와 측정 광경로 사이의 변위차이로 인해 생기는 간섭무늬를 파장 성분별로 분해하고 이를 힐버트 변환하는 저가의 간단한 구성요소들로 구성하여 서브 나노미터 이하의 미소변위까지 정확하게 측정할 수 있다.
Int. CL B82Y 35/00 (2011.01) G01B 11/02 (2011.01) G01B 9/02 (2011.01)
CPC G01B 9/02(2013.01) G01B 9/02(2013.01) G01B 9/02(2013.01) G01B 9/02(2013.01) G01B 9/02(2013.01) G01B 9/02(2013.01) G01B 9/02(2013.01)
출원번호/일자 1020050110606 (2005.11.18)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-0752803-0000 (2007.08.21)
공개번호/일자 10-2007-0052852 (2007.05.23) 문서열기
공고번호/일자 (20070829) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.11.18)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김덕영 대한민국 광주 광산구
2 이지용 대한민국 대구 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재관 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)(특허법인이상)
2 김상철 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)(특허법인이상)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2005-0663919-25
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.08.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0057605-90
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0657939-23
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.01.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0015974-29
6 의견서
Written Opinion		 2007.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2007-0015977-66
7 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2007.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0371834-07
8 등록결정서
Decision to grant		 2007.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0279419-72
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
변위측정 대상물과 함께 거동하는 변위 이동체와, 상기 변위 이동체의 이동에 따른 변위광과 기준이 되는 기준광의 광경로 차이로 인한 간섭무늬를 형성하는 간섭계와, 상기 간섭무늬를 파장 성분별로 검출하는 광 검출수단, 및 상기 광 검출수단에서 검출한 간섭패턴을 힐버트(Hilbert) 변환하여 파장 성분별 상(Phase)을 구하고 구한 상의 물리량을 변위정보로 변환하여 미소변위를 측정하는 미소변위 측정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 미소변위 측정장치
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 간섭계는, 광원과, 상기 광원에서 조사된 조사광을 2개의 광으로 분배하는 빛살 가르개와, 분배된 1개의 분배광을 상기 기준광으로 상기 빛살 가르개로 다시 반사하는 제1 반사경, 및 상기 변위 이동체에 결합되어 분배된 다른 1개의 분배광을 상기 변위광으로 상기 빛살 가르개로 다시 반사하여 상기 빛살 가르개에서 간섭무늬를 형성하도록 하는 제2 반사경을 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 미소변위 측정장치
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 간섭계는, 광원과,상기 광원에서 조사된 조사광을 2개의 광으로 분배하는 광분배기와, 분배된 1개의 분배광을 상기 기준광으로 수신하는 제1 수신부와, 상기 변위 이동체에 결합되어 분배된 다른 1개의 분배광을 상기 변위광으로 수신하는 제2 수신부, 및 상기 기준광과 상기 변위광을 결합하여 상기 간섭무늬를 형성하는 광결합기를 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 미소변위 측정장치
4 4
청구항 2 또는 청구항 3에 있어서, 상기 광 검출수단은 파장성분 광검출기인 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 미소변위 측정장치
5 5
청구항 2 또는 청구항 3에 있어서, 상기 광 검출수단은 광 스펙트럼 분석기(Optical Spectrum Analyzer)인 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 미소변위 측정장치
6 6
청구항 2 또는 청구항 3에 있어서, 상기 광원은 50 ~ 60nm의 선폭을 갖는 발광 다이오드(LED)인 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 미소변위 측정장치
7 7
청구항 2 또는 청구항 3에 있어서, 상기 광원은 광대역(Supercontinum) 광원인 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 미소변위 측정장치
8 8
청구항 2에 있어서,상기 빛살 가르개와 상기 제1, 제2 반사경의 사이에는 콜리메이터가 각각 더 설치되는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 미소변위 측정장치
9 9
청구항 3에 있어서,상기 광분배기와 상기 제1, 제2 수신부의 사이 또는 상기 제1, 제2 수신부와 상기 광결합기의 사이에는 콜리메이터가 각각 더 설치되는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 미소변위 측정장치
10 10
변위측정 대상물과 함께 거동하는 변위 이동체를 기준위치에 놓고 간섭계의 광경로 차이로 인한 간섭무늬를 검출하는 단계와, 상기 변위 이동체를 미세거리로 이동시킨 후 다시 간섭무늬를 검출하는 단계와, 상기 기준위치에서 검출된 간섭무늬의 파장성분을 힐버트 변환하여 기준위치 위상성분을 구하는 단계와, 상기 변위 이동체가 미세거리로 이동된 후에 검출된 간섭무늬의 파장성분을 힐버트 변환하여 변위위치 위상성분을 구하는 단계, 및 상기 기준위치 위상성분과 상기 변위위치 위상성분을 통해 상기 기준위치에서 상기 변위위치로 이동한 미세변위를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 미소변위 측정방법
11 11
청구항 10에 있어서, 상기 간섭계는 마이컬슨 간섭계인 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 미소변위 측정방법
12 12
청구항 10에 있어서, 상기 간섭계는 마하젠더 간섭계인 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 미소변위 측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.