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1
축 방향으로 형성된 제 1 회절격자 층을 갖는 제 1 영역;상기 제 1 영역에 인접하고 상기 축 방향으로 형성된 제 2 회절격자 층을 갖는 제 2 영역; 및상기 제 1 및 제 2 영역들 위에 형성된 활성층을 포함하고,상기 제 1 및 제 2 영역들은, 선택 영역 성장 방법을 이용하여 상기 제 1 및 제 2 회절격자 층들의 결합계수들이 서로 다르게 구현되는 분포 궤환형 레이저 다이오드
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2
제 1 항에 있어서,단일 축 방향 모드 동작(single longitudinal mode operation)을 수행하기 위하여, 회절격자의 위상을 동작 파장의 4분의 1만큼 이동시키는 분포 궤환형 레이저 다이오드
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| 3 |
3
제 2 항에 있어서,상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역 사이에 상기 회절격자의 위상을 동작 파장의 4분의 1만큼 이동시키도록 상기 축 방향으로 형성된 위상 이동 영역을 더 포함하는 분포 궤환형 레이저 다이오드
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4
제 2 항에 있어서,상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역이 인접한 면에서 상기 회절격자의 위상이 동작 파장의 4분의 1만큼 이동되는 분포 궤환형 레이저 다이오드
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5
제 4 항에 있어서,상기 제 1 및 회절격자 층들의 두께들은 서로 다른 분포 궤환형 레이저 다이오드
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6
제 5 항에 있어서,상기 인접한 면에서 상기 제 1 및 제 2 회절격자들의 두께들의 비율은 1
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7
제 5 항에 있어서,상기 인접한 면에서 상기 제 1 및 제 2 회절격자들의 두께들의 비율은 1
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8
제 5 항에 있어서,상기 활성층과 상기 제 1 회절격자 층 사이의 두께와 상기 활성층과 상기 제 2 회절격자 층 사이의 두께는 서로 다른 분포 궤환형 레이저 다이오드
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9
제 1 항에 있어서,상기 축 방향으로 상기 제 1 영역의 길이와 상기 제 2 영역의 길이는 동일하고, 상기 제 1 및 제 2 회절격자층들은 동일한 회절격자의 모양을 갖는 분포 궤환형 레이저 다이오드
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10
제 1 항에 있어서,상기 제 1 회절격자층의 결합 계수 대비 상기 제 2 회절격자층의 결합 계수의 비율은 0
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11
제 1 항에 있어서,상기 제 1 영역은 상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역의 인접한 면과 다른 제 1 면을 갖고,상기 제 1 면에 코딩된 고반사막을 더 포함하는 분포 궤환형 레이저 다이오드
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12
제 11 항에 있어서,상기 제 2 영역은 상기 인접한 면과 다른 제 2 면을 갖고,상기 제 2 면에 코팅된 무반사막을 더 포함하는 분포 궤환형 레이저 다이오드
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13
선택 영역 성장 방법을 이용하여 제 1 및 제 2 회절격자 층들을 형성하는 단계;상기 제 1 및 제 2 회절격자 층들 위에 스페이서 층을 형성하는 단계; 및상기 스페이서 층 위에 클래드 층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 제 1 및 제 2 회절격자 층들은 서로 인접하고, 서로 다른 결합계수들을 갖는 분포 궤환형 레이저 다이오드의 제조 방법
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제 13 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 회절격자 층들을 형성하는 단계는,상기 제 1 및 제 2 회절격자 층들의 두께들을 서로 다르게 하는 단계를 포함하는 분포 궤환형 레이저 다이오드의 제조 방법
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15
제 14 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 회절격자 층들의 두께들은 마스크에서 오픈 영역의 폭을 조정함으로써 변화되는 분포 궤환형 레이저 다이오드의 제조 방법
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16
제 14 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 회절격자 층들의 두께들은 마스크의 폭을 조정함으로써 변화되는 분포 궤환형 레이저 다이오드의 제조 방법
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17
제 13 항에 있어서,상기 스페이서 층을 형성하는 단계는,상기 제 1 회절격자 층과 상기 활성층 사이의 두께와 상기 제 2 회절격자 층과 상기 활성층 사이의 두께를 서로 다르게 하는 단계를 포함하는 분포 궤환형 레이저 다이오드의 제조 방법
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18
제 13 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 회절격자 층들의 결합계수를 급격하게 변화시키기 위하여마스크의 폭이 조정되는 분포 궤환형 레이저 다이오드의 제조 방법
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제 13 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 회절격자 층들의 결합계수를 완만하게 변화시키기 위하여 마스크가 테이퍼링되는 분포 궤환형 레이저 다이오드의 제조 방법
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제 13 항에 있어서,상기 오믹 층을 형성하는 단계 이후에 리지형 도파로 형성하는 단계를 더 포함하는 분포 궤환형 레이저 다이오드의 제조 방법
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