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레이저를 이용한 이방전도성필름 패키징 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2014064391
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 레이저를 이용한 이방전도성필름 패키징 장치 및 방법에 관한 것으로, 이를 위한 본 발명은 이방전도성필름을 사용하여 시료와 기판을 본딩하는 레이저를 이용한 이방전도성필름 패키징 장치에 있어서, 설정된 파장을 갖는 레이저를 발생하는 광원부와; 상기 광원부로부터 발생된 레이저를 상기 기판의 상부면에 조사하는 조사부 및 레이저 조사가 완료된 상기 기판 상부면에 압력을 인가하는 가압부를 포함하는 레이저를 이용한 이방전도성필름 패키징 장치에 관한 것이다. 상술한 바와 같이, 본 발명의 레이저를 이용한 이방전도성필름 패키징 장치 및 방법은 레이저를 사용하여 이방전도성필름 본딩을 함으로써 공정의 신뢰성, 정확성을 향상시키는 효과가 있으며, 또한 공정시간을 단축시키는 효과가 있다. ACF, 이방전도성필름, 패키징, 본딩, 레이저, 광조사
Int. CL H01L 23/02 (2006.01) H01B 5/14 (2006.01) H05K 3/36 (2006.01) H01S 3/10 (2006.01)
CPC H01L 23/14(2013.01) H01L 23/14(2013.01) H01L 23/14(2013.01) H01L 23/14(2013.01)
출원번호/일자 1020080105231 (2008.10.27)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1004087-0000 (2010.12.20)
공개번호/일자 10-2010-0046405 (2010.05.07) 문서열기
공고번호/일자 (20101227) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.10.27)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정훈 대한민국 서울 광진구
2 김종석 대한민국 경기 안산시 단원구
3 강성복 대한민국 경기 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2008-0742967-07
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2009.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2009-0556872-39
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.04.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.05.19 수리 (Accepted) 9-1-2010-0031017-83
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0318424-43
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.09.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0600829-77
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.09.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0600825-95
11 등록결정서
Decision to grant
2010.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0541061-48
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
이방전도성필름을 사용하여 시료와 기판을 본딩하는 레이저를 이용한 이방전도성필름 패키징 장치에 있어서, 설정된 파장을 갖는 레이저를 발생하는 광원부와; 상기 광원부로부터 발생된 레이저를 상기 이방전도성필름이 도포된 기판의 상부면에 다수의 지점으로 조사되도록 분할하여 조사하거나, 라인형태로 조사하는 조사부 및 레이저 조사가 완료된 상기 이방전도성필름이 도포된 기판 상부면에 공기를 조사하여 압력을 인가하는 가압부를 포함하는 레이저를 이용한 이방전도성필름 패키징 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 조사부는 상기 기판의 상부면에 레이저를 조사하기 위한 갈바노미터 스캐너(Galvanometer Scanner) 및 폴리곤 스캐너(Polygon Scanner) 중 적어도 하나를 포함함을 특징으로 하는 레이저를 이용한 이방전도성필름 패키징 장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 조사부는 상기 광원부로부터 발생한 레이저를 상기 기판 상부면에 조사 시, 다수의 지점으로 조사되도록 분할하는 분할헤드 또는 상기 레이저를 일직선형태로 상기 기판 상부면에 조사하는 라인헤드를 포함함을 특징으로 하는 레이저를 이용한 이방전도성필름 패키징 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 가압부는 상기 시료 및 이방전도성필름이 적층된 기판의 상부면에 공기를 조사하여 상기 이방전도성필름을 상기 기판에 접합함을 특징으로 하는 레이저를 이용한 이방전도성필름 패키징 장치
5 5
이방전도성필름을 사용하여 시료와 기판을 본딩하는 레이저를 이용한 이방전도성필름 패키징 방법에 있어서, 설정된 파장을 갖는 레이저를 발생하는 제1단계와; 상기 발생된 레이저를 상기 이방전도성필름이 도포된 기판의 상부면에 조사하는 제2단계 및 레이저 조사가 완료된 상기 이방전도성필름이 도포된 기판 상부면에 공기를 조사하여 압력을 인가하는 제3단계;를 포함하되, 상기 제2단계는 상기 기판 상부면에 레이저 조사 시, 다수의 지점으로 조사되도록 상기 발생된 레이저를 분할하여 조사하는 제1과정 또는 상기 기판 상부면에 상기 레이저를 라인형태로 조사하는 제2과정을 포함함을 특징으로 하는 레이저를 이용한 이방전도성필름 패키징 방법
6 6
삭제
7 7
제5항에 있어서, 상기 제3단계는 상기 시료 및 이방전도성필름이 적층된 기판의 상부면에 공기를 조사하여 압력을 인가함을 특징으로 하는 레이저를 이용한 이방전도성필름 패키징 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.