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미세패턴 인쇄방법

  • 기술번호 : KST2014065522
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 미세패턴을 정밀하게 인쇄하는 방법에 관한 것으로서, 상기 미세패턴 인쇄용 잉크에 대해 친수성을 갖는 기판을 마련하는 단계와; 상기 기판의 비패턴영역에 상기 잉크에 대해 소수성을 갖는 물질을 도포하여 상기 기판의 미세패턴 인쇄영역은 친수성 영역으로 형성하고, 상기 비패턴영역은 소수성으로 형성하는 단계와; 상기 미세패턴 인쇄영역에 상기 잉크로 미세패턴을 인쇄하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 미세패턴을 간단하면서 빠르고 정확하게 인쇄할 수 있는 미세패턴 인쇄방법이 제공된다. 미세패턴, 인쇄, 친수성, 소수성
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020070037905 (2007.04.18)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0825476-0000 (2008.04.21)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080428) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.04.18)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이택민 대한민국 대전 유성구
2 신동윤 대한민국 대구 수성구
3 김충환 대한민국 서울 강남구
4 조정대 대한민국 대전 유성구
5 김동수 대한민국 대전 서구
6 최병오 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양광남 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)
2 연무식 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2007-0294441-27
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.02.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.03.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0012023-19
4 등록결정서
Decision to grant		 2008.04.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0204897-71
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
소정 간극을 두고 인쇄되는 다수의 미세패턴을 인쇄하는 방법에 있어서, 상기 미세패턴 인쇄용 잉크에 대해 친수성을 갖는 기판을 마련하는 단계와;상기 기판의 비패턴영역에 상기 잉크에 대해 소수성을 갖는 물질을 도포하여 상기 기판의 미세패턴 인쇄영역은 친수성 영역으로 형성하고, 상기 비패턴영역은 소수성으로 형성하는 단계와;상기 미세패턴 인쇄영역에 상기 잉크로 미세패턴을 인쇄하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 인쇄방법
2 2
제1항에 있어서, 소수성 물질을 도포하여 미세패턴 인쇄영역과 비패턴영역을 형성하는 단계는 상기 비패턴영역에 대응하는 몰드를 이용하여 소수성 물질을 기판 상에 스템핑하는 단계인 것을 특징으로 하는 미세패턴 인쇄방법
3 3
제2항에 있어서, 몰드는 탄성을 갖는 PDMS(Polydimethysiloxane:폴리디메틸실록산)몰드, 고무몰드, 실리콘 몰드 중 어느 하나이거나, 비탄성인 그라비아롤인 것을 특징으로 하는 미세패턴 인쇄방법
4 4
제1항에 있어서, 미세패턴을 인쇄하는 단계는 패드 프린팅, 스크린 프린팅, 잉크젯 프린팅, 그라비어 프린팅, 플렉소 프린팅, 미세접촉 프린팅, 임프린팅 중 적어도 어느 하나 또는 이들의 복합적인 인쇄기법에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세패턴 인쇄방법
5 5
제1항에 있어서, 미세패턴은 반도체 소자의 회로패턴, 디스플레이표시소자의 화소 전극, 광학소자의 광학패턴, 박막트랜지스터 회로 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 미세패턴 인쇄방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.