| 요약 |
본 발명은 소프트 리소그래피 공정에서 접촉하여 프린팅하는 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 탄성중합체 스탬프를 이용한 미세접촉 인쇄장치는, 베이스와, 이 베이스 상에 고정되며 상기 베이스면으로부터 상방으로 떨어져 위치하는 고정판을 포함하는 프레임과, 상기 고정판과 상기 베이스면 사이에서 고정되는 나사축에 볼나사 너트가 체결되어 마이크로미터 크기 단위의 움직임을 제어하는 볼나사와, 상기 볼나사 너트에 고정되어 상기 볼나사 너트가 상기 나사축을 따라 이동함에 따라 함께 구동되는 제1 홀더를 포함하는 마이크로 변위 제어부와, 상기 제1 홀더의 하방으로 배치되며, 상기 제1 홀더에 대하여 승강 가능하도록 상기 제1 홀더에 연결되는 제2 홀더와, 상기 제1 홀더와 제2 홀더 사이에 설치되어 나노미터 크기 단위의 움직임을 제어하는 피에조액츄에이터를 포함하는 나노 변위 제어부, 및 상기 제2 홀더의 하방으로 이와 대향하도록 설치되어 상기 마이크로 또는 나노 변위 제어부의 이동으로 가해지는 하중을 측정하는 로드셀을 포함하는 하중 측정부를 포함한다. 소프트 리소그래피, 탄성중합체, 미세접촉인쇄, 스탬프
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