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독립구동방식 나노임프린트 리소그래피 장치

  • 기술번호 : KST2014066234
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게, 표면에 레지스트가 도포되며 대형 롤스탬프를 제작하기 위한 기판롤과, 상기 기판롤에 패턴이 전사되도록 서로 접촉하여 회전하는 마스터롤을 포함하되, 패터닝 공정 동안 기판롤을 기준으로 한 마스터롤의 위치보상을 이루도록 하여, 접촉면이 일정하게 유지되도록 하고, 균일한 가압이 이루어지도록 하는 롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01)
출원번호/일자 1020120081627 (2012.07.26)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1200833-0000 (2012.11.07)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20121113) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.07.26)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임형준 대한민국 대전광역시 유성구
2 이재종 대한민국 대전광역시 유성구
3 최기봉 대한민국 대전광역시 유성구
4 김기홍 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0597699-24
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2012.07.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0612115-92
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0510486-92
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.09.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0737192-39
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0737218-38
6 등록결정서
Decision to grant		 2012.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0655372-07
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
롤스탬프를 제조하는 장치에 있어서,표면에 레지스트가 도포되며 기판롤 회전축(110)을 중심으로 회전하는 기판롤(100);외주면에 패턴이 형성되며, 상기 기판롤(100)과 나란하게 배치되어 상기 기판롤(100)과 접촉하여 회전하며, 상기 기판롤(100)에 패턴을 전사하는 마스터롤(200);상기 마스터롤(200)의 중심부에 결합되며, 내부가 중공된 마스터롤 회전축(210); 및상기 마스터롤 회전축(210) 및 기판롤 회전축(110)이 바닥면과 수평을 유지하고, 지정된 위치에서 회전되도록 상기 마스터롤(200)의 회전각을 조정 및 보상하는 회전각 제어부(300);상기 마스터롤 회전축(210) 내부에 구비되어 상기 기판롤(100) 표면에 도포된 레지스트를 경화시키는 경화수단(400);를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 롤스탬프 제조장치(1)는상기 기판롤(100)을 회전시키는 기판롤 회전장치(120);상기 마스터롤(200)을 회전시키는 마스터롤 회전장치(220);상기 마스터롤(200) 및 회전각 제어부(300)가 상측면에 놓이며, 상기 마스터롤 회전축(210)과 수직한 방향으로 수평 이송되도록 하는 슬라이딩 이송부(500);상기 마스터롤 회전축(210)의 양측단부에 결합되어 상기 마스터롤 회전축(210) 및 마스터롤(200)을 지지하는 마스터롤 홀딩부(230);기판롤 회전축(110)의 양측단부에 결합되어 상기 기판롤 회전축(110) 및 기판롤(100)을 지지하는 기판롤 홀딩부(130);상기 마스터롤(200) 및 회전각 제어부(300)를 상기 기판롤(100) 측으로 가압하여 상기 슬라이딩 이송부(500)를 따라 이송되도록 하는 가압모터부(600); 및상기 마스터롤(200), 회전각 제어부(300) 및 슬라이딩 이송부(500)가 상측면이 놓이며, 상기 마스터롤 회전축(210)과 수평 방향으로 이송되는 제1스테이지(700); 를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치
3 3
제 2항에 있어서,상기 회전각 제어부(300)는상기 마스터롤 홀딩부(230)의 양측에 각각 결합되며 일정량의 탄성을 가지는 제1링크(310) 및 제2링크(320);상기 제1링크(310) 및 제2링크(320) 사이에 연결되며, 상기 마스터롤(200)과 가압모터부(600) 사이에 위치하는 제3링크(330);상기 제1링크(310)와 제3링크(330)가 연결되는 부위에 형성되어 상기 제1링크(310)와 수평한 방향으로 상기 마스터롤 홀딩부(230)의 위치를 미세 조정하는 제1미세조정부(340);상기 제2링크(320)와 제3링크(330)가 연결되는 부위에 형성되어 상기 제2링크(320)와 수평한 방향으로 상기 마스터롤 홀딩부(230)의 위치를 미세 조정하는 제2미세조정부(350); 및상기 제3링크(330)에 연결되며, y축을 중심으로 회전하는 θy(rolling)방향으로 움직이는 제2스테이지(360); 를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치
4 4
제 3항에 있어서,상기 회전각 제어부(300)는상기 마스터롤 홀딩부(230)에서 상기 제3링크(330) 측으로 갈수록 상기 제1링크(310) 및 제2링크(320) 사이의 거리가 점차적으로 멀어지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치
5 5
제 4항에 있어서,상기 롤스탬프 제조장치(1)는상기 마스터롤 홀딩부(230)와 슬라이딩 이송부(500)가 바닥면에 수직한 방향으로 일정거리 이격되며,이격된 공간에 하측면이 뾰족하여 상기 슬라이딩 이송부(500)와 점접촉 되는 연결수단(800)이 구비되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치
6 6
제 2항에 있어서,상기 경화수단(400)은상기 마스터롤 회전축(210)의 길이방향으로 이동되며 탈착 또는 장착되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치
7 7
제 6항에 있어서,상기 롤스탬프 제조장치(1)는상기 마스터롤 홀딩부(230)의 일측 단부에 배치되는 제3스테이지(410); 및상기 제3스테이지(410) 상측면에 놓여 상기 경화수단(400)이 고정되도록 하며, 상기 경화수단(400)이 상기 마스터롤 회전축(210)의 길이방향으로 슬라이딩 이동시키는 슬라이딩 고정부(420); 를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치
8 8
제 7항에 있어서,상기 경화수단(400)은레지스트에 자외선을 조사하여 경화시키는 자외선 조사장치이며,상기 레지스트가 자외선에 경화되는 소재인 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치
9 9
제 7항에 있어서,상기 경화수단(400)은레지스트에 열을 가하여 경화시키는 히터이며,상기 마스터롤 회전축(210)의 길이방향으로 연장 형성되고, 외주면에 열선이 감겨지며, 상기 레지스트가 열경화성 레지스트인 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조장치
10 10
제 1항 내지 9항 중 어느 한 항에 의한 롤스탬프 제조장치를 이용한 롤스탬프 제조방법은a) 상기 기판롤(100)에 레지스트를 도포하는 단계;b) 상기 가압모터부(600)를 이용하여 상기 마스터롤(200)이 상기 기판롤(100)에 접하도록 가압단계;c) 상기 회전각 제어부(300)의 제1링크(310) 및 제2링크(320)를 통해 Z축을 중심으로 회전하는 θz(yawing) 방향의 각도 및 위치를 조정하는 제1정렬단계;d) 상기 제2스테이지(360)를 통해 바닥면과 상기 마스터롤 회전축(210) 및 기판롤 회전축(110)이 평행하도록 θy(rolling)방향의 각도 및 위치를 조정하는 제2정렬단계;e) 상기 경화수단(400)의 위치를 정렬하는 제3정렬단계;f) 상기 마스터롤(200) 및 기판롤(100)이 회전하는 회전단계;g) 상기 마스터롤(200) 및 기판롤(100)이 회전하는 동안 상기 제1 내지 제3정렬단계가 실시간으로 이루어지는 실시간 정렬단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조방법
11 11
제 10항에 있어서,상기 롤스탬프 제조방법은상기 기판롤(100)이 한 바퀴 회전하여 패터닝이 완료된 다음, 상기 마스터롤(200)을 x축 방향으로 이동시켜 패터닝 하는 패터닝 반복단계; 를 더 포함하며,상기 패터닝 반복단계 수행 시, b) 내지 g)단계가 수행되는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조방법
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제 11항에 있어서,상기 패터닝 반복단계에서는상기 마스터롤(200)을 상기 마스터롤(200)의 길이만큼 x축 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 롤스탬프 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 폭 1m급 광학필름용 원통형 나노패터닝 공정장비 개발 (1/5)