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롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치

  • 기술번호 : KST2014066259
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 나노 박막 롤 전사 공정에서, 롤 스탬프와 이송 스테이지를 동기화하는 롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치를 제공하는 것이다.본 발명의 일 실시예에 따른 롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치는, 회전하는 롤 스탬프, 나노 박막이 형성된 평면 기판을 지지하며 상기 나노 박막에 접촉하는 상기 롤 스탬프를 지지하면서 직선 이동하는 이송 스테이지, 상기 롤 스탬프의 토크 및 상기 이송 스테이지와 상기 롤 스탬프의 접촉면에 작용하는 전단력 중 적어도 하나를 측정하는 센싱부, 및 상기 센싱부의 측정 신호에 따라 상기 롤 스탬프와 상기 이송 스테이지 중 적어도 하나를 동기 제어하는 제어부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020110078811 (2011.08.08)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1227180-0000 (2013.01.22)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130128) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.08.08)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장봉균 대한민국 대전광역시 유성구
2 김재현 대한민국 대전광역시 유성구
3 김광섭 대한민국 대전광역시 유성구
4 최현주 대한민국 대전광역시 유성구
5 이학주 대한민국 대전광역시 서구
6 최병익 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0612264-41
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.09.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0685052-68
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.09.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0685050-77
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0638491-43
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.11.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0892755-46
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0892754-01
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0104533-83
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2012-0322257-97
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.04.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0322258-32
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2012.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0294291-84
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2012.06.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0487348-12
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0359289-49
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0582189-11
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.07.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0582188-65
15 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0499248-27
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0883087-89
17 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.10.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0883086-33
18 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2012.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0730719-39
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
나노 박막을 전사시키기 위해 회전하는 롤 스탬프;상기 나노 박막이 형성된 평면 기판을 지지하며, 상기 나노 박막에 접촉하는 상기 롤 스탬프를 지지하면서 직선 이동하여 상기 나노 박막을 연속 전사시키는 이송 스테이지;상기 이송 스테이지와의 접촉에 의해서 발생되는 상기 롤 스탬프의 토크 및 상기 이송 스테이지와 상기 롤 스탬프의 접촉면에 작용하는 전단력 중 적어도 하나를 측정하는 센싱부; 및상기 센싱부의 측정 신호에 따라 상기 롤 스탬프와 상기 이송 스테이지 중 적어도 하나를 제어하여, 상기 접촉면의 속도를 동기시키는 제어부를 포함하는 롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 제어부는,상기 롤 스탬프의 회전 각속도 및상기 이송 스테이지의 이송 속도 중 적어도 하나를 동기 제어하는스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
3 3
제1 항에 있어서,상기 센싱부는,상기 롤 스탬프의 토크를 측정하는 토크 센서, 및상기 이송 스테이지와 상기 롤 스탬프의 접촉면에 작용하는 전단력을 측정하는 전단력 센서를 포함하는 롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
4 4
제3 항에 있어서,상기 제어부는,상기 롤 스탬프의 회전 각속도와 상기 이송 스테이지의 이송 속도의 비율을 실시간으로 제어하는스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
5 5
제3 항에 있어서,상기 토크 센서는,상기 롤 스탬프를 구동시키는 축과 상기 축을 지지하는 로드셀 사이에 장착되는스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
6 6
제5 항에 있어서,상기 토크 센서는 상기 축의 양단에 구비되는스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
7 7
제3 항에 있어서,상기 토크 센서는,상기 롤 스탬프를 구동시키는 축의 길이 방향 중간 부분에서 상기 축과 상기 롤 스탬프 사이에 구비되는스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
8 8
제7 항에 있어서,상기 토크 센서는,상기 축의 외면과 상기 롤 스탬프의 내주면 사이에 설치되는스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
9 9
나노 박막을 전사시키기 위해 회전하는 롤 스탬프;상기 나노 박막이 형성된 평면 기판을 지지하며, 상기 나노 박막에 접촉하는 상기 롤 스탬프를 지지하면서 직선 이동하여 상기 나노 박막을 연속 전사시키는 이송 스테이지;상기 이송 스테이지와의 접촉에 의해서 발생되는 상기 롤 스탬프의 토크와 하중 및 상기 이송 스테이지와 상기 롤 스탬프의 접촉면에 작용하는 전단력 중 적어도 하나를 측정하는 센싱부; 및상기 센싱부의 측정 신호에 따라 상기 롤 스탬프와 상기 이송 스테이지 중 적어도 하나를 제어하여, 상기 접촉면의 속도를 동기시키는 제어부를 포함하는 롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
10 10
제9 항에 있어서,상기 센싱부는,상기 롤 스탬프의 토크와 하중을 측정하는 다축 로드셀, 및상기 이송 스테이지와 상기 롤 스탬프의 접촉면에 작용하는 전단력을 측정하는 전단력 센서를 포함하는 롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
11 11
제3 항 또는 제10 항에 있어서,상기 전단력 센서는,상기 롤 스탬프와 상기 이송 스테이지 사이에서 속도 비동기 시, 접촉하는 두 면 사이에서 발생하는 마찰력을 측정하여 상기 이송 스테이지 위에서 전단력을 측정하는롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
12 12
제11 항에 있어서,상기 전단력 센서는,서로 마주하는 제1 플레이트와 제2 플레이트, 및상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 구비되는 스트레인 게이지 센서를 포함하는 롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
13 13
제11 항에 있어서,상기 전단력 센서는,서로 마주하는 제1 플레이트와 제2 플레이트,상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 구비되는 구름 지지하는 지지부재, 및상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트의 일측에 구비되는 로드셀을 포함하는 롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
14 14
제11 항에 있어서,상기 전단력 센서는,서로 마주하는 제1 플레이트와 제2 플레이트,상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 구비되는 구름 지지하는 지지부재, 및상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트의 일측에 구비되는 정전식 갭 센서를 포함하는 롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
15 15
제11 항에 있어서,상기 전단력 센서는,서로 마주하는 제1 플레이트와 제2 플레이트,상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트 사이에 구비되는 구름 지지하는 지지부재,상기 제1 플레이트 상에서 상기 제2 플레이트의 단부에 대응하여 이격 배치되는 고정부재, 및상기 제2 플레이트와 상기 고정부재를 연결하여 변위를 측정하는 변위 측정 센서를 포함하는 롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
16 16
제11 항에 있어서,상기 전단력 센서는복수의 단위 유닛을 포함하고,복수의 단위 유닛들은 어레이(array) 형태로 배치되는롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
17 17
제16 항에 있어서,상기 전단력 센서는,상기 어레이의 일측에 연결되는 정전식 센서를 더 포함하는 롤 스탬프와 이송 스테이지 사이의 동기화 장치
18 18
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1 지식경제부 기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 멀티스케일 소자/패턴 전사 공정 및 모듈화 기술 개발(1/3)