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배열 광원 검출 장치, 시스템 및 방법
- 기술번호 : KST2014067204
- 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-6124-6930
| 요약 | 배열 광원 개개의 광특성을 정확하게 측정할 수 있는 광원 특성 평가 장치 및 방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 광원 특성 평가 장치는 복수의 미세 개구들을 포함하는 광원, 상기 광원의 하부에 배치되며 상기 광원으로부터 조사된 광을 수광하여 이미지화하는 복수의 픽셀을 구비하는 이미지 센서, 및 상기 광원과 상기 이미지 센서 사이에 개재되어 상기 광원에서 조사되는 광을 상기 이미지 센서의 픽셀들에 결상시키는 광학계를 포함하며, 상기 이미지 센서의 일부의 픽셀은 상기 광원으로부터 조사되는 광을 수광하여 이를 이미지화하고, 상기 이미지의 강도 및 형상을 통해 상기 광원의 특성을 평가하도록 구성된다. 이에 따라 이미지 센서의 픽셀별 감도, 잡음 특성 및 결함등의 특성을 미리 확보하여 광원 특성 평가에 이용하여 광원 특성 측정의 정확도를 높일 수 있다. 배열 광원, 나노, 개구, 평가, 이미지 센서 |
|---|---|
| Int. CL | B82Y 99/00 (2011.01) G01R 31/00 (2006.01) H01L 27/146 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01) |
| CPC | G01R 31/00(2013.01) G01R 31/00(2013.01) G01R 31/00(2013.01) G01R 31/00(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020090022557 (2009.03.17) |
| 출원인 | 연세대학교 산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-1030303-0000 (2011.04.13) |
| 공개번호/일자 | 10-2010-0104261 (2010.09.29) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20110419) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2009.03.17) |
| 심사청구항수 | 7 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한재원 | 대한민국 | 서울특별시 은평구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김성남 | 대한민국 | 서울특별시 송파구 법원로*길 **(문정동) 에이치비즈니스파크 C동 ***호(에스엔케이특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 연세대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.03.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0160300-14 |
| 2 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2010.05.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0339276-72 |
| 3 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.11.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0519803-58 |
| 4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.01.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0037868-20 |
| 5 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.01.17 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0037866-39 |
| 6 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.04.04 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0181713-09 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5252006-10 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 복수의 미세 개구들을 포함하는 광원; 상기 광원의 하부에 배치되며, 상기 광원으로부터 조사된 광을 수광하여 이미지화하고, 상기 이미지화 과정에서 불량 픽셀 및 정상 픽셀의 정보가 검출된 이미지 센서; 및 상기 광원과 상기 이미지 센서 사이에 개재되어, 상기 광원에서 조사되는 광을 상기 이미지 센서의 픽셀들에 결상시키는 광학계를 포함하며, 상기 이미지 센서의 상기 정상 픽셀은 상기 광원으로부터 조사되는 광을 수광하여 이를 이미지화하고, 상기 이미지의 강도 및 형상을 통해 상기 광원의 특성을 평가하도록 구성되는 광원 특성 평가 장치 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서, 상기 이미지 센서는 수개의 픽셀들로 구성되는 복수의 이미지 센서 픽셀 그룹을 포함하며, 상기 각각의 개구는 상기 이미지 센서 픽셀 그룹과 대응되도록 배치되어, 상기 하나의 이미지 센서 픽셀 그룹은 상기 하나의 개구로부터 조사되는 광을 수광하여, 그것을 이미지화하는 광원 특성 평가 장치 |
| 3 |
3 제 1 항에 있어서, 상기 광원은 투명 재질로 된 기판; 및 상기 기판의 저면에 형성되며 일정 간격마다 형성된 미세 개구들을 포함하는 금속 박막으로 구성되는 광원 특성 평가 장치 |
| 4 |
4 광학계 및 복수의 픽셀들을 갖는 이미지 센서로 구성되는 광학 특성 평가 장치를 제공하는 단계; 상기 이미지 센서의 특성을 평가하여, 광학 특성 평가 장치의 자체 불량 픽셀을 검출하는 단계; 상기 광학계 상부에 복수의 개구를 구비한 광원을 배치하는 단계; 및 상기 광원으로부터 조사된 광을 수광하여, 상기 이미지 센서에 의해 검출되는 이미지에 의해 상기 광학 특성 평가 장치의 자체 불량 픽셀을 고려한 상태에서 상기 광원의 특성을 평가하는 단계를 포함하는 광원 특성 평가 방법 |
| 5 |
5 제 4 항에 있어서, 상기 광원의 특성을 평가하는 단계 이전에, 상기 이미지 센서의 특성을 평가하여, 상기 광학 특성 평가 장치 자체 불량 픽셀을 검출하는 단계를 더 포함하는 광원 특성 평가 방법 |
| 6 |
6 제 5 항에 있어서, 상기 이미지 센서 자체의 불량 픽셀을 검출하는 단계는, 상기 이미지 센서의 각 픽셀에 광을 조사하여 이미지를 촬상하는 단계; 및 상기 특정 픽셀의 촬상 이미지가 주변 픽셀의 촬상 이미지의 평균값의 오차 범위 밖인 경우 이를 상기 자체 불량 픽셀을 판정하는 단계를 포함하는 단계를 포함하는 광원 특성 평가 방법 |
| 7 |
7 제 5 항에 있어서, 상기 광원의 특성을 평가하는 단계는, 상기 이미지 센서의 상기 복수의 픽셀들을 수개씩 그룹핑하여 이미지 센서 픽셀 그룹을 한정하는 단계; 상기 하나의 이미지 센서 픽셀 그룹이 상기 하나의 개구에서 조사되는 광을 수광하여, 그에 대한 이미지를 검출하고, 상기 이미지로부터 불량을 검출하는 단계; 및 상기 불량에서 상기 이미지 센서의 자체 불량 픽셀을 감(減)하여, 순수 광원의 불량을 검출하는 단계를 포함하는 광원 특성 평가 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1030303-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20090317 출원 번호 : 1020090022557 공고 연월일 : 20110419 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20110404 청구범위의 항수 : 7 유별 : G01R 31/00 발명의 명칭 : 이미지 센서를 이용한 배열 광원의 특성 평가 장치 및 방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 159,000 원 | 2011년 04월 14일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 135,800 원 | 2014년 03월 10일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 135,800 원 | 2015년 03월 31일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 143,940 원 | 2016년 05월 20일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 256,200 원 | 2017년 04월 14일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 183,000 원 | 2018년 04월 09일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 183,000 원 | 2019년 04월 08일 | 납입 |
| 제 10 년분 | 금 액 | 321,870 원 | 2020년 05월 13일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.03.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0160300-14 |
| 2 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2010.05.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0339276-72 |
| 3 | 의견제출통지서 | 2010.11.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0519803-58 |
| 4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.01.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0037868-20 |
| 5 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.01.17 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0037866-39 |
| 6 | 등록결정서 | 2011.04.04 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0181713-09 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.12.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5252006-10 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5062749-37 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.06.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5088566-87 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5114224-78 |
| 기술번호 | KST2014067204 |
|---|---|
| 자료제공기관 | 미래기술마당 |
| 기술공급기관 | 연세대학교 |
| 기술명 | 배열 광원 검출 장치, 시스템 및 방법 |
| 기술개요 |
배열 광원 개개의 광특성을 정확하게 측정할 수 있는 광원 특성 평가 장치 및 방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 광원 특성 평가 장치는 복수의 미세 개구들을 포함하는 광원, 상기 광원의 하부에 배치되며 상기 광원으로부터 조사된 광을 수광하여 이미지화하는 복수의 픽셀을 구비하는 이미지 센서, 및 상기 광원과 상기 이미지 센서 사이에 개재되어 상기 광원에서 조사되는 광을 상기 이미지 센서의 픽셀들에 결상시키는 광학계를 포함하며, 상기 이미지 센서의 일부의 픽셀은 상기 광원으로부터 조사되는 광을 수광하여 이를 이미지화하고, 상기 이미지의 강도 및 형상을 통해 상기 광원의 특성을 평가하도록 구성된다. 이에 따라 이미지 센서의 픽셀별 감도, 잡음 특성 및 결함등의 특성을 미리 확보하여 광원 특성 평가에 이용하여 광원 특성 측정의 정확도를 높일 수 있다. 배열 광원, 나노, 개구, 평가, 이미지 센서 |
| 개발상태 | 연구실환경 테스트 |
| 기술의 우수성 |
1) 추가 광학계의 불필요
- 투영 광학계의 확대 없이, 높은 측정 정확도 달성 2) 넓은 field of view - 검출기의 크기에 해당하는 배열 광원 측정 가능 3) 높은 측정 해상도 - 광학계의 배율 및 검출기의 픽셀 크기에 무관하게 높은 정확도의 측정 가능 |
| 응용분야 |
1) 대면적 디스플레이 소자 노광용 디지털 리소그래피 장치 검사
2) 고해상도 3D 표면 측정 기술 3) Shack-Hartmann 센서를 이용한 광학 부품 수차 측정 기술 |
| 시장규모 및 동향 |
1) 국제 시장 - 전세계 LCD 장비 시장은 약 100억달러 규모 - 평판 디스플레이 산업은 LCD, PDP를 위시하여 세계 1위의 국가 산업으로 향후 국가적으로 중요한 차세대 성장동력 산업임 2) 노광기 시장 - 전세계 노광기 시장은 일본 업체가 점유 - 기존의 마스크 검사 기술 대비 고해상도 패턴 구현이 가능한 디지털 마스크리스 기술의 중요도가 점차 증가할 것으로 기대 - 최근 국내에서 세계 최초로 8세대 기판 대응 디지털 마스크리스 리소그래피 장치 개발에 성공 |
| 희망거래유형 | |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345165031 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 과C6A1805 |
| 연구과제명 | 나노마이크로응용기계기술인력양성사업단 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 연세대학교 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200603~201302 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345096874 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 과C6A1805 |
| 연구과제명 | 나노마이크로응용기계기술인력양성사업단 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 연세대학교 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200603~201302 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
특허성과
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|---|---|---|
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