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X-선을 방출시키는 엑스레이 발생부를 구비하는 엑스레이 소스에 있어서, 상기 엑스레이 발생부는, 캐소드 전극; 상기 캐소드 전극 상측에 형성되는 에미터;상기 에미터 상측에 위치하는 애노드 전극;상기 에미터와 상기 애노드 전극 사이에 위치하는 게이트 전극; 상기 에미터와 상기 애노드 전극 사이에 위치하는 제1 및 제2 포커싱 전극; 및상기 캐소드 전극에 상기 게이트 전극 및 상기 제1 및 제2 포커싱 전극의 위치를 고정 및 조절할 수 있는 하나 이상의 절연 튜브를 구비하고 상기 캐소드 전극, 상기 게이트 전극, 상기 제1 및 제2 포커싱 전극을 전선과 각각 개별적으로 절연 및 체결하여, 상기 전선과의 사이에 잔존하는 공기층을 제거하며, 방사선 조사량을 감소시키고 획득되는 영상의 해상도를 증가시키는 전극 체결부를 포함하고, 상기 에미터는 플라즈마 확장 화학 기체 증착(PECVD) 공정을 이용하여 복수개의 탄소나노튜브를 성장시켜 형성되며, 상기 복수개의 탄소나노튜브의 개수를 조절함으로써 에미터 영역 및 방출 전류 특성을 설정하는 것을 특징으로 하는, 디지털 엑스레이 소스
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제1항에 있어서, 상기 전극 체결부는 상기 전선과 상기 캐소드 전극 사이를 절연 및 체결하는 제1절연 튜브; 상기 전선과 상기 게이트 전극 사이를 절연 및 체결하는 제2 절연 튜브; 상기 전선과 상기 제1 포커싱 전극 사이를 절연 및 체결하는 제3 절연 튜브; 및상기 전선과 상기 제2 포커싱 전극 사이를 절연 및 체결하는 제4 절연 튜브; 를 구비하는 것을 특징으로 하는, 디지털 엑스레이 소스
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제1항에 있어서, 상기 전극 체결부는 세라믹 재질인 것을 특징으로 하는, 디지털 엑스레이 소스
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제1항에 있어서, 상기 에미터는 레지스트 패터닝법을 이용하여 기판 상에 절연층을 형성한 후에 노광 공정을 통하여 게이트층-홀 구조 안에 배열되는 것을 특징으로 하는, 디지털 엑스레이 소스
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제4항에 있어서, 상기 게이트층은AlNd 금속 계열의 재질인 것을 특징으로 하는, 디지털 엑스레이 소스
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 에미터는 직경이 0
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제1항에 있어서, 상기 엑스레이 발생부는 하나의 단위 엑스레이 소스, 복수의 단위 엑스레이 소스 및 컴퓨터 단층 촬영기 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 디지털 엑스레이 소스
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제2항에 있어서, 상기 게이트 전극 및 상기 제1 및 제2 포커싱 전극은 각각 상기 제2 내지 제4 절연 튜브 각각이 관통될 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 디지털 엑스레이 소스
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제1항에 있어서, 상기 에미터는 점광원 형태 및 면광원 형태 중 어느 하나 이상의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는, 디지털 엑스레이 소스
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제1항에 있어서, 상기 하나 이상의 절연 튜브는 그 내부가 빈 중공형 형태로 형성되며, 상기 하나 이상의 절연 튜브의 내부에는 외부 전원과 연결된 상기 전선이 위치하는 것을 특징으로 하는, 디지털 엑스레이 소스
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제11항에 있어서, 상기 게이트 전극과 상기 제1 및 제2 포커싱 전극 각각의 고정 위치를 상기 하나 이상의 절연 튜브를 통하여 조절함으로써, 상기 에미터로부터 방출되는 전자의 궤적을 제어하는 것을 특징으로 하는, 디지털 엑스레이 소스
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