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능동 구동형 엑스레이 램프 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015167321
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 부분 구동이 가능한 능동형 엑스레이 램프(X-ray lamp) 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 평면형 엑스레이 램프에 사용되는 기본 단위의 필드 에미터(field emitter)를 M×N개 배열하여 형성하고, 각각의 기본단위 필드 에미터에 선택적으로 전원을 인가하여 전체 또는 일부분에서 전자가 방출되도록 함으로써 하나의 엑스레이 램프로 원하는 크기의 엑스레이를 촬영할 수 있도록 하는 능동 구동형 엑스레이 램프에 관한 것이다. 능동 구동형 엑스레이 램프
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) C01B 31/02 (2011.01) H019 /02 (2011.01) H01J 35/04 (2011.01)
CPC H01J 35/04(2013.01) H01J 35/04(2013.01) H01J 35/04(2013.01) H01J 35/04(2013.01)
출원번호/일자 1020070116944 (2007.11.15)
출원인 경희대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0934817-0000 (2009.12.22)
공개번호/일자 10-2009-0050488 (2009.05.20) 문서열기
공고번호/일자 (20091231) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.11.15)
심사청구항수 22

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경희대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 기흥구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박규창 대한민국 서울 광진구
2 장 진 대한민국 서울 서초구
3 유제황 대한민국 서울 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오세중 대한민국 서울시 강남구 테헤란로 ***, **** (역삼동. 성지하이츠 Ⅱ)(해오름국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 월드빔솔루션 서울특별시 동대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2007-0821530-11
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.02.05 수리 (Accepted) 4-1-2008-5020006-08
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.05.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0038014-06
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.04.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0157294-03
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2009.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2009-0359834-94
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2009.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2009-0424987-74
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2009-0498065-61
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.08.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0498064-15
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.09.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0373913-78
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.11.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0684085-37
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0684087-28
13 등록결정서
Decision to grant		 2009.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0479702-04
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.09 수리 (Accepted) 4-1-2015-5029677-09
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164254-26
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전자방출원과, 전자방출원으로부터 방출된 전자를 충돌시켜 X선을 방출하는 타겟과, 상기 타겟에서 방출된 X선을 필터링하기 위한 글라스 필터와, 상기 전자방출원과 타겟, 그리고 글라스 필터가 설치되는 진공 케이스와, 상기 타겟과 전자방출원에 전원을 공급하는 전원공급기로 구성된 X-ray 램프에 있어서, 상기 전자방출원은, 대면적 기판 상부에 스트라이프 형태로 형성된 M개의 캐소드 전극과; (상기 M은 자연수임) 상기 각각의 캐소드 전극 상부에 일정한 간격을 갖도록 N개가 형성되며 전체적으로는 M*N 개가 형성되는 에미터군들과; (상기 N은 자연수임) 상기 각각의 에미터군들 사이를 구획하며, 상기 에미터 군 하나에 대응되는 구멍을 M*N 개 가지는 스페이서와; 상기 캐소드 전극과 직각을 이루는 스트라이프 형태로 형성되며 상기 각각의 에미터군에서 방출하는 전자를 통과시키는 N 개의 애노드 전극을 포함하며, 상기 M*N 개의 에미터 군들은, 전원이 인가된 캐소드 전극과 애노드 전극이 교차하는 에미터 군에서만 전자가 방출되며, 촉매 금속 입자의 형태에 따라 말단의 형태가 결정되도록 하는 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 에미터군들의 에미터들은 탄소나노튜브인 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 애노드 전극은, 상기 에미터군들로부터 방출된 전자가 통과할 수 있는 다수개의 구멍이 형성된 그리드인 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 전자방출원은, 상기 캐소드 전극과 애노드 전극 사이에 게이트 전극을 더 형성한 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프
5 5
대면적 기판 상부에 스트라이프 형태로 형성된 M개의 캐소드 전극과; (상기 M은 자연수임) 상기 각각의 캐소드 전극 상부에 일정한 간격을 갖도록 N개가 형성되며 전체적으로는 M*N 개가 형성되는 에미터군들과; (상기 N은 자연수임) 상기 각각의 에미터군들 사이를 구획하며, 상기 에미터 군 하나에 대응되는 구멍을 M*N 개 가지는 스페이서와; 상기 스페이서 상부에 부착되며, 캐소드 전극과 직각을 이루는 스트라이프 형태로 형성되어 상기 각각의 에미터군에서 방출하는 전자를 투과시켜 엑스레이를 방출하는 N개의 애노드 전극을 포함하며, 상기 M*N 개의 에미터 군들은, 전원이 인가된 캐소드 전극과 애노드 전극이 교차하는 에미터군에서만 엑스레이 빔이 방출되며, 촉매 금속 입자의 형태에 따라 말단의 형태가 결정되도록 하는 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 애노드 전극은 구리 또는 텅스텐 중 어느 하나를 얇게 도포하여 형성한 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프
7 7
엑스레이 램프를 구성하는 전자방출원을 제조하는 방법에 있어서, 기판 상부에 스프라이프 형태의 캐소드 전극을 형성하고 그 상부에 촉매 금속층을 형성하는 단계와; 상기 촉매 금속층 상부에 포토레지스트층을 형성하고 리소그라피 공정에 의해 원하는 위치에 원하는 모양의 패턴을 형성하고 촉매 금속층이 노출되도록 레지스트층을 형성하는 단계와; 상기 노출된 촉매 금속층을 식각하고, 식각되지 않은 촉매 금속층 상부의 레지스트층을 잔류시키는 단계와; 상기 패터닝된 촉매 금속층을 어닐링하여 탄소나노튜브가 성장될 수 있도록 씨앗(Seed)을 성장시키는 단계와; 상기 씨앗이 형성된 촉매 금속층을 이용하여 M*N개의 에미터 군들을 성장시키는 단계를 포함하며, 상기 M은 상기 기판 위에 형성된 캐소드 전극의 개수이고, 상기 N은 상기 캐소드 전극 각각의 상부에 일정한 간격으로 형성된 에미터 군의 개수인 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프용 필드 에미터 제조방법
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 기판은, 유리 기판, 석영 기판, 규소(실리콘 웨이퍼) 기판 또는 알루미나(Al2O3) 기판 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프용 필드 에미터 제조방법
9 9
제 7 항에 있어서, 상기 촉매 금속층은, 니켈(Ni), 철(Fe) 또는 코발트(Co)와 같은 전이 금속 중 어느 하나이거나, 코발트-니켈, 코발트-철, 니켈-철 또는 코발트-니켈-철이 합성된 합금 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프용 필드 에미터 제조방법
10 10
제 7 항에 있어서, 상기 포토레지스트층은, 스핀코팅 방법 또는 슬릿 코팅법으로 0
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 포토레지스트층을 형성하기 위해 사용되는 레지스터는, 무기 레지스트, 유기 레지스트 및 유,무기 혼합형 레지스트, 또는 감광형 유리페이스트 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프용 필드 에미터 제조방법
12 12
제 7 항에 있어서, 상기 패터닝된 촉매 금속층을 어닐링하는 방법은, 반응로의 온도를 500 내지 800 ℃로 유지한 상태에서 30 분 내지 9 시간 동안 용융하여 탄소나노튜브 형성을 위한 씨앗(seed)을 성장시키는 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프용 필드 에미터 제조방법
13 13
제 7 항에 있어서, 상기 필드 에미터를 구성하는 에미터는, 탄소나노튜브인 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프용 필드 에미터 제조방법
14 14
제 13 항에 있어서, 상기 탄소나노튜브는, 플라즈마 화학기상증착법을 이용하여 성장시키는 것을 특징으로 하는 단계를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프용 필드 에미터 제조방법
15 15
제 7 항에 있어서, 상기 형성된 에미터군들의 상부에 상기 에미터군들이 함침되도록 레지스트를 형성하는 단계와; 상기 레지스트에 전자방출 소자가 상기 에미터 군의 단위로 구분되도록 대응되는 영역의 레지스트를 제거하기 위한 패턴을 형성하는 단계와; 상기 패턴을 제거하여 전자방출 소자를 노출시키면서 상기 에미터 군의 단위로 구분되는 스페이서를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프용 필드 에미터 제조방법
16 16
제 15 항에 있어서, 상기 레지스트는 무기 레지스트, 유기 레지스트, 유·무기 혼합형 레지스트 또는 감광형 유리페이스트 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프용 필드 에미터 제조방법
17 17
제 15 항에 있어서, 상기 레지스트에 패턴을 형성한 후 100~600℃에서 소결시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프용 필드 에미터 제조방법
18 18
제 15 항에 있어서, 상기 레지스트의 패턴부분을 제거하는 방법은, 디벨로퍼 이용법, 건식 에칭법 또는 습식 에칭법 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프용 필드 에미터 제조방법
19 19
제 15 항에 있어서, 상기 스페이서 상부에 상기 캐소드 전극과 직교하는 스트라이프 형태의 애노드 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프용 필드 에미터 제조방법
20 20
제 19 항에 있어서, 상기 애노드 전극은 그리드인 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프용 필드 에미터 제조방법
21 21
기판 상부에 스프라이프 형태의 캐소드 전극을 형성하고 그 상부에 촉매 금속층을 형성하는 단계와; 상기 촉매 금속층 상부에 포토레지스트층을 형성하고 리소그라피 공정에 의해 원하는 위치에 원하는 모양의 패턴을 형성하고 촉매 금속층이 노출되도록 레지스트층을 형성하는 단계와; 상기 노출된 촉매 금속층을 식각하고, 식각되지 않은 촉매 금속층 상부의 레지스트층을 잔류시키는 단계와; 상기 패터닝된 촉매 금속층을 어닐링하여 탄소나노튜브가 성장될 수 있도록 씨앗(Seed)을 성장시키는 단계와; 상기 씨앗이 형성된 촉매 금속층을 이용하여 에미터를 성장시키는 단계와; 상기 캐소드 전극과 직교하는 스트라이프 형태로 X-ray 빔을 방출하기 위한 타겟 물질인 금속을 이용하여 다수개의 애노드 전극을 형성하는 단계와; 상기 애노드 전극이 형성된 기판을 상기 에미터와 일정거리 이격시켜 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프의 제조방법
22 22
제 21 항에 있어서, 상기 캐소드 전극과 에미터들이 형성된 기판 상부에 에미터들이 함침되도록 레지스트를 형성하는 단계와; 상기 레지스트에 전자방출 소자가 기본 단위로 구분되도록 대응되는 영역의 레지스트를 제거하기 위한 패턴을 형성하는 단계와; 상기 패턴을 제거하여 전자방출 소자를 노출시키면서 기본 단위로 구분되는 스페이서를 자동으로 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 구동형 엑스레이 램프의 제조방법
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1 서울특별시 경희대학교 서울시 산학연 협력사업 나노기반 차세대 방사선 진단기 연구단