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광을 출력하는 광원과 상기 광을 반사시키는 미러와 기판을 고정하는 진공 척과 상기 미러와 진공 척이 고정되는 포스트 및 각도를 조절하는 회전테이블을 구비하고, 광원으로부터 출력되는 광을 상기 미러에 조사한 후 미러를 통해 반사되는 일부 광과 진공 척에 고정된 기판으로 조사되는 광 사이에 발생하는 간섭 현상을 이용하여 기판에 패턴을 형성시키는 Lloyd형 간섭 리소그라피 시스템의 진공 척에 있어서,
상기 진공 척의 후면에 그 일단이 고정되는 다수의 핀;
상기 포스트에 결합 고정되며, 상기 핀의 타단이 관통되도록 다수의 홀이 형성된 가이드 프레임; 및
상기 가이드 프레임에 고정 구비되며, 상기 홀을 관통한 상기 핀의 타단이 점 접촉을 이루며 접촉하여 고정되는 다수의 영구자석;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 Lloyd형 간섭 리소그라피 시스템의 진공 척
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제 1항에 있어서, 상기 핀은,
3개로 구성되어 상기 진공 척 후면에 각각 고정되는 것을 특징으로 하는 Lloyd형 간섭 리소그라피 시스템의 진공 척
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제 1항에 있어서, 상기 가이드 프레임에 형성된 홀은,
사각형상으로 형성되며, 상기 핀이 상기 홀에 삽입되었을 때 외주면이 사각형상의 홀의 네면 중 두 면에만 접촉되는 것을 특징으로 하는 Lloyd형 간섭 리소그라피 시스템의 진공 척
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제 1항 또는 제 3항에 있어서, 상기 가이드 프레임에 형성된 홀은,
120도 간격을 가지고 세 개의 홀로 형성되는 것을 특징으로 하는 Lloyd형 간섭 리소그라피 시스템의 진공 척
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제 1항에 있어서, 상기 핀은,
상기 영구자석에 점 접촉되어 고정되도록 끝단이 둥글게 형성된 것을 특징으로 하는 Lloyd형 간섭 리소그라피 시스템의 진공 척
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6
제 1항에 있어서,
상기 영구자석을 상기 가이드 프레임에 고정시켜주기 위한 고정지그를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 Lloyd형 간섭 리소그라피 시스템의 진공 척
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7
제 1항에 있어서, 상기 핀은,
원통형상으로 형성되어 상기 홀의 두 면에 접촉하여 지지되는 것을 특징으로 하는 Lloyd형 간섭 리소그라피 시스템의 진공 척
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