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플라즈마 챔버 내의 플라즈마 입자들을 촬영한 촬상 영상을 입력받는 영상 입력부; 및상기 촬상 영상을 구성하는 픽셀들의 그레이 스케일 값을 이용하여 상기 플라즈마 입자들의 공간적 분포를 판단하는 분석부를 포함하며,상기 분석부는,상기 촬상 영상의 종축 별로 제1 그레이 스케일 범위에 속하는 횡축 픽셀들의 개수를 연산하여 상기 종축 방향에 대한 전자 또는 이온의 공간적 분포 변이를 감시하는 제1 분석부를 포함하는 플라즈마 입자 모니터링 장치
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청구항 1에 있어서,상기 촬상 영상의 밝기값 또는 대비값을 변화시켜서 상기 촬상 영상을 구성하는 픽셀들의 그레이 스케일 값을 조절하는 밝기 조절부를 더 포함하는 플라즈마 입자 모니터링 장치
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청구항 1에 있어서,상기 분석부는,제2 그레이 스케일 범위를 N개의 서브 구간으로 구분하고 상기 서브 구간별로 상기 픽셀들의 색상을 달리 시각화하여, 상기 픽셀들의 색상 변화로부터 상기 촬영 영상에서의 전자 또는 이온의 공간적 분포를 감시하는 제2 분석부를 더 포함하는 플라즈마 입자 모니터링 장치
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청구항 3에 있어서,상기 분석부는,상기 촬영 영상의 프레임 별로, 제3 그레이 스케일 범위에 속하는 픽셀들의 개수를 연산하여 시간에 따른 전자 또는 이온의 공간적 분포 변이를 감시하는 제3 분석부를 더 포함하는 플라즈마 입자 모니터링 장치
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청구항 5에 있어서,상기 제3 분석부는,상기 촬상에 사용된 전체 시간대 또는 특정 시간대에 대한 상기 전자 또는 이온의 입자수 변화량을 기준값과 비교하여 상기 플라즈마 입자들의 공간적 분포 변이를 판단하는 플라즈마 입자 모니터링 장치
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청구항 5에 있어서,상기 제1 내지 제3 그레이 스케일 범위는 아래의 수학식으로 정의되는 플라즈마 입자 모니터링 장치:T1 ≤ 제1 그레이 스케일 범위 ≤ T2T3 ≤ 제2 그레이 스케일 범위 ≤ T4T5 ≤ 제3 그레이 스케일 범위 ≤Gmax여기서, Gmax는 상기 촬상 영상에 대한 최대 그레이 스케일 값, T1 및 T2는 상기 Gmax의 35~40% 및 60~65%에 해당되는 값, T3 및 T4는 Gmax의 50~55% 및 60~65%에 해당되는 값, T5는 Gmax의 80~85%에 해당되는 값을 나타낸다
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플라즈마 입자 모니터링 장치를 이용한 플라즈마 입자 모니터링 방법에 있어서,플라즈마 챔버 내의 플라즈마 입자들을 촬영한 촬상 영상을 입력받는 단계; 및상기 촬상 영상을 구성하는 픽셀들의 그레이 스케일 값을 이용하여 상기 플라즈마 입자들의 공간적 분포를 판단하는 단계를 포함하며,상기 플라즈마 입자들의 공간적 분포를 판단하는 단계는,상기 촬상 영상의 종축 별로 제1 그레이 스케일 범위에 속하는 횡축 픽셀들의 개수를 연산하여 상기 종축 방향에 대한 전자 또는 이온의 공간적 분포 변이를 감시하는 단계를 포함하는 플라즈마 입자 모니터링 방법
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청구항 8에 있어서,상기 촬상 영상의 밝기값 또는 대비값을 변화시켜서 상기 촬상 영상을 구성하는 픽셀들의 그레이 스케일 값을 조절하는 단계를 더 포함하는 플라즈마 입자 모니터링 방법
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청구항 8에 있어서,상기 플라즈마 입자들의 공간적 분포를 판단하는 단계는,제2 그레이 스케일 범위를 N개의 서브 구간으로 구분하고 상기 서브 구간별로 상기 픽셀들의 색상을 달리 시각화하여, 상기 픽셀들의 색상 변화로부터 상기 촬영 영상에서의 전자 또는 이온의 공간적 분포를 감시하는 단계를 더 포함하는 플라즈마 입자 모니터링 방법
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삭제
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청구항 10에 있어서,상기 플라즈마 입자들의 공간적 분포를 판단하는 단계는,상기 촬영 영상의 프레임 별로, 제3 그레이 스케일 범위에 속하는 픽셀들의 개수를 연산하여 시간에 따른 전자 또는 이온의 공간적 분포 변이를 감시하는 단계를 더 포함하는 플라즈마 입자 모니터링 방법
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청구항 12에 있어서,상기 시간에 따른 공간적 분포 변이를 감시하는 단계는,상기 촬상에 사용된 전체 시간대 또는 특정 시간대에 대한 상기 전자 또는 이온의 입자수 변화량을 기준값과 비교하여 상기 플라즈마 입자들의 공간적 분포 변이를 판단하는 플라즈마 입자 모니터링 방법
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청구항 12에 있어서,상기 제1 내지 제3 그레이 스케일 범위는 아래의 수학식으로 정의되는 플라즈마 입자 모니터링 방법:T1 ≤ 제1 그레이 스케일 범위 ≤ T2T3 ≤ 제2 그레이 스케일 범위 ≤ T4T5 ≤ 제3 그레이 스케일 범위 ≤Gmax여기서, Gmax는 상기 촬상 영상에 대한 최대 그레이 스케일 값, T1 및 T2는 상기 Gmax의 35~40% 및 60~65%에 해당되는 값, T3 및 T4는 Gmax의 50~55% 및 60~65%에 해당되는 값, T5는 Gmax의 80~85%에 해당되는 값을 나타낸다
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