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전사 인쇄용 기판, 전사 인쇄용 기판 제조 방법 및 전사 인쇄 방법

  • 기술번호 : KST2015011436
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 전사 인쇄 기술이 제공된다. 전사 인쇄 기판은 다수개의 기둥 구조와 그 위에 도포되는 희생층을 포함한다. 전사층의 정위치 정렬은 기둥 구조 및 그와 대응하는 전사층의 저면에 형성되는 오목 구조에 의한 구조적 구속 또는 기둥 구조와 전사층의 화학적 결합에 의해서 이루어진다. 구조적 구속에 의한 정위치 정렬에서는 제거되고 남은 희생층이 접착요소로서 역할을 할 수 있다. 전사 과정은 희생층에 의한 접착의 분리, 기둥 구조와 전사층의 화학적 결합 상태에서 기둥 구조의 절단, 또는 기둥 구조와 핸들링 기판 간의 접착의 분리에 의해서 이루어진다. 이러한 전사 인쇄 기판 및 그를 이용한 전사 인쇄 방법은 높은 정렬도 및 전사수율을 갖게 되며, 플렉시블한 초박막 소자를 다양한 전사면에 전사할 수 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01)
출원번호/일자 1020130057147 (2013.05.21)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1461075-0000 (2014.11.06)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141119) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.05.21)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고흥조 대한민국 광주광역시 북구
2 박정필 대한민국 광주광역시 북구
3 윤수옥 대한민국 광주광역시 북구
4 김석호 대한민국 광주광역시 북구
5 황영규 대한민국 광주광역시 북구
6 장훈수 대한민국 광주광역시 북구
7 현유준 대한민국 광주광역시 북구
8 정윤경 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0447212-20
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.02.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.03.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0016981-13
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0195632-85
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2014-0469036-30
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.05.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0469079-93
7 등록결정서
Decision to grant
2014.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0651345-50
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번호 청구항
1 1
전사층을 지지하는 전사 인쇄용 기판으로서:전사층;핸들링 기판; 및상기 핸들링 기판 상에 형성되어 상기 전사층과 결합된 다수개의 기둥 구조;를 포함하고,상기 전사층은 상기 다수개의 기둥 구조와의 결합이 분리되어 전사되는 것인,전사 인쇄용 기판
2 2
청구항 1에 있어서,상기 핸들링 기판은 상기 다수개의 기둥 구조와의 접착을 강화하기 위한 접착 보강층을 포함하는 것인,전사 인쇄용 기판
3 3
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 다수개의 기둥 구조를 포함하는 상기 핸들링 기판의 전면에 도포된 희생층을 더 포함하고,상기 희생층은 상기 다수개의 기둥 구조를 덮거나 상기 다수개의 기둥 구조의 상부를 노출시키며,상기 희생층은 상기 전사층, 상기 핸들링 기판, 및 상기 다수개의 기둥 구조에 대하여 선택적으로 제거 가능한 것인,전사 인쇄용 기판
4 4
청구항 3에 있어서,상기 희생층은 적어도 상기 다수개의 기둥 구조 및 상기 전사층과 접착력을 가져서 상기 다수개의 기둥구조와 상기 전사층은 상기 희생층에 의해 결합된 것인,전사 인쇄용 기판
5 5
청구항 3에 있어서,상기 다수개의 기둥 구조는 상기 전사층과 화학적 결합이 가능한 물질로 형성되어 상기 다수개의 기둥 구조와 상기 전사층은 화학적으로 결합된 것인,전사 인쇄용 기판
6 6
전사층을 지지하는 전사 인쇄용 기판을 제조하는 방법으로서:(a) 핸들링 기판 상면에 다수개의 기둥 구조를 형성하는 단계; 및(b) 희생층을 상기 핸들링 기판 상에 형성하되 상기 다수개의 기둥 구조를 포함하는 전체면을 덮거나 상기 다수개의 기둥 구조의 상부를 노출시키도록 형성하는 단계;를 포함하는,전사 인쇄용 기판을 제조하는 방법
7 7
청구항 6에 있어서, 상기 단계 (a)는:핸들링 기판 상에 감광성 고분자 물질을 도포하는 단계; 및상기 다수개의 기둥 구조를 형성하도록 포토리소 그래피 공정을 진행하는 단계;를 포함하는 것인,전사 인쇄용 기판을 제조하는 방법
8 8
청구항 7에 있어서,상기 감광성 고분자 물질을 도포하기 전에, 상기 핸들링 기판 상면에 상기 감광성 고분자 물질과 상기 핸들링 기판의 접착력을 높이는 접착 보강층을 먼저 형성하는 것인,전사 인쇄용 기판을 제조하는 방법
9 9
청구항 8에 있어서,상기 희생층은 적어도 상기 전사층 및 상기 다수개의 기둥 구조와 접착력을 가지는 것인,전사 인쇄용 기판을 제조하는 방법
10 10
청구항 9에 있어서,상기 희생층은 상기 핸들링 기판, 상기 다수개의 기둥 구조, 및 상기 전사층에 대하여 선택적인 제거가 가능한 것인,전사 인쇄용 기판을 제조하는 방법
11 11
청구항 9에 있어서,상기 다수개의 기둥 구조의 고분자 물질은 상기 전사층과 화학적 결합이 가능한 것인,전사 인쇄용 기판을 제조하는 방법
12 12
청구항 9에 있어서,상기 희생층은 상기 전사층이 전사 중간 매개체로 전사되기 전에 일부 또는 전부가 제거되는 것인,전사 인쇄용 기판을 제조하는 방법
13 13
전사 인쇄 방법으로서:(1) 핸들링 기판 상면에 다수개의 기둥 구조를 형성하는 단계;(2) 희생층을 상기 핸들링 기판 상에 형성하되 상기 다수개의 기둥 구조를 포함하는 전체면을 덮거나 상기 다수개의 기둥 구조의 상부를 노출시키도록 형성하는 단계;(3) 상기 희생층의 상면 또는 상기 희생층과 상기 다수개의 기둥 구조의 상면을 포함하는 전체면에 전사층의 일부 또는 전부를 제조하는 단계;(4) 상기 희생층의 일부 또는 전부를 선택적으로 제거하는 단계; 및(5) 상기 전사층을 전사 중간 매개체로 전사시키는 단계;를 포함하는,전사 인쇄 방법
14 14
청구항 13에 있어서,상기 단계 (2) 전에 상기 핸들링 기판의 상면에 상기 다수개의 기둥 구조와의 접착을 강화하기 위한 접착 보강층을 형성하는 단계를 더 진행하는 것인,전사 인쇄 방법
15 15
청구항 13에 있어서,상기 희생층은 상기 전사층을 상기 핸들링 기판 및 상기 다수개의 기둥 구조와 접착시키는 것인,전사 인쇄 방법
16 16
청구항 14에 있어서,상기 다수개의 기둥 구조는 상기 전사층과 화학적 결합이 가능한 물질인전사 인쇄 방법
17 17
청구항 16에 있어서,상기 단계 (5)에서 상기 전사층의 상기 전사 중간 매개체로의 전사는 상기 희생층에 의한 상기 전사층과 상기 핸들링 기판 또는 상기 다수개의 기둥 구조 간의 접착의 분리, 상기 다수개의 기둥 구조의 절단, 또는 상기 다수개의 기둥 구조와 상기 핸들링 기판 간의 접착의 분리에 의한 것인,전사 인쇄 방법
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3 US09827799 US 미국 FAMILY
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1 JP2014229605 JP 일본 DOCDBFAMILY
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4 US9827799 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교욱과학기술부 광주과학기술원 핵심연구(핵심기초)지원사업 초박막 신축성 전극 구조 개발 및 광전자 소자로의 응용