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플라즈마 발생장치 내에 삽입되는 내부 삽입형 안테나로서,원통형의 절연체; 및상기 절연체 내부에 위치하는 안테나 튜브;를 포함하여 이루어지며, 상기 안테나 튜브는 일부 영역의 두께가 나머지 영역의 두께보다 두껍고,상기 안테나 튜브는상기 원통형 절연체를 관통하는 소정 두께의 안테나 코어; 및상기 안테나 코어의 외주면에 끼워지며, 상기 안테나 코어 보다 길이가 짧은 안테나 링;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 내부 삽입형 안테나
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제1항에 있어서,상기 안테나 코어에는 복수 개의 상기 안테나 링이 상기 안테나 코어의 길이방향을 따라 서로 이격되거나 또는 연속되게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 내부 삽입형 안테나
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제1항 또는 제3항에 있어서,상기 안테나 링은 직경이 서로 다른 복수 개의 링이 중첩되어 형성되는 것을 특징으로 하는 내부 삽입형 안테나
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플라즈마 발생장치 내에 삽입되는 내부 삽입형 안테나 조립체로서,서로 이격되어 위치하는 복수 개의 안테나를 구비하고,상기 복수 개의 안테나 각각은 원통형 절연체 및 상기 절연체 내부에 위치하는 안테나 튜브를 포함하여 이루어지며,상기 복수 개의 안테나 중 하나 이상의 안테나는 일부 영역의 안테나 튜브의 두께가 나머지 영역의 안테나 튜브의 두께보다 두껍고,상기 안테나 튜브는상기 원통형 절연체를 관통하는 소정 두께의 안테나 코어; 및상기 안테나 코어의 외주면에 끼워지며, 상기 안테나 코어보다 길이가 짧은 안테나 링;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 내부 삽입형 안테나 조립체
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제5항에 있어서,상기 안테나 코어에는 복수 개의 상기 안테나 링이 상기 안테나 코어의 길이 방향을 따라 서로 이격되거나 또는 연속되게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 내부 삽입형 안테나 조립체
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제5항에 있어서,상기 안테나 링은 직경이 서로 다른 복수 개의 링이 중첩되어 형성되는 것을 특징으로 하는 내부 삽입형 안테나 조립체
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제7항에 있어서,상기 안테나 링은 직경이 서로 다른 복수 개의 링이 중첩되어 형성되는 것을 특징으로 하는 내부 삽입형 안테나 조립체
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제5항 및 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 내부 삽입형 안테나 조립체를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치
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제10항에 있어서,상기 내부 삽입형 안테나 조립체를 구성하는 복수 개의 안테나 두께는 각각의 안테나에 대응하는 플라즈마 생성영역의 용량성 결합에 따라 조정되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치
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