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기판을 준비하는 제1 단계;탄소를 포함하는 반응 가스 및 캐리어 가스를 공급하고, 플라즈마를 수행하는 제2 단계를 포함하고, 상기 플라즈마는, 전자 사이클로트론 공명 플라즈마, 마이크로웨이브 플라즈마 또는 라디오 주파수 플라즈마이며, 상기 캐리어 가스의 유량은, 5 sccm 내지 300sccm인 것인 그래핀 방열 필름의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 전자 사이클로트론 공명 플라즈마는, 10 W 내지 5kW의 마이크로 웨이브 파워 하에서 수행되는 것인 그래핀 방열 필름의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 기판은 구리 호일, 알루미늄 호일, 유리, 수정, 글래스웨이퍼, 실리콘웨이퍼, 탄소기판, 탄소펠트, 사파이어, 질화실리콘, 화합물 반도체, GaAs 기판, GaInP 기판, 탄화실리콘, 티타늄 코팅기판, 세라믹, 금속합금, 플라스틱, SAM(Self-assembled monolayer)막, 양극산화기판, 섬유강화 투명 플라스틱, 단결정 실리, 폴리크리스탈린 실리콘, 마이크로 크리스탈린 실리콘, 박막 실리콘, CdTe 기판, 양자점 태양전지, GaP 기판, SiGe 기판, Si 기판, Ge 기판 및 InGaAsN 기판으로 이루어진 군에서 선택되는 것인 그래핀 방열 필름의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 캐리어 가스는 수소인 것인 그래핀 방열 필름의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 탄소를 포함하는 반응 가스는, 메탄(CH4), 에탄(C2H6), 에틸렌(C2H4), 아세틸렌(C2H2), 프로필렌(C3H6) 또는 이들의 혼합물인 것인 그래핀 방열 필름의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 탄소를 포함하는 반응 가스의 유량은, 10 sccm 내지 500 sccm인 것인 그래핀 방열 필름의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 플라즈마는, 전자 사이클로트론 공명 플라즈마인 것인 그래핀 방열 필름의 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제2 단계 후, 냉각하는 제3 단계를 더 포함하는 그래핀 방열 필름의 제조 방법
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기판; 및 상기 기판 상에, 상기 기판에 대하여 수직 방향으로 배열하여 구비되는 그래핀을 포함하는, 청구항 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 제조 방법으로 제조된 방열 필름
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