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기판의 한쪽 면에 보호막을 형성하는 단계,
상기 한쪽 면의 이면에 대해서 요철을 형성하는 단계,
상기 한쪽 면에서 보호막을 제거하는 단계,
상기 한쪽 면에 마스크를 위치하고, 이를 베리어로 불순물을 포함하고 있는 SOD(spin on dopant) 용액을 부분적으로 스프레이하는 단계,
상기 SOD 용액에 포함되어 있는 불순물을 상기 기판으로 확산하는 단계,
상기 이면에서 산화물을 제거하는 단계,
를 포함하는 태양 전지의 제조 방법
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제1항에 있어서,
상기 보호막을 형성하는 단계는,
SOG(spin on glass) 용액을 상기 한쪽 면에 도포하고, 상기 SOG(spin on glass) 용액과 상기 기판이 반응해서 만들어지는 산화막을 보호막으로 이용하는 태양 전지의 제조 방법
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3
제1항에 있어서,
상기 보호막을 형성하는 단계는,
글래스 프릿(glass frit)을 상기 한쪽 면에 도포하고, 이를 열처리해서 보호막으로 형성하는 태양 전지의 제조 방법
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4
제1항에 있어서,
상기 산화물을 제거하는 단계는,
상기 산화물에 에천트를 공급해서 상기 산화물을 식각하고,
이어서 H2SO4과 H2O2가 1:1의 부피비를 갖는 에천트를 더 공급해서 상기 이면에 잔존하는 불순물을 제거하는 태양 전지의 제조 방법
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5
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 요철을 형성한 다음에, 상기 요철을 덮는 반사 방지막을 형성하는 단계를 더 포함하는 태양 전지의 제조 방법
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제5항에 있어서,
상기 불순물은 5가 원소들 또는 3가 원소들에서 선택되는 태양 전지의 제조 방법
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7
제6항에 있어서,
상기 기판은 3가 원소들의 불순물로 도핑되어 있는 태양 전지의 제조 방법
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제5항에 있어서,
상기 불순물을 기판으로 확산하는 단계 이후에, 상기 기판의 한쪽 면에 보호막을 형성하는 단계를 더 포함하는 태양 전지의 제조 방법
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