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제1 분포귀환 영역, 변조 영역 및 제2 분포귀환 영역을 포함하는 기판;상기 제1 분포귀환, 변조 및 제2 분포귀환 영역들의 기판 상의 활성층;상기 제1 분포귀환 영역내에 연속적으로 배치되고, 상기 제1 분포귀환 영역의 활성층과 커플된 제1 회절격자;상기 제2 분포귀환 영역내에 연속적으로 배치되고, 상기 제2 분포귀환 영역의 활성층과 커플된 제2 회절격자;상기 활성층 및 상기 기판 사이에 개재된 하부 클래딩층;상기 활성층 상에 배치된 상부 클래딩층;상기 제1 분포귀환 영역내 상부 클래딩층에 전기적으로 접속된 제1 전극;상기 제2 분포귀환 영역내 상부 클래딩층에 전기적으로 접속된 제2 전극;상기 변조 영역내 상부 클래딩층에 전기적으로 접속된 제3 전극;상기 제1, 제2, 및 제3 전극들 사이의 분리 절연 패턴들;상기 제1 전극 상에 배치되고, 상기 제1 회절 격자에 열을 공급하는 제1 마이크로 히터;상기 제2 전극 상에 배치되고, 상기 제2 회절 격자에 열을 공급하는 제2 마이크로 히터를 포함하되, 상기 제1 마이크로 히터 및 제2 마이크로 히터는 서로 독립적으로 제어되고;상기 분리 절연 패턴들의 바닥면은 상기 상부 클래딩층의 상면보다 낮으며;상기 제1 분포귀환 영역의 활성층에 제1 레이저 전류를 공급하여, 제1 파장의 제1 광원을 발진시키고,상기 제2 분포귀환 영역의 활성층에 제2 레이저 전류를 공급하여, 제2 파장의 제2 광원을 발진시키고,상기 변조 영역의 상부 클래딩층, 활성층 및 하부 클래딩층에 역바이어스를 인가하여, 상기 변조 영역 내에서 전계흡수 현상을 발생시킴으로써 가변되는 테라헤르츠파를 발생시키는 다중 분포귀환 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 제1 마이크로 히터로부터 공급된 열에 의하여 상기 제1 회절 격자의 굴절률이 변화되고,상기 제2 마이크로 히터로부터 공급된 열에 의하여 상기 제2 회절 격자의 굴절률이 변화되는 다중 분포귀환 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 제1 마이크로 히터가 상기 제1 회절 격자에 공급하는 열의 온도는 상기 제2 마이크로 히터가 상기 제2 회절 격자에 공급하는 열의 온도와 다른 다중 분포귀환 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 하부 클래딩층은 제1 타입의 도펀트로 도핑된 화합물 반도체를 포함하고, 상기 상부 클래딩층의 적어도 윗부분은 제2 타입의 도펀트로 도핑된 화합물 반도체를 포함하는 다중 분포귀환 레이저 소자
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삭제
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청구항 4항에 있어서,상기 제1 회절 격자 및 제2 회절 격자는 상기 상부 클래딩층 내에 배치된 다중 분포귀환 레이저 소자
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청구항 4항에 있어서,상기 하부 클래딩층 및 상기 활성층 사이에 개재되고, 상기 활성층 보다 작은 밴드갭 파장을 갖는 제1 분리한정 헤테로층(first separate confinement hetero layer); 및상기 상부 클래딩층 및 상기 활성 사이에 개재되고, 상기 활성층 보다 작은 밴드갭 파장을 갖는 제2 분리한정 헤테로층을 더 포함하는 다중 분포귀환 레이저 소자
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청구항 4항에 있어서,상기 제1 마이크로 히터는 상기 제1 분포귀환 영역의 상부 클래딩층 상부에 배치되고,상기 제2 마이크로 히터는 상기 제2 분포귀환 영역의 상부 클래딩층 상부에 배치되고,상기 제1 및 제2 마이크로 히터들은 상부 클래딩층과 전기적으로 절연된 다중 분포귀환 레이저 소자
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청구항 8항에 있어서,상기 제1 전극 및 상기 제1 마이크로 히터 사이에 개재된 제1 층간 절연 패턴; 및상기 제2 전극 및 상기 제2 마이크로 히터 사이에 개재된 제2 층간 절연 패턴을 더 포함하는 다중 분포귀환 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 제1 회절 격자 및 제2 회절 격자 중에서 적어도 하나는 복소결합 회절 격자인 다중 분포귀환 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 활성층은 다중양자우물 구조로 형성된 다중 분포귀환 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 제1 회절 격자의 주기 및 상기 제2 회절 격자의 주기는 서로 동일한 다중 분포귀환 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 제1 회절 격자의 주기 및 상기 제2 회절 격자의 주기는 서로 다른 다중 분포귀환 레이저 소자
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청구항 1항에 있어서,상기 제1 및 제2 회절 격자는 n형 또는 p형 도펀트로 도핑된 화합물 반도체를 포함하는 다준 분포귀환 레이저 소자
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