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미세기전 구조물 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015087730
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세기전 구조물 및 그 제조방법에 관한 것으로, 희생 층을 제거하여 미세기전 구조물을 부양시키는 단계에서 미세기전 구조물이 점착되는 문제를 방지하기 위하여 제거되는 희생층과 접촉된 미세기전 구조물의 표면의 적어도 일부를 친수성 표면으로 구성한다. 미세기전 구조물, 부양, 점착, 산화규소 희생층, 불산 기상식각
Int. CL H01L 29/00 (2006.01) H01H 59/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020040045258 (2004.06.18)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0627139-0000 (2006.09.15)
공개번호/일자 10-2005-0120066 (2005.12.22) 문서열기
공고번호/일자 (20060925) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.06.18)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양우석 대한민국 대전광역시 서구
2 강성원 대한민국 대전광역시 유성구
3 김윤태 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2004-0262866-19
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0002232-89
3 의견서
Written Opinion		 2006.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2006-0151604-74
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.03.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0151594-05
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0259895-88
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.06.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0471133-98
7 의견서
Written Opinion		 2006.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0471140-18
8 등록결정서
Decision to grant		 2006.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0534659-48
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1
희생층의 제거를 통해 부양되는 미세기전 구조물에 있어서,상부 표면을 갖는 하부 구조물;상기 하부 구조물의 상기 상부 표면의 일영역에 고정되는 일측부; 및 상기 일측부와 연결되며 상기 희생층의 제거를 통해 상기 상부 표면과 대향하는 대향 표면을 갖고 부양되는 타측부를 구비하되, 상기 상부 표면과 상기 대향 표면의 적어도 하나는, 상기 희생층 제거 시 생성된 물이 상기 상부 표면과 상기 대형 표면 사이에서 물기둥을 형성하지 않도록 강한 친수성을 갖는 친수성 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 미세기전 구조물
2 2
제1 항에 있어서,상기 강한 친수성 재료는 알루미늄, 티타늄, 크롬, 철, 코발트, 산화알루미늄, 산화크롬, 산화철, 산화코발트 중 어느 하나인 미세기전 구조물
3 3
제2 항에 있어서,상기 강한 친수성 재료는 상기 상부 표면 및 상기 대향 표면과 상기 희생층 제거시 생성된 물의 접촉 각도가 5 ~23도 범위인 미세기전 구조물
4 4
제3 항에 있어서,상기 하부 구조물의 상부 표면은 상기 강한 친수성 재료로 상기 하부 구조물의 상부에 형성되는 제1 친수성층의 표면인 미세기전 구조물
5 5
제3 항에 있어서,상기 대향 표면은 상기 강한 친수성 재료로 상기 타측부 하부에 형성되는 제2 친수성층의 표면인 미세기전 구조물
6 6
제4 항 또는 제5 항에 있어서,상기 상부 표면과 상기 대향 표면은 동일한 재료 또는 서로 다른 재료를 이용하여 구성하는 미세기전 구조물
7 7
제4 항 또는 제5 항에 있어서,상기 제1 및 제2 친수성층은 5-100 nm의 두께인 것을 특징으로 하는 미세기전 구조물
8 8
상부 표면을 갖는 하부 구조물을 형성하는 단계;상기 하부구조물 상의 소정 영역에 희생층을 형성하는 단계; 상기 하부 구조물의 상기 상부 표면의 일영역에 고정되는 일측부와, 상기 일측부와 연결되며 희생층의 제거를 통해 상기 상부 표면과 대향하는 대향 표면을 갖고 부양되는 타측부를 형성하는 단계; 및상기 희생층을 제거하여 상기 타측부를 부양시키는 단계를 포함하되, 상기 희생층을 제거할 때, 상기 희생층 제거시 생성된 물이 상기 상부 표면과 상기 대향 표면 사이에서 물기둥을 형성하지 않도록 강한 친수 성을 갖는 친수성 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 미세기전 구조물의 제조방법
9 9
제8 항에 있어서, 상기 희생층은 thermal oxide, thermal CVD oxide, PECVD oxide, SOG, sputtered oxide 또는 evaporated oxide인 산화규소, 인(P)이 첨가된 산화규소(PSG), 또는 붕소(B)와 인(P)이 첨가된 산화규소(BPSG)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 미세기전 구조물의 제조방법
10 10
제9 항에 있어서, 상기 희생층의 식각은 불산(HF) 반응가스와 알코올류 촉매가스, 그리고 촉매가스를 운반하는 가스를 포함하는 혼합가스를 사용하여 25-45 ℃의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 미세기전 구조물의 제조방법
11 11
제8 항에 있어서,상기 강한 친수성 재료는 알루미늄, 티타늄, 크롬, 철, 코발트, 산화알루미늄, 산화크롬, 산화철, 산화코발트 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 미세기전 구조물의 제조방법
12 12
제11 항에 있어서,상기 강한 친수성 재료는, 상기 상부 표면 및 상기 대향 표면과 상기 희생층 제거시 생성된 물의 접촉각도가 5 ~ 23도 범위인 미세기전 구조물의 제조방법
13 13
제12 항에 있어서,상기 하부 구조물의 상부 표면은 상기 강한 친수성 재료로 상기 하부 구조물의 상부에 형성되는 제1 친수성층의 표면인 것을 특징으로 하는 미세기전 구조물의 제조방법
14 14
제12 항에 있어서,상기 대향 표면은 상기 강한 친수성 재료로 상기 타측부 하부에 형성되는 제2 친수성층의 표면인 미세기전 구조물의 제조방법
15 15
희생층의 제거를 통하여 부양된 미세기전 구조물에 있어서,상부 표면을 갖는 하부 구조물;상기 하부 구조물의 상기 상부 표면의 일영역에 고정되는 일측부; 및 상기 희생층의 제거를 통해 상기 상부 표면과 대향하는 대향 표면을 갖고 부양되는 타측부를 구비하되, 상기 상부 표면과 상기 대향 표면 중 적어도 하나의 일영역에는 알루 미늄, 티타늄, 크롬, 철, 코발트, 산화알루미늄, 산화크롬, 산화철, 산화코발트 중 어느 하나의 원소로 이루어진 친수성층을 더 포함되는 것을 특징으로 하는 미세기전 구조물
16 16
제15 항에 있어서, 상기 친수성층은 5-100 nm의 두께인 것을 특징으로 하는 미세기전 구조물
17 16
제15 항에 있어서, 상기 친수성층은 5-100 nm의 두께인 것을 특징으로 하는 미세기전 구조물
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2 US20070215965 US 미국 FAMILY
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1 US2007215965 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US7728395 US 미국 DOCDBFAMILY
3 WO2005124869 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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