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소정 영역 상에 광검출기가 장착되며 제 1 소정각을 갖는 제 1 경사면 및 제 2 소정각을 갖는 제 2 경사면을 구비한 기판; 및상기 제 1 경사면에 전반사 코팅된 막으로 이루어진 전반사면 및 상기 제 2 경사면에 무반사 코팅된 막으로 이루어진 무반사면을 구비한 식각구조복합체를 포함하여 구성되며,외부에서 입사된 광은 상기 전반사면에서 반사된 후, 상기 무반사면에 전달되어 이를 통과하여 상기 광검출기로 전달되는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 광검출기는 표면 입사형 광검출기 또는 측면 입사형 광검출기인 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 광검출기는 평면형/광도파로형 p-i-n 광검출기, 광공진 구도형/광도파로형 아발란치 광검출기, 분포된 속도정합형 광검출기, 단일 및 주기적 배열형 단일주행운반자 광검출기 또는 금속-반도체-금속 광검출기인 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 광검출기가 측면입사형 광검출기인 경우, 상기 광검출기와 상기 무반사면 사이에 광도파로가 추가로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 식각구조복합체에는 전반사면 및/또는 무반사면을 추가로 포함하여, 입사된 광이 하나 이상의 광검출기를 통하여 검출될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
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소정 영역 상에 표면입사형 광검출기가 장착되는 기판; 및 상기 기판에 입사되는 입사광을 통과시키는 제 1 무반사면, 입사된 광이 제 1 소정각을 갖고 전반사되어 상기 광검출기 전달될 수 있도록 코팅된 제 1 전반사면, 및 상기 광검출기에 흡수되지 않고 반사된 광을 다시 광검출기에 전달하기 위한 제 2 전반사면을 구비한 식각구조복합체를 포함하되, 외부에서 입사된 광은 상기 제 1 무반사면을 통과하고 상기 제 1 전반사면에서 반사되어 상기 광검출기로 전달되어 흡수되고, 상기 광검출기에 흡수되지 않고 반사된 광은 상기 제 2 전반사면을 거쳐서 상기 광검출기에 다시 흡수되는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
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제 6 항에 있어서, 상기 광검출기에 흡수되지 않고 반사된 광을 다시 광검출기에 전달하기 위하여 추가로 하나 이상의 전반사면을 포함하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
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제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 전반사면에는 Au, Ag 등의 금속막, SiOx, SiNx, CeO2, CeF3, SiO2, TiO2, MgF2, ZnS 등의 단일 유전체 박막, 또는 이들의 조합으로 구성되는 다중막으로 코팅하는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
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제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 무반사면에는 SiOx, SiNx, CeO2, CeF3, SiO2, TiO2, MgF2, ZnS 등의 유전체 박막을 단일막, 이중막 또는 그 이상의 다중막으로 코팅되는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
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10
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 기판은 InP 기판인 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
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제 10 항에 있어서, 상기 식각구조복합체는 상기 InP 기판을 HBr 계열 또는 HCl 계열의 식각액을 사용하여식각 마스크의 방향, 식각 방식의 조합에 따라 경사각을 갖는 경사면들을 제작하는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
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제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 식각구조복합체는 상기 광검출기와 동일 에피-구조로 제작하는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
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제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 식각구조복합체는 상기 광검출기와 동일 에피-구조로 제작하는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
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