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광검출기가 집적 가능한 광결합 장치

  • 기술번호 : KST2015088267
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판 내부에 전반사 / 무반사면을 구비하는 식각구조복합체를 형성하여 입사광과의 결합효율 및 광검출소자의 감도를 향상시킨 광결합 장치에 관한 것으로 이를 이용하면 표면 입사형 광검출기나 측면입사형 광검출기가 모두 집적가능하고 패키징의 난이도를 크게 낮출 수 있어 저비용으로 광검출기의 감도를 증가시킬 수 있도록 하는 효과가 있다. 광결합 장치, 식각구조복합체, 표면입사형 광검출기, 측면입사형 광검출기
Int. CL G02B 6/12 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020030085550 (2003.11.28)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0593307-0000 (2006.06.19)
공개번호/일자 10-2005-0051882 (2005.06.02) 문서열기
공고번호/일자 (20060626) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.11.28)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김인규 대한민국 대전광역시서구
2 김경옥 대한민국 서울특별시강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2003-0453777-44
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.07.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.08.17 수리 (Accepted) 9-1-2005-0051258-75
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0606044-67
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0066068-28
6 의견서
Written Opinion
2006.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0142812-53
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.02.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0142121-12
8 등록결정서
Decision to grant
2006.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0283667-93
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
소정 영역 상에 광검출기가 장착되며 제 1 소정각을 갖는 제 1 경사면 및 제 2 소정각을 갖는 제 2 경사면을 구비한 기판; 및상기 제 1 경사면에 전반사 코팅된 막으로 이루어진 전반사면 및 상기 제 2 경사면에 무반사 코팅된 막으로 이루어진 무반사면을 구비한 식각구조복합체를 포함하여 구성되며,외부에서 입사된 광은 상기 전반사면에서 반사된 후, 상기 무반사면에 전달되어 이를 통과하여 상기 광검출기로 전달되는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 광검출기는 표면 입사형 광검출기 또는 측면 입사형 광검출기인 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 광검출기는 평면형/광도파로형 p-i-n 광검출기, 광공진 구도형/광도파로형 아발란치 광검출기, 분포된 속도정합형 광검출기, 단일 및 주기적 배열형 단일주행운반자 광검출기 또는 금속-반도체-금속 광검출기인 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 광검출기가 측면입사형 광검출기인 경우, 상기 광검출기와 상기 무반사면 사이에 광도파로가 추가로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 식각구조복합체에는 전반사면 및/또는 무반사면을 추가로 포함하여, 입사된 광이 하나 이상의 광검출기를 통하여 검출될 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
6 6
소정 영역 상에 표면입사형 광검출기가 장착되는 기판; 및 상기 기판에 입사되는 입사광을 통과시키는 제 1 무반사면, 입사된 광이 제 1 소정각을 갖고 전반사되어 상기 광검출기 전달될 수 있도록 코팅된 제 1 전반사면, 및 상기 광검출기에 흡수되지 않고 반사된 광을 다시 광검출기에 전달하기 위한 제 2 전반사면을 구비한 식각구조복합체를 포함하되, 외부에서 입사된 광은 상기 제 1 무반사면을 통과하고 상기 제 1 전반사면에서 반사되어 상기 광검출기로 전달되어 흡수되고, 상기 광검출기에 흡수되지 않고 반사된 광은 상기 제 2 전반사면을 거쳐서 상기 광검출기에 다시 흡수되는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 광검출기에 흡수되지 않고 반사된 광을 다시 광검출기에 전달하기 위하여 추가로 하나 이상의 전반사면을 포함하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
8 8
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 전반사면에는 Au, Ag 등의 금속막, SiOx, SiNx, CeO2, CeF3, SiO2, TiO2, MgF2, ZnS 등의 단일 유전체 박막, 또는 이들의 조합으로 구성되는 다중막으로 코팅하는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
9 9
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 무반사면에는 SiOx, SiNx, CeO2, CeF3, SiO2, TiO2, MgF2, ZnS 등의 유전체 박막을 단일막, 이중막 또는 그 이상의 다중막으로 코팅되는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
10 10
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 기판은 InP 기판인 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 식각구조복합체는 상기 InP 기판을 HBr 계열 또는 HCl 계열의 식각액을 사용하여식각 마스크의 방향, 식각 방식의 조합에 따라 경사각을 갖는 경사면들을 제작하는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
12 12
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 식각구조복합체는 상기 광검출기와 동일 에피-구조로 제작하는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
13 12
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 식각구조복합체는 상기 광검출기와 동일 에피-구조로 제작하는 것을 특징으로 하는 광검출기가 집적가능한 광결합 장치
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4 JP19013202 JP 일본 FAMILY
5 US06992360 US 미국 FAMILY
6 US20050116311 US 미국 FAMILY

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6 US6992360 US 미국 DOCDBFAMILY
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