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화합물 반도체 에피택시 박막을 CBE(Chemical Beam Epitaxy)/ALE(Atomil Layer Epuitaxy) 방법으로 제작하기 위한 가스공급계에 있어서, 수소화물 가스와 수소 및 질소가스를 보관하면서 가스조절실(2)로 보관중인 가스의 공급시 밸브(9),(34),(40)에 의해 가스의 흐름을 개폐하며, 압력조절기(8),(32),(34)을 이용하여 일정한 압력으로 수소화물 가스를 공급하는 가스보관실(1)가; 유기금속 가스의 보관과 상기 가스보관실(1)로부터 공급된 수소화물 가스 및 유기금속 가스를 밸브(10),(43),(44),(15),(16) 및 밸브(41),(42),(19),(18),(20),(22),(21),(27),(28)의 연결상태를 이용하여 폐기계(3) 또는 성장실로 공급 및 차단하고, 가스의 흐름을 성장실 또는 폐기계(3)로의 공급 경로를 자동밸브(15),(27) 및 (16),(28)을 이용하여 교환할때 압력기(14),(26)의 신호를 피드 백(Feed back)하여 자동압력조절기(12),(24)에서 유량을 조절하므로서 공급압력의 변화없이 일정한 압력으로 유지 및 공급 조절기 가능한 연결방법을 이용한 가스조절실(2)와 ; 상기 가스조절실(2)로부터의 폐기용 가스를 폐기하는 폐기계(3)와 ; 상기 가스보관실(1)과 가스조절실(2)에 있는 자동밸브(10),(15),(16),(19),(20),(22),(27),(28),(34),(40),(41),(44)의 개폐 콘트롤과 자동 압력조절기(12),(24)의 압력 콘트롤로 가스의 공급경로 및 압력을 콘트롤하는 콘트롤계(4)로 구성한 것을 특징으로 하는 CBE/ALE에서의 가스공급계
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제 1 항에 있어서, 가스보관실(1)과 가스조절실(2)의 연결 계통도에서 비상 상황시 가스라인에 다른 가스의 공급이 중단되고 질소 분위기에서 잔류가스가 폐기계(3)으로 폐기되도록 정상상태에서 열려있는 자동밸브(34),(44),(20),(28),(16),(41)과 정상상태에서 닫혀있는 자동밸브(10),(15),(19),(22),(40),(27)로 구성된 연결상태를 특징으로 하는 CBE/ALE에서의 가스공급계
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제 1 항에 있어서, 가스보관실(1), 가스조절실(2)에서 비상시 가스라인이 질소 분위기에 있도록 하는 자동밸브(34),(20),(27),(28),(44),(10),(15),(16)로 구성된 CBE/ALE에서의 가스공급계
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