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펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치

  • 기술번호 : KST2015096515
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 펄스 레이저 증착장치를 사용하여 기판 상에 박막을 성장할 때, 고품위의 재현성있는 박막을 성장할 수 있고, 증착장치를 자동화할 수 있으며, 펄스 레이저 증착을 경제적으로 수행할 수 있는 멀티 타겟 구동장치에 관한 것이다. 본 발명의 펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치는, 스테핑 모터와, 구동 피드스루로 구성되어, 타겟원판 구동축 및 타겟 구동용 모터축에 회전 구동력을 제공하기 위한 구동력 제공부와; 설치 플랜지와, 타겟원판 구동용 피동기어와, 타겟원판 구동용 능동기어와, 타겟원판 구동용 모터축과, 타겟원판 구동축과, 머리부 지지용 프레임과 타겟 구동용 모터축으로 구성되어, 상기한 구동력 제공부로부터 제공받은 타겟원판 및 타겟의 회전에 필요한 회전 구동력을 전달하며 타겟 구동장치의 머리부를 지지하기 위한 구동력 전달 및 지지부와; 타겟 원판과, 타겟 구동용 피동기어와, 타겟 구동용 능동기어와, 타겟홀더 고정용 스터브와, 타겟 홀더와, 복수의 타겟 구동축으로 구성되어, 타겟 재료를 레이저빔의 촛점에 위치시키도록 타겟원판과 타겟의 회전이 수행되는 머리부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019960035748 (1996.08.27)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0216542-0000 (1999.05.31)
공개번호/일자 10-1998-0016216 (1998.05.25) 문서열기
공고번호/일자 (19990816) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1996.08.27)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김제하 대한민국 대전광역시 유성구
2 한석길 대한민국 대전광역시 서구
3 강광용 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
3 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1996.08.27 수리 (Accepted) 1-1-1996-0126359-36
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1996.08.27 수리 (Accepted) 1-1-1996-0126358-91
3 특허출원서
Patent Application		 1996.08.27 수리 (Accepted) 1-1-1996-0126357-45
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.25 수리 (Accepted) 1-1-1996-0126360-83
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.26 수리 (Accepted) 1-1-1996-0126361-28
6 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1999.03.11 수리 (Accepted) 1-1-1999-5108069-21
7 등록사정서
Decision to grant		 1999.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0101348-65
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

타겟원판 구동축 및 타겟 구동용 모터축을 회전시키기 위한 스테핑 모터와, 상기한 스테핑 모터의 일측에 연결된 구동 피드스루로 구성되어, 타겟원판 구동축 및 타겟 구동용 모터축에 회전 구동력을 제공하기 위한 구동력 제공부와, 상기한 구동력 제공부의 일측에 부설되어 진공 용기에 연결되는 걸치 플랜지와, 타겟원판 구동축의 타겟원판 구동용 피동기어와 맞물린 타겟원판 구동용 능동기어가 일측에 부설된 타겟원판 구동용 모터축과, 일측에 타겟원판이 부설되어 타겟원판의 회전에 필요한 회전 구동력을 전달받기 위한 타겟원판 구동축과, 일측이 상기한 설치 프랜지에 결합되어 멀티 타겟 구동장치의 머리부를 지지하기 위한 머리부 지지용 프레임과, 상기한 타겟원판 구동축의 중심에 관통설치되어 타겟의 회전에 필요한 회전 구동력을 전달하기 위한 타겟 구동용 모터축으로 구성되어, 상기한 구동력 제공부로부터 제공받은 타겟원판 및 타겟의 회전에 필요한 회전 구동력을 전달하며 타겟 구동장치의 머리부를 지지하기 위한 구동력 전달 및 지지부와, 상기한 타겟원판 구동판의 일단에 연결되며, 그위에 장착된 복수의 타겟 중에서 특정한 타겟을 레이저빔의 초점으로 회전이동시키기 위한 타겟 원판과, 상기한 타겟 구동용 모터축의 일단에 연결되며 그것의 외주연에 등간격으로 배열된 타겟 구동용 피동기어를 회전 구동시키기 위한 타겟 구동용 능동기어와, 그 일단은 상기한 타겟 원판에 부설되고 그 일측에는 타겟 구동용 피동기어가 장착되며 타단에는 타겟홀더 고정용 스터브 및 타겟 홀더가 부설되어 타겟 홀더를 회전 구동시키기 위한 복수의 타겟 구동축으로 구성되어, 타겟재료를 레이저빔의 촛점에 위치시키도록 타겟원판과 타겟의 회전이 수행되는 머리부를 포함하는, 펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치

2 2

제1항에 있어서, 2개의 동력 전달측인 타겟원판 구동용 모터축 및 타겟 구동용 모터축이 서로 평행하게 구성된 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치

3 3

제1항에 있어서, 2개의 동력 전달축인 타겟원판 구동용 모터축 및 타겟 구동용 모터축이 서로 수직하게 구성된 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치

4 4

제1항에 있어서, 타겟 구동축의 회전시 축의 중심에서의 흔들림을 없애고, 타겟 원판에 지지되었을 때 항상 수직을 유지할 수 있도록, 타겟 원판과 접촉하는 각각의 타겟 구동축의 전후에 각각 2개의 진공 베어링인 전방 타겟 구동축지지 베어링과 후방 타겟 구동축지지 베어링을 설치 한 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치

5 5

제1항에 있어서, 타겟 구동축의 회전시 축의 중심에서의 흔들림을 없애고, 타겟 원판에 지지되었을 때 항상 수직을 유지할 수 있도록, 서로 일정간격 일격된 2개의 타겟 원판을 설치하고, 상기한 2개의 타겟 원판과의 접촉 부의에 진공 베어링인 전방 타겟 구동축 지지 베어링과 후방 타겟 구동축지지 베어링을 각각 1개씩 설치한 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 증착 장치용 멀티 타겟 구동장치

6 6

제1항에 있어서, 타겟 홀더 고정용 스터브로부터 타겟 홀더를 분리하기 용이하게 하기 위하여, 고정용 스크류가 고정되는 타겟 홀더의 위치에 일단이 개방된 스크류 홈을 형성한 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 증착 장치용 멀티 타겟 구동장치

7 7

제1항에 있어서, 상기한 타겟 구동축 타단의 타겟 홀더 고정용 스터브의 후단에 부설되어 열원으로부터 장치를 보호하기 위한 방열판과, 그 일단은 타겟원판에 고정되고 타단은 상기한 방열판에 고정되어 방열판을 정 위치에 고정시키기 위한 복수의 간격 유지용 로드를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 증측장치용 멀티 타겟 구동장치

8 8

제1항에 있어서, 열에 의한 구조물의 면형시 균일한 변형을 유도하기 위하여, 타겟 원판과 타겟원판 구동축을 동일 재질로 구성하고, 타겟 원판과 타겟 원판 구동축의 결합부를 용접이나 볼트 체결을 사용하여 일체형으로 구성한 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치

9 9

제1항에 있어서, 상기한 머리부 지지용 프레임은 일면이 개방된 원통형 또는 삼각 트러스형 구조로 형성하고, 프레임과 설치 프랜지의 결합부를 용접이나 볼트 체결을 사용하여 일체형으로 형성한 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치

10 10

제9항에 있어서, 상기한 프레임의 양단에 타겟원판 구동축을 지지할 수 있는지지 베어링을 타겟원판 구동축의 전방과 후방에 적어도 2개 이상 설치한 것을 특징으로 하는 펄스 레이저 증착장치용 멀티 타겟 구동장치

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US05942040 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 US5942040 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.