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수직형유기금속기상결정성장장치(MOCVD)의반응기구조

  • 기술번호 : KST2015100418
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 화합물 반도체 결정성장 장비인 유기금속 기상 결정성장 장치의 반응기 구조에 관한 것으로, 특히 균일도가 향상된 양질의 반도체 결정을 성장시키기 위한 수직형 유기금속 기상 결정성장치(MDCVD)의 반응기 구조에 관한 것으로 배기구를 중심으로 대칭된 구조의 서로 다른 구멍크기를 갖는 매쉬밴드(mesh band)를 반응기 마운트에 삽입하게 되나. 이 경우 역시 반응기내의 성장입력이나 속도등의 성장조건 변화에 따라 최적화된 매쉬밴드(mesh band)의 구멍크기비를 찾는데 어려움이 많은 문제점을 해소하기 위하여 상기의 문제점을 달성하기 위하여 본 발명에서는 반응기 마운트의 배기구 양단에 2개의 배기관을 만듬으로서 대칭점을 하나 더 늘려 유체의 분산도를 크게함을 특징으로 함.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC C23C 16/4412(2013.01) C23C 16/4412(2013.01)
출원번호/일자 1019930029350 (1993.12.23)
출원인 한국전자통신연구원, 주식회사 케이티
등록번호/일자 10-0118313-0000 (1997.07.16)
공개번호/일자 10-1995-0020994 (1995.07.26) 문서열기
공고번호/일자 1019970005679 (19970418) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1993.12.23)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 케이티 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오대곤 대한민국 대전직할시유성구
2 김정수 대한민국 대전직할시유성구
3 김홍만 대한민국 대전직할시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 케이티 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1993.12.23 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147053-04
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1993.12.23 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147052-58
3 특허출원서
Patent Application		 1993.12.23 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147051-13
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1994.02.23 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147054-49
5 출원인명의변경신고서
Applicant change Notification		 1994.10.12 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147055-95
6 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1997.03.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0070080-36
7 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.03.21 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147056-30
8 등록사정서
Decision to grant		 1997.07.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0070081-82
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.20 수리 (Accepted) 4-1-1999-0010652-29
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2000-0005008-66
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2002-0032774-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.03.13 수리 (Accepted) 4-1-2009-5047686-24
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2010-5068437-23
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2012-5005621-98
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.03.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5058926-38
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2012-5122434-12
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2013-5106568-91
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018159-78
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

화합물 반도체 결정성장장비인 유기금속 기상 결정성장장치의 반응기 구조에 있어서, 수직형 반응기 마운트(19)의 배기부 양단에 유체의 분산도를 향상시키기 위하여 양반향에 각각 설치된 배기관(3)과; 상기 반응기 마운트(10)의 안쪽에 원통혀응로 끼워진 배기구 매쉬밴드(6)가 설치됨을 특징으로 하는 수직형 유기금속 기상 결정성장장치(MOCVD)의 반응기구조

2 2

제1항에 있어서, 반응기 마운트(19)에 설치된 매쉬밴드(6)는 구멍의 크기를 같게하고 등간격으로 위치하게 하므로서 유량을 사방으로 완전 등분배시킨 다주매수밴드를 사용함을 특징으로 하는 수직형 유기금속 기상 결정성장장치(MOCVD)의 반응기구조

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.