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단결정 성장용 종자정의 제조 방법, 상기 종자정을 이용한 단결정 성장 방법
- 기술번호 : KST2015107856
- 담당센터 :
- 전화번호 :
| 요약 | 단결정 성장용 종자정의 제조 방법 및 상기 종자정을 이용한 단결정 성장 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 단결정 성장용 종자정의 제조 방법에 있어서, 종자정 일면에 탄화막을 형성하는 단계; 상기 종자정 다른 일면에 산화막을 제거하는 단계; 및 상기 종자정을 세정하는 단계를 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | C01B 31/36 (2006.01) C30B 29/36 (2006.01) C30B 23/00 (2006.01) |
| CPC | C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020120157322 (2012.12.28) |
| 출원인 | 주식회사 포스코, 재단법인 포항산업과학연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1419472-0000 (2014.07.08) |
| 공개번호/일자 | 10-2014-0087344 (2014.07.09) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20140716) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2012.12.28) |
| 심사청구항수 | 12 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 주식회사 포스코 | 대한민국 | 경상북도 포항시 남구 |
| 2 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 여임규 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
| 2 | 은태희 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
| 3 | 김장열 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
| 4 | 김흥락 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
| 5 | 이승석 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
| 6 | 서한석 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 유미특허법인 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 주식회사 포스코 | 경상북도 포항시 남구 | |
| 2 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 경북 포항시 남구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.12.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-1093746-29 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.05.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-0019112-38 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2013.08.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2013.10.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0086804-80 |
| 5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2014.02.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0135675-42 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2014.04.24 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0392064-25 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2014.04.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0392063-80 |
| 8 | 등록결정서 Decision to grant |
2014.05.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0342173-34 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2016.09.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5138263-79 |
| 10 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2017.08.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0788247-19 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.04.30 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5077322-80 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5200802-82 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.09.30 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5204006-48 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.10.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5211042-46 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 단결정 성장용 종자정의 제조 방법에 있어서,종자정 일면에 탄화막을 형성하는 단계;상기 종자정 다른 일면에 산화막을 제거하는 단계; 및상기 종자정을 세정하는 단계를 포함하는 단결정 성장용 종자정의 제조 방법 |
| 2 |
2 제1항에 있어서,상기 탄화막은 종자정 받침대와 결합되는 종자정의 일면에 형성되는 단결정 성장용 종자정의 제조 방법 |
| 3 |
3 제1항에 있어서,상기 종자정은 실리콘 카바이드를 포함하는 단결정 성장용 종자정의 제조 방법 |
| 4 |
4 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 탄화막 형성 단계는, 상기 종자정의 일면에 탄소 페이스트(paste)를 도포하여 계면을 접합하는 단계; 및 상기 탄화막을 열처리를 통하여 탄화 및 경화시키는 단계를 포함하는 단결정 성장용 종자정의 제조 방법 |
| 5 |
5 제4항에 있어서,상기 산화막 제거 단계는, 상기 종자정을 HF 수용액 담금질(dipping) 처리하는 단계; 및 연마 장치로 연마하는 단계를 포함하는 단결정 성장용 종자정의 제조 방법 |
| 6 |
6 제5항에 있어서,상기 종자정 세정 단계는, 증류수에 극미량의 석회를 넣고 초음파 세척하는 단계; 및 상기 종자정을 흐르는 증류수에 세척하는 단계를 포함하는 단결정 성장용 종자정의 제조 방법 |
| 7 |
7 원료 물질이 장입되는 도가니, 종자정이 부착되는 종자정 받침대, 상기 도가니를 가열하는 가열수단을 포함하는 단결정 성장 장치를 이용하여 단결정을 성장시키는 단결정 성정 방법에 있어서,종자정 일면에 탄화막을 형성하는 단계;상기 종자정 다른 일면에 산화막을 제거하는 단계; 및상기 종자정을 세정하는 단계를 포함하는 단결정 성장용 종자정의 제조 방법에 의하여 상기 종자정을 제조하고,상기 종자정 받침대에 종자정을 부착시키는 단계;상기 종자정이 부착된 종자정 받침대를 상기 단결정 성장 장치 내로 인입시키는 단계;상기 원료 물질을 상기 단결정 성장 장치 내부에 배치된 도가니에 장입시키는 단계;상기 가열수단을 이용하여 도가니를 가열시켜, 상기 도가니 내에 장입된 원료 물질을 승화시켜 상기 종자정에 단결정을 성장시키는 단계를 포함하는 종자정을 이용한 단결정 성장 방법 |
| 8 |
8 제7항에 있어서,상기 탄화막은 종자정 받침대와 결합되는 종자정의 일면에 형성되는 종자정을 이용한 단결정 성장 방법 |
| 9 |
9 제7항에 있어서,상기 종자정은 실리콘 카바이드를 포함하는 종자정을 이용한 단결정 성장 방법 |
| 10 |
10 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 탄화막 형성 단계는, 상기 종자정의 일면에 탄소 페이스트(paste)를 도포하여 계면을 접합하는 단계; 및 상기 탄화막을 열처리를 통하여 탄화 및 경화시키는 단계를 포함하는 종자정을 이용한 단결정 성장 방법 |
| 11 |
11 제10항에 있어서,상기 산화막 제거 단계는, 상기 종자정을 HF 수용액 담금질(dipping) 처리하는 단계; 및 연마 장치로 연마하는 단계를 포함하는 종자정을 이용한 단결정 성장 방법 |
| 12 |
12 제11항에 있어서,상기 종자정 세정 단계는, 증류수에 극미량의 석회를 넣고 초음파 세척하는 단계; 및 상기 종자정을 흐르는 증류수에 세척하는 단계를 포함하는 종자정을 이용한 단결정 성장 방법 |
| 13 |
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| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 산업통상자원부 | (주) 포스코 | 소재부품기술개발사업(WPM) | 고품위 SiC 단결정 웨이퍼 제조 기술 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1419472-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20121228 출원 번호 : 1020120157322 공고 연월일 : 20140716 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20140520 청구범위의 항수 : 12 유별 : C30B 29/36 발명의 명칭 : 단결정 성장용 종자정의 제조 방법, 상기 종자정을 이용한 단결정 성장 방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 재단법인 포항산업과학연구원 경북 포항시 남구... |
| 1 |
(권리자) 주식회사 포스코 경상북도 포항시 남구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 513,000 원 | 2014년 07월 08일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 304,000 원 | 2017년 06월 12일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 304,000 원 | 2018년 05월 23일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 304,000 원 | 2019년 07월 04일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 556,000 원 | 2020년 07월 06일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.12.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-1093746-29 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.05.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-0019112-38 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 | 2013.08.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 | 2013.10.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0086804-80 |
| 5 | 의견제출통지서 | 2014.02.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0135675-42 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 | 2014.04.24 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0392064-25 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2014.04.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0392063-80 |
| 8 | 등록결정서 | 2014.05.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0342173-34 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2016.09.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5138263-79 |
| 10 | [출원서등 보정]보정서 | 2017.08.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0788247-19 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.04.30 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5077322-80 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5200802-82 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.09.30 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5204006-48 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.10.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5211042-46 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1415122485 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 10037904 |
| 연구과제명 | 고품위 SiC 단결정 웨이퍼 제조기술 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 연구주관기관명 | 주식회사포스코 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 201009~201903 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
특허성과
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