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원료 분말 소결체 벌크 제조 방법과 장치 및 소결체 벌크를 이용한 단결정 성장 방법
- 기술번호 : KST2015107880
- 담당센터 :
- 전화번호 :
| 요약 | 원료 분말 소결체 벌크 제조 방법 및 소결체 벌크를 이용한 단결정 성장 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 도가니의 내부에 원료 물질을 장입하는 원료 물질 장입 단계; 상기 도가니를 제1 설정 온도, 제1 설정 압력 및 제1 설정 시간 동안 가열하여 상기 도가니에 포함된 불순물을 제거하는 불순물 제거 단계; 상기 도가니 내부를 제2 설정 압력으로 승압하는 승압 단계; 상기 승압 단계 후 상기 도가니 내부를 상기 제2 설정 압력으로 유지하면서 가열수단을 이용하여 상기 도가니를 제2 설정 온도로 가열하는 가열 단계; 상기 가열 단계 후 상기 도가니를 제2 설정 시간 동안 제2 설정 압력으로 유지하면서 상기 원료 물질을 소결시켜 소결체 벌크를 형성하는 소결 단계를 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | C01B 31/36 (2006.01) B01J 6/00 (2006.01) C30B 29/36 (2006.01) C30B 23/00 (2006.01) |
| CPC | C04B 35/565(2013.01) C04B 35/565(2013.01) C04B 35/565(2013.01) C04B 35/565(2013.01) C04B 35/565(2013.01) C04B 35/565(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020120157321 (2012.12.28) |
| 출원인 | 주식회사 포스코, 재단법인 포항산업과학연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1480491-0000 (2015.01.02) |
| 공개번호/일자 | 10-2014-0087343 (2014.07.09) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20150112) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2012.12.28) |
| 심사청구항수 | 27 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 주식회사 포스코 | 대한민국 | 경상북도 포항시 남구 |
| 2 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 여임규 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
| 2 | 김장열 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
| 3 | 김흥락 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
| 4 | 이승석 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
| 5 | 은태희 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
| 6 | 서한석 | 대한민국 | 경북 포항시 남구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 유미특허법인 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 주식회사 포스코 | 경상북도 포항시 남구 | |
| 2 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 경북 포항시 남구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.12.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-1093745-84 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.05.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-0019112-38 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2013.11.06 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2013.12.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0105258-41 |
| 5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2014.04.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0281701-88 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2014.06.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0545543-38 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2014.06.11 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0545544-84 |
| 8 | 등록결정서 Decision to grant |
2014.10.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0745234-17 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2016.09.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5138263-79 |
| 10 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2017.08.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0788245-28 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.04.30 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5077322-80 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5200802-82 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.09.30 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5204006-48 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.10.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5211042-46 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 도가니의 내부에 분말 형태의 원료 물질을 장입하는 원료 물질 장입 단계;상기 도가니를 제1 설정 온도, 제1 설정 압력 및 제1 설정 시간 동안 가열하여 상기 도가니에 포함된 불순물을 제거하는 불순물 제거 단계;상기 도가니 내부를 제2 설정 압력으로 승압하는 승압 단계;상기 승압 단계 후 상기 도가니 내부를 상기 제2 설정 압력으로 유지하면서 가열수단을 이용하여 상기 도가니를 제2 설정 온도로 가열하는 가열 단계; 및상기 가열 단계 후 상기 도가니를 제2 설정 시간 동안 제2 설정 압력으로 유지하면서 상기 원료 물질을 소결시켜 소결체 벌크를 형성하는 소결 단계를 포함하는 원료 분말 소결체 벌크 제조 방법 |
| 2 |
2 제1항에 있어서,상기 소결 단계 후 상기 제2 설정 압력을 유지하면서 상기 도가니를 자연적으로 냉각하는 냉각 단계를 포함하는 원료 분말 소결체 벌크 제조 방법 |
| 3 |
3 제2항에 있어서,상기 불순물 제거 단계와 상기 승압 단계 사이에 상기 도가니의 내부 및 상기 도가니와 상기 도가니를 둘러싸는 단열재 사이에 남아 있는 공기를 제거할 수 있도록 단결정 성장 장치 내부에 불활성 가스를 주입하여 퍼징(purging)하는 퍼징 단계를 포함하는 원료 분말 소결체 벌크 제조 방법 |
| 4 |
4 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 소결체 벌크는 컵 케이크 형태로 형성되는 원료 분말 소결체 벌크 제조 방법 |
| 5 |
5 제4항에 있어서,상기 제1 설정 온도는 1000℃ 미만이고, 상기 제1 설정 압력은 진공 압력이고, 상기 제1 설정 시간은 2시간 내지 3시간으로 설정되는 원료 분말 소결체 벌크 제조 방법 |
| 6 |
6 제5항에 있어서,상기 제2 설정 압력은 600 torr 내지 650 torr 로 설정되는 원료 분말 소결체 벌크 제조 방법 |
| 7 |
7 제6항에 있어서,상기 제2 설정 온도는 2000℃ 내지 2150℃ 로 설정되는 원료 분말 소결체 벌크 제조 방법 |
| 8 |
8 제7항에 있어서,상기 제2 설정 시간은 5시간 내지 10시간으로 설정되는 원료 분말 소결체 벌크 제조 방법 |
| 9 |
9 제4항에 있어서,상기 소결체 벌크의 원료는 SIC 분말을 사용하는 원료 분말 소결체 벌크 제조 방법 |
| 10 |
10 분말 형태의 원료 물질이 장입되는 도가니, 종자정이 부착되는 종자정 받침대, 상기 도가니를 가열하는 가열수단을 포함하는 단결정 성장 장치를 이용하여 단결정을 성장시키는 단결정 성장 밥법에 있어서,상기 도가니의 내부에 분말 형태의 원료 물질을 장입하는 원료 물질 장입 단계;상기 도가니를 제1 설정 온도, 제1 설정 압력 및 제1 설정 시간 동안 가열하여 상기 도가니에 포함된 불순물을 제거하는 불순물 제거 단계;상기 도가니 내부를 제2 설정 압력으로 승압하는 승압 단계;상기 승압 단계 후 상기 도가니 내부를 상기 제2 설정 압력으로 유지하면서 가열수단을 이용하여 상기 도가니를 제2 설정 온도로 가열하는 가열 단계; 및상기 가열 단계 후 상기 도가니를 제2 설정 시간 동안 제2 설정 압력으로 유지하면서 상기 원료 물질을 소결시켜 소결체 벌크를 형성하는 소결 단계를 포함하여 소결체 벌크를 제조하고,상기 종자정 받침대에 종자정을 부착시키는 단계;상기 종자정이 부착된 종자정 받침대를 상기 단결정 성장 장치 내로 인입시키는 단계;상기 원료 물질을 상기 단결정 성장 장치 내부에 배치된 상기 도가니에 장입시키는 단계;상기 가열수단을 이용하여 상기 도가니를 가열시켜, 상기 도가니 내에 장입된 원료 물질을 승화시켜 종자정에 단결정을 성장시키는 단계를 포함하는 소결체 벌크를 이용한 단결정 성장 방법 |
| 11 |
11 제10항에 있어서,상기 소결 단계 후 상기 제2 설정 압력을 유지하면서 상기 도가니를 자연적으로 냉각하는 냉각 단계를 포함하는 소결체 벌크를 이용한 단결정 성장 방법 |
| 12 |
12 제11항에 있어서,상기 불순물 제거 단계와 상기 승압 단계 사이에 상기 도가니의 내부 및 상기 도가니와 상기 도가니를 둘러싸는 단열재 사이에 남아 있는 공기를 제거할 수 있도록 단결정 성장 장치 내부에 불활성 가스를 주입하여 퍼징(purging)하는 퍼징 단계를 포함하는 소결체 벌크를 이용한 단결정 성장 방법 |
| 13 |
13 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 소결체 벌크는 컵 케이크 형태로 형성되는 소결체 벌크를 이용한 단결정 성장 방법 |
| 14 |
14 제13항에 있어서,상기 제1 설정 온도는 1000℃ 미만이고, 상기 제1 설정 압력은 진공 압력이고, 상기 제1 설정 시간은 2시간 내지 3시간으로 설정되는 소결체 벌크를 이용한 단결정 성장 방법 |
| 15 |
15 제14항에 있어서,상기 제2 설정 압력은 600 torr 내지 650 torr 로 설정되는 소결체 벌크를 이용한 단결정 성장 방법 |
| 16 |
16 제15항에 있어서,상기 제2 설정 온도는 2000℃ 내지 2150℃ 로 설정되는 소결체 벌크를 이용한 단결정 성장 방법 |
| 17 |
17 제16항에 있어서,상기 제2 설정 시간은 5시간 내지 10시간으로 설정되는 소결체 벌크를 이용한 단결정 성장 방법 |
| 18 |
18 제13항에 있어서,상기 소결체 벌크의 원료는 SIC 분말을 사용하는 소결체 벌크를 이용한 단결정 성장 방법 |
| 19 |
19 도가니의 내부에 분말 형태의 원료 물질을 장입하는 원료 물질 장입부;상기 도가니를 제1 설정 온도, 제1 설정 압력 및 제1 설정 시간 동안 가열하여 상기 도가니에 포함된 불순물을 제거하는 불순물 제거부;상기 도가니 내부를 제2 설정 압력으로 승압하는 승압부;상기 승압부에 의하여 상기 도가니 내부를 상기 제2 설정 압력으로 유지하면서 상기 도가니를 제2 설정 온도로 가열하는 가열부; 및상기 도가니를 제2 설정 시간 동안 제2 설정 압력으로 유지하면서 상기 원료 물질을 소결시켜 소결체 벌크를 형성하는 소결체 벌크 형성부를 포함하는 원료 분말 소결체 벌크 제조 장치 |
| 20 |
20 제19항에 있어서,상기 소결체 벌크 형성부는 상기 제2 설정 압력을 유지하면서 상기 도가니를 자연적으로 냉각하는 냉각부를 포함하는 원료 분말 소결체 벌크 제조 장치 |
| 21 |
21 제20항에 있어서,상기 불순물 제거부에는 상기 도가니에 남아 있는 공기를 제거할 수 있도록 상기 도가니 내부에 불활성 가스를 주입하여 퍼징(purging)하는 퍼징부를 포함하는 원료 분말 소결체 벌크 제조 장치 |
| 22 |
22 제19항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서,상기 소결체 벌크는 컵 케이크 형태로 형성되는 원료 분말 소결체 벌크 제조 장치 |
| 23 |
23 제22항에 있어서,상기 제1 설정 온도는 1000℃ 미만이고, 상기 제1 설정 압력은 진공 압력이고, 상기 제1 설정 시간은 2시간 내지 3시간으로 설정되는 원료 분말 소결체 벌크 제조 장치 |
| 24 |
24 제23항에 있어서,상기 제2 설정 압력은 600 torr 내지 650 torr 로 설정되는 원료 분말 소결체 벌크 제조 장치 |
| 25 |
25 제24항에 있어서,상기 제2 설정 온도는 2000℃ 내지 2150℃ 로 설정되는 원료 분말 소결체 벌크 제조 장치 |
| 26 |
26 제25항에 있어서,상기 제2 설정 시간은 5시간 내지 10시간으로 설정되는 원료 분말 소결체 벌크 제조 장치 |
| 27 |
27 제22항에 있어서,상기 소결체 벌크의 원료는 SIC 분말을 사용하는 원료 분말 소결체 벌크 제조 장치 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 산업통상자원부 | (주) 포스코 | 소재부품기술개발사업(WPM) | 고품위 SiC 단결정 웨이퍼 제조 기술 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1480491-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20121228 출원 번호 : 1020120157321 공고 연월일 : 20150112 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20141030 청구범위의 항수 : 27 유별 : C01B 31/36 발명의 명칭 : 원료 분말 소결체 벌크 제조 방법과 장치 및 소결체 벌크를 이용한 단결정 성장 방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 주식회사 포스코 경상북도 포항시 남구... |
| 1 |
(권리자) 재단법인 포항산업과학연구원 경북 포항시 남구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 1,098,000 원 | 2015년 01월 02일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 634,000 원 | 2018년 01월 02일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 634,000 원 | 2018년 11월 02일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 634,000 원 | 2020년 01월 02일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.12.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-1093745-84 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.05.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-0019112-38 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 | 2013.11.06 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 | 2013.12.17 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0105258-41 |
| 5 | 의견제출통지서 | 2014.04.24 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0281701-88 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2014.06.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0545543-38 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 | 2014.06.11 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0545544-84 |
| 8 | 등록결정서 | 2014.10.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0745234-17 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2016.09.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5138263-79 |
| 10 | [출원서등 보정]보정서 | 2017.08.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0788245-28 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.04.30 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5077322-80 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.09.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5200802-82 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.09.30 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5204006-48 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.10.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5211042-46 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1415122485 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 10037904 |
| 연구과제명 | 고품위 SiC 단결정 웨이퍼 제조기술 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 연구주관기관명 | 주식회사포스코 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 201009~201903 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
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| [KST2016012795][포항산업과학연구원] | Ｐ형 탄화규소 단결정 및 이의 성장방법(P-TYPE SILICON CARBIDE SINGLE CRYSTAL AND GROWING METHOD FOR THE SAME) | 새창보기 |
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