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공초점원리의 단위변위센서를 이용한 초정밀 변위측정기및 다양한 변위측정방법

  • 기술번호 : KST2015111829
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다른 변위검출장치에 비하여 구성이 쉽고, 장비구현이 저가이며 탁월한 분해능을 가지고, 측정영역이 다른 측정장비에 비해 매우 큰 공초점원리의 단위변위센서를 이용한 초정밀 변위측정기 및 직선 또는 회전변위를 검출하는 변위측정방법에 관한 것이다.본 발명의 일실시예로서 광원으로부터 변위측정대상물에 광점을 투광하고, 투광된 광점의 이송량으로서 상대적 변위를 측정하는 기기로서, 광원으로부터 발산된 광선을 일정한 크기의 슬릿 또는 핀홀에 투광시키는 투광렌즈(26)와; 상기 슬릿 또는 핀홀을 통과한 광선을 평행시키는 평행광렌즈(28)와; 상기 평행광렌즈(28)와 변위측정대상물과의 사이에 배치된 대물렌즈(30)와; 상기 투광렌즈(26)로 반사된 광선을 파장별로 분할하는 광분할기(32); 및 상기 광분할기(32)를 통과한 광선의 광강도를 검출하는 광검출기(34)를 포함한 단위변위센서(20)를 구비하고, 상기 광검출기(34)로 검출되는 광신호가 항상 최대를 유지할 수 있도록 상기 단위변위센서(20)를 미세 이송시키기 위한 구동수단을 포함한 것을 특징으로 한다.변위센서, 격자, 공초점, 광분할기, 광검출기, 압전구동기, 회전변위
Int. CL G01B 11/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020010001654 (2001.01.11)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0421427-0000 (2004.02.23)
공개번호/일자 10-2002-0060525 (2002.07.18) 문서열기
공고번호/일자 (20040309) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.01.11)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권대갑 대한민국 대전광역시유성구
2 서정우 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2001-0007480-26
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.01.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.02.21 수리 (Accepted) 9-1-2003-0005629-18
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.05.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0192134-54
5 의견서
Written Opinion		 2003.07.28 수리 (Accepted) 1-1-2003-0277841-95
6 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.07.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2003-0277862-43
7 등록결정서
Decision to grant		 2003.12.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0493124-24
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

광원으로부터 변위측정대상물에 광점을 투광하고, 투광된 광점의 이송량으로서 상대적 변위를 측정하는 기기로서,

광원으로부터 발산된 광선을 일정한 크기의 슬릿 또는 핀홀에 투광시키는 투광렌즈(26)와;

상기 슬릿 또는 핀홀을 통과한 광선을 평행시키는 평행광렌즈(28)와;

상기 평행광렌즈(28)와 변위측정대상물과의 사이에 배치된 대물렌즈(30)와;

상기 투광렌즈(26)로 반사된 광선을 파장별로 분할하는 광분할기(32); 및

상기 광분할기(32)를 통과한 광선의 광강도를 검출하는 광검출기(34)를 포함한 단위변위센서(20)를 구비하고,

상기 광검출기(34)로 검출되는 광신호가 항상 최대를 유지할 수 있도록 상기 단위변위센서(20)를 미세 이송시키기 위한 구동수단을 포함하며, 상기 구동수단은 단위변위센서(20)에 부착된 압전구동기임을 특징으로 하는 공초점원리의 단위변위센서를 이용한 초정밀 변위측정기

2 2

삭제
3 3

제 1항에 있어서,

상기 광원, 광분할기(32) 및 광검출기(34)를 레이저다이오드와 포토다이오드의 일체형으로 구성한 것을 특징으로 하는 공초점원리의 단위변위센서를 이용한 초정밀 변위측정기

4 4

삭제
5 5

광원으로부터 변위측정대상물에 광점을 투광하고, 투광된 광점의 이송량으로서 상대적 변위를 측정하는 기기로서, 광원으로부터 발산된 광선을 일정한 크기의 슬릿 또는 핀홀에 투광시키는 투광렌즈(26)와; 상기 슬릿 또는 핀홀을 통과한 광선을 평행시키는 평행광렌즈(28)와; 상기 평행광렌즈(28)와 변위측정대상물과의 사이에 배치된 대물렌즈(30)와; 상기 투광렌즈(26)로 반사된 광선을 파장별로 분할하는 광분할기(32); 및 상기 광분할기(32)를 통과한 광선의 광강도를 검출하는 광검출기(34)를 포함한 단위변위센서(20)를 구비하고, 상기 광검출기(34)로 검출되는 광신호가 항상 최대를 유지할 수 있도록 상기 단위변위센서(20)를 미세 이송시키기 위한 구동수단을 포함하는 공초점원리의 단위변위센서를 이용한 초정밀 변위측정기를 사용하는 직선변위측정방법이며,

모양을 이미 알고 있는 직선형 격자(52)를 긴행정을 갖는 상기 회전변위측정대상물에 부착하고, 상기 단위변위센서(20)를 직선형 격자(52)에 접근시켜 직선운동시키면서 상기 단위변위센서(20)로부터 얻은 연속된 응답주파수의 검출신호로 긴행정의 직선변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 공초점원리의 단위변위센서를 이용한 긴행정 직선변위 측정방법

6 6

광원으로부터 변위측정대상물에 광점을 투광하고, 투광된 광점의 이송량으로서 상대적 변위를 측정하는 기기로서, 광원으로부터 발산된 광선을 일정한 크기의 슬릿 또는 핀홀에 투광시키는 투광렌즈(26)와; 상기 슬릿 또는 핀홀을 통과한 광선을 평행시키는 평행광렌즈(28)와; 상기 평행광렌즈(28)와 변위측정대상물과의 사이에 배치된 대물렌즈(30)와; 상기 투광렌즈(26)로 반사된 광선을 파장별로 분할하는 광분할기(32); 및 상기 광분할기(32)를 통과한 광선의 광강도를 검출하는 광검출기(34)를 포함한 단위변위센서(20)를 구비하고, 상기 광검출기(34)로 검출되는 광신호가 항상 최대를 유지할 수 있도록 상기 단위변위센서(20)를 미세 이송시키기 위한 구동수단을 포함하는 공초점원리의 단위변위센서를 이용한 초정밀 변위측정기를 사용하는 회전변위측정방법이며,

모양을 이미 알고 있는 원주방향 격자(54)를 회전변위대상물에 원주방향으로 부착하거나 또는 회전변위대상물에 원주방향으로 격자를 직접 형성시키고, 상기 단위변위센서(20)를 원주방향 격자(54)에 대응 접근시켜 상기 단위변위센서(20)로부터 얻은 연속된 응답주파수의 검출신호로 회전변위를 측정하는 것을 특징으로 하는 공초점원리의 단위변위센서를 이용한 회전변위측정방법

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP14213914 JP 일본 FAMILY
2 US06563098 US 미국 FAMILY
3 US20020088921 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 DE10132844 DE 독일 DOCDBFAMILY
2 JP2002213914 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 US2002088921 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US6563098 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.