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입력부와 출력부를 갖는 미소기계 구동기로서,상기 입력부에 배치되어 외부신호에 따라 구동되는 복수개의 입력용 질량체와, 상기 출력부에 배치되는 복수개의 출력용 질량체와, 상기 입력용 질량체와 상기 출력용 질량체를 일대일로 연결하는 ㄷ자 형태의 제1 탄성체와,상기 제1 탄성체가 병렬로 연결된 형태를 가지며, 길이, 두께 및 폭이 상기 제1 탄성체와 동일하게 형성되어, 상기 복수개의 출력용 질량체를 서로 연결하는 제2 탄성체, 및상기 출력용 질량체를 지지부에 연결하는 ㄷ자 형태의 부하탄성체를 포함하며, 상기 부하탄성체의 빔을 구성하는 폭과 길이는 제조공정 오차로 인한 출력변위 함수를 특정 제조공정 오차값에 대해 미분한 값의 절대치가 최소가 되도록 설계된 것을 특징으로 하는 미소기계 구동기
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입력부와 출력부를 갖는 미소기계 구동기로서,상기 입력부에 배치되어 외부신호에 따라 구동되는 복수개의 입력용 질량체와, 상기 출력부에 배치되는 복수개의 출력용 질량체와, 상기 입력용 질량체와 상기 출력용 질량체를 일대일로 연결하는 ㄷ자 형태의 제1 탄성체와,상기 제1 탄성체가 병렬로 연결된 형태를 가지며, 길이, 두께 및 폭이 상기 제1 탄성체와 동일하게 형성되어, 상기 복수개의 출력용 질량체를 서로 연결하는 제2 탄성체, 및상기 출력용 질량체를 지지부에 연결하는 ㄷ자 형태의 부하탄성체를 포함하며, 상기 부하탄성체의 빔을 구성하는 폭과 길이는 특정 제조공정 오차범위 내에서 제조공정 오차로 인한 출력변위 함수의 최대값과 최소값의 차의 절대치가 최소가 되도록 설계된 것을 특징으로 하는 미소기계 구동기
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청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,상기 입력용 질량체는 기계적인 디지털 방식으로 구동되는 것을 특징으로 하는 미소기계 구동기
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청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,상기 입력용 질량체는 전기적인 아날로그 방식으로 구동되는 것을 특징으로 하는 미소기계 구동기
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입력부와 출력부를 갖는 미소기계 구동기로서,상기 입력부에 배치되어 외부신호에 따라 구동되는 복수개의 입력용 질량체와, 상기 출력부에 배치되는 복수개의 출력용 질량체와, 상기 입력용 질량체와 상기 출력용 질량체를 일대일로 연결하는 ㄷ자 형태의 제1 탄성체와,상기 제1 탄성체가 병렬로 연결된 형태를 가지며, 길이, 두께 및 폭이 상기 제1 탄성체와 동일하게 형성되어, 상기 복수개의 출력용 질량체를 서로 연결하는 제2 탄성체와, 상기 출력용 질량체를 지지부에 연결하는 ㄷ자 형태의 부하탄성체, 및상기 출력부에 설치되어 상기 출력용 질량체의 변위에 따라 구동되는 적어도 하나 이상의 미소 구조물을 포함하며, 상기 부하탄성체의 빔을 구성하는 폭과 길이는 상기 미소 구조물의 제조공정 오차까지 포함된 제조공정 오차로 인한 출력변위 함수를 특정 제조공정 오차값에 대해 미분한 값의 절대치가 최소가 되도록 설계된 것을 특징으로 하는 미소기계 구동기
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입력부와 출력부를 갖는 미소기계 구동기로서,상기 입력부에 배치되어 외부신호에 따라 구동되는 복수개의 입력용 질량체와, 상기 출력부에 배치되는 복수개의 출력용 질량체와, 상기 입력용 질량체와 상기 출력용 질량체를 일대일로 연결하는 ㄷ자 형태의 제1 탄성체와,상기 제1 탄성체가 병렬로 연결된 형태를 가지며, 길이, 두께 및 폭이 상기 제1 탄성체와 동일하게 형성되어, 상기 복수개의 출력용 질량체를 서로 연결하는 제2 탄성체와, 상기 출력용 질량체를 지지부에 연결하는 ㄷ자 형태의 부하탄성체, 및상기 출력부에 설치되어 상기 출력용 질량체의 변위에 따라 구동되는 적어도 하나 이상의 미소 구조물을 포함하며, 상기 부하탄성체의 빔을 구성하는 폭과 길이는 특정 제조공정 오차범위 내에서 상기 미소 구조물의 제조공정 오차까지 포함된 제조공정 오차로 인한 출력변위 함수의 최대값과 최소값의 차의 절대치가 최소가 되도록 설계된 것을 특징으로 하는 미소기계 구동기
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입력부와 출력부를 갖는 미소기계 구동기로서,상기 입력부에 배치되어 외부신호에 따라 구동되는 복수개의 입력용 질량체와, 상기 출력부에 배치되는 복수개의 출력용 질량체와, 상기 입력용 질량체와 상기 출력용 질량체를 일대일로 연결하는 ㄷ자 형태의 제1 탄성체와,상기 제1 탄성체가 병렬로 연결된 형태를 가지며, 길이, 두께 및 폭이 상기 제1 탄성체와 동일하게 형성되어, 상기 복수개의 출력용 질량체를 서로 연결하는 제2 탄성체와, 상기 출력용 질량체를 지지부에 연결하는 ㄷ자 형태의 부하탄성체, 및상기 출력부에 설치되어 상기 출력용 질량체의 변위에 따라 구동되는 적어도 하나 이상의 미소 구조물을 포함하며, 상기 부하탄성체의 빔을 구성하는 폭과 길이는 특정 제조공정 오차범위 내에서 상기 미소 구조물의 제조공정 오차까지 포함된 제조공정 오차로 인한 출력변위 함수의 최대값과 최소값의 차의 절대치가 최소가 되도록 설계된 것을 특징으로 하는 미소기계 구동기
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