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전기-기계적 스위치 소자로,기판;상기 기판 상에 고정된 지지층 및 탄성력을 가지며 상기 기판과 이격된 탄성도전층을 포함하는 구동전극부; 및상기 탄성도전층과 이격되도록 상기 기판 상에 배치된 고정전극부를 포함하고,상기 구동전극부 및 상기 고정전극부는 일 함수가 서로 같은 반도체 물질을 포함하고, 상기 고정전극부를 통해 구동전압이 인가될 경우, 상기 구동전극부 및 상기 고정전극부 간의 정전인력에 의해 상기 탄성도전층 및 상기 고정전극부가 전기-기계적으로 접촉하는 스위치 온 상태가 되고,상기 구동전극부 및 상기 고정전극부는, 상기 스위치 온 상태에서 순방향 전압 또는 역방향 전압에서 전류가 도통하는 저항성 전도(ohmic conduction) 동작을 하는 스위치 소자
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제1항에 있어서,상기 고정전극부는,상기 기판과 수평한 방향으로 상기 탄성도전층과 이격 배치되며,상기 탄성도전층을 중심으로 양측에 각각 배치되거나, 상기 탄성도전층의 양측 중 어느 한 측에 배치된, 스위치 소자
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전기-기계적 스위치 소자로,기판;상기 기판 상에 고정된 지지층 및 탄성력을 가지며 상기 기판과 이격된 탄성도전층을 포함하는 구동전극부; 및상기 탄성도전층과 이격되도록 상기 기판 상에 배치된 고정전극부를 포함하고,상기 구동전극부 및 상기 고정전극부는, 일 함수가 서로 같은 금속 물질 및 반도체 물질 중 서로 다른 물질을 하나씩 포함하고, 상기 고정전극부를 통해 구동전압이 인가될 경우, 상기 구동전극부 및 상기 고정전극부 간의 정전인력에 의해 상기 탄성도전층 및 상기 고정전극부가 전기-기계적으로 접촉하는 스위치 온 상태가 되고,상기 구동전극부 및 상기 고정전극부는, 상기 스위치 온 상태에서 순방향 전압 또는 역방향 전압에서 전류가 도통하는 저항성 전도(ohmic conduction) 동작을 하는 스위치 소자
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제4항에 있어서,상기 고정전극부는,상기 기판과 수평한 방향으로 상기 탄성도전층과 이격 배치되며,상기 탄성도전층을 중심으로 양측에 각각 배치되거나, 상기 탄성도전층의 양측 중 어느 한 측에 배치된, 스위치 소자
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전기-기계적 스위치 소자로,기판;상기 기판 상에 고정된 지지층 및 탄성력을 가지며 상기 기판과 이격된 탄성도전층을 포함하는 구동전극부; 및상기 탄성도전층과 이격되도록 상기 기판 상에 배치된 고정전극부를 포함하고,상기 구동전극부 및 상기 고정전극부는 일 함수가 서로 다른 반도체 물질을 포함하고, 상기 고정전극부를 통해 구동전압이 인가될 경우, 상기 구동전극부 및 상기 고정전극부 간의 정전인력에 의해 상기 탄성도전층 및 상기 고정전극부가 전기-기계적으로 접촉하는 스위치 온 상태가 되고,상기 구동전극부 및 상기 고정전극부는, 상기 스위치 온 상태에서 순방향 전압에서 전류가 도통하는 정류성 전도(rectifying conduction) 동작을 하는 스위치 소자
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제7항에 있어서,상기 고정전극부는,상기 기판과 수평한 방향으로 상기 탄성도전층과 이격 배치되며,상기 탄성도전층을 중심으로 양측에 각각 배치되거나, 상기 탄성도전층의 양측 중 어느 한 측에 배치된, 스위치 소자
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전기-기계적 스위치 소자로,기판;상기 기판 상에 고정된 지지층 및 탄성력을 가지며 상기 기판과 이격된 탄성도전층을 포함하는 구동전극부; 및상기 탄성도전층과 이격되도록 상기 기판 상에 배치된 고정전극부를 포함하고,상기 구동전극부 및 상기 고정전극부는, 일 함수가 서로 다른 금속 물질 및 반도체 물질 중 서로 다른 물질을 하나씩 포함하고, 상기 고정전극부를 통해 구동전압이 인가될 경우, 상기 구동전극부 및 상기 고정전극부 간의 정전인력에 의해 상기 탄성도전층 및 상기 고정전극부가 전기-기계적으로 접촉하는 스위치 온 상태가 되고,상기 구동전극부 및 상기 고정전극부는, 상기 스위치 온 상태에서 순방향 전압에서 전류가 도통하는 정류성 전도(rectifying conduction) 동작을 하는 스위치 소자
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제10항에 있어서,상기 고정전극부는,상기 기판과 수평한 방향으로 상기 탄성도전층과 이격 배치되며,상기 탄성도전층을 중심으로 양측에 각각 배치되거나, 상기 탄성도전층의 양측 중 어느 한 측에 배치된, 스위치 소자
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제1항, 제3항, 제4항 또는 제6항 중 어느 한 항의 스위치 소자 또는 제7항, 제9항, 제10항 또는 제12항 중 어느 한 항의 스위치 소자가 복수 개로 배열된 메모리 어레이
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제1항, 제3항, 제4항, 제6항, 제7항, 제9항, 제10항 또는 제12항 중 어느 한 항의 스위치 소자를 제조하는 방법으로,상기 기판 상에 절연층을 형성하는 단계;상기 절연층 상에 상기 구동전극부를 구성하는 구동전극부 물질을 증착하는 단계;상기 구동전극부 물질을 패터닝하여 상기 구동전극부를 형성하는 단계;상기 구동전극부의 측벽을 따라 소정의 두께로 희생막을 형성하는 단계;상기 기판 상에 상기 고정전극부를 구성하는 고정전극부 물질을 증착하고, 상기 구동전극부, 상기 희생막 및 상기 고정전극부 물질의 상부를 평탄화하는 단계;상기 희생막을 제거하고 상기 고정전극부를 형성하는 단계를 포함하는 스위치 소자의 제조방법
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