요약 | 본 발명의 단일 물질 구조체 제조방법은 기판상에 제1조건으로 제1박막을 형성하는 단계; 및 상기 제1박막상에 제2조건으로 제2박막을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 제1조건과 상기 제2조건의 차이에 따라 형성되는 상기 제1박막과 상기 제2박막 사이의 응력 차이가 조절되며, 상기 제1박막과 상기 제2박막은 동일한 물질로 이루어진다. |
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Int. CL | B81B 3/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020120082246 (2012.07.27) |
출원인 | 한국과학기술원 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2014-0014915 (2014.02.06) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 거절 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2012.07.27) |
심사청구항수 | 7 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 윤준보 | 대한민국 | 대전 유성구 |
2 | 양현호 | 대한민국 | 대전 유성구 |
3 | 임근서 | 대한민국 | 서울 강서구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김성호 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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최종권리자 정보가 없습니다 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.07.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0601895-17 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2013.06.28 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2013.08.02 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0060754-97 |
5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2013.12.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0874777-44 |
6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2014.02.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0149277-10 |
7 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2014.04.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0229354-28 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
번호 | 청구항 |
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1 |
1 기판상에 제1조건으로 제1박막을 형성하는 단계; 및 상기 제1박막상에 제2조건으로 제2박막을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 제1조건과 상기 제2조건의 차이에 따라 형성되는 상기 제1박막과 상기 제2박막 사이의 응력 차이가 조절되며, 상기 제1박막과 상기 제2박막은 동일한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 단일 물질 구조체 제조방법 |
2 |
2 제1항에 있어서, 상기 제1박막 및 상기 제2박막은 전기 도금을 통해서 형성되며, 상기 제1조건 및 상기 제2조건은 상기 제1박막 및 상기 제2박막 형성시의 전류 밀도인 것을 특징으로 하는, 단일 물질 구조체 제조방법 |
3 |
3 제2항에 있어서, 상기 제2조건의 전류 밀도가 상기 제1조건의 전류 밀도보다 큰 것을 특징으로 하는, 단일 물질 구조체 제조방법 |
4 |
4 제1항에 있어서, 상기 제1박막 및 상기 제2박막은 화학 기상 증착을 통해서 형성되는 것을 특징으로 하는, 단일 물질 구조체 제조방법 |
5 |
5 제1항에 있어서, 상기 제1박막 및 상기 제2박막은 스퍼터링을 통해서 형성되며, 상기 제1조건 및 상기 제2조건은 상기 제1박막 및 상기 제2박막 형성시의 증착 속도인 것을 특징으로 하는, 단일 물질 구조체 제조방법 |
6 |
6 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 물질은 금속인 것을 특징으로 하는, 단일 물질 구조체 제조방법 |
7 |
7 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1박막이 형성된 상기 기판의 일부분이 제거되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 단일 물질 구조체 제조방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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국가 R&D 정보가 없습니다. |
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등록사항 정보가 없습니다 |
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번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
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1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.07.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0601895-17 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
3 | 선행기술조사의뢰서 | 2013.06.28 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 | 2013.08.02 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0060754-97 |
5 | 의견제출통지서 | 2013.12.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0874777-44 |
6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2014.02.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0149277-10 |
7 | 거절결정서 | 2014.04.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0229354-28 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1345196925 |
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세부과제번호 | 과C6A1623 |
연구과제명 | 전자통신기술사업단 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2012 |
연구기간 | 200603~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 기타 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
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