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슬릿노즐 정전분사법을 이용한 미소박막 제조장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015112293
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세박막 코팅장치 및 방법에 있어서, 주로 LCD, PDP-TV 등 가정용 초대형 광학제품의 디스플레이 유리기판의 PR 코팅공정 및 반도체 웨이퍼의 PR 코팅공정, 그리고 다양한 기능을 갖는 마이크로-나노필름 공정에 활용이 가능한 슬릿노즐 정전분사법을 이용한 미소박막 제조장치 및 방법에 관한 것으로,내부에 소형슬릿으로 이루어진 용액공급라인을 형성하여 외부에서 공급되는 코팅 용액을 하부로 이송하는 판 형태의 금속슬릿 노즐과; 상기 금속슬릿 노즐의 상부 일단에 접속된 핀 형태로서 금속슬릿 노즐에 전원이 공급되도록 하여 금속슬릿 내부에 존재하는 용액에 전원을 공급하는 노즐 전극과; 상기 노즐 전극을 통해 수kV 이상의 고전압을 인가하는 제 1 고전압 인가장치와; 상기 금속슬릿 노즐의 하부 일단에 수평하게 연장된 금속 가드판과; 상기 금속 가드판 일단에 접속된 핀 형태로서 가드판에 전원을 인가하는 가드판 전극과; 상기 가드판 전극에 수kV 이상의 고전압을 인가하는 제 2 고전압 인가장치와; 상기 금속슬릿노즐의 출구 아래에 위치되는 기판과; 상기 기판을 장착하며 전기적으로 접지시키는 접지판을 포함하여 구성함이 특징이다.슬릿노즐, 정전분사, 미소박막, 포토 레지스트 코팅
Int. CL G02F 1/13 (2000.01)
CPC G02F 1/1303(2013.01) G02F 1/1303(2013.01)
출원번호/일자 1020050017494 (2005.03.03)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0730296-0000 (2007.06.13)
공개번호/일자 10-2006-0096759 (2006.09.13) 문서열기
공고번호/일자 (20070619) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.03.03)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상수 대한민국 경기 성남시 분당구
2 박형호 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2005-0112356-52
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.08.16 수리 (Accepted) 9-1-2006-0054819-38
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0494292-68
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.10.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0779810-24
6 의견서
Written Opinion		 2006.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0779786-15
7 등록결정서
Decision to grant		 2007.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0152513-77
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부에 소형슬릿으로 이루어진 용액공급라인을 형성하여 외부에서 공급되는 포토 레지스트 용액을 하부로 이송하는 판 형태의 금속슬릿 노즐과;상기 금속슬릿 노즐의 상부 일단에 접속된 핀 형태로서 금속슬릿 노즐에 전원이 공급되도록 하여 금속슬릿 내부에 존재하는 용액에 전원을 공급하는 노즐 전극과;상기 노즐 전극을 통해 수kV 이상의 고전압을 인가하는 제 1 고전압 인가장치와;상기 금속슬릿 노즐의 하부 일단에 수평하게 연장된 금속 가드판과;상기 금속 가드판 일단에 접속된 핀 형태로서 가드판에 전원을 인가하는 가드판 전극과;상기 가드판 전극에 수kV 이상의 고전압을 인가하는 제 2 고전압 인가장치와;상기 금속슬릿노즐의 출구 아래에 위치되는 기판과;상기 기판을 장착하며 전기적으로 접지시키는 접지판을 포함하여 구성함을 특징으로 하는 슬릿노즐 정전분사법을 이용한 미소박막 제조장치
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제 1 항에 있어서,상기 금속슬릿 노즐의 외주연과 금속 가드판의 상부면에는 일정두께의 절연홀더를 더 결합하여 구성하는 것을 특징으로 하는 슬릿노즐 정전분사법을 이용한 미소박막 제조장치
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포토 레지스트 용액을 금속슬릿 노즐의 용액공급라인으로 이송하는 단계와;상기 금속노즐 슬릿을 통해 1차 고전압을 인가하여 포토 레지스트 용액에 전기력을 인가함으로써 테일 콘 형태로 포토 레지스터가 출력되도록 하는 단계와;금속가드판을 통해 기판에 도포되는 포토 레지스트 용액에 2차 고전압을 인가하여 기판에 균일한 두께로 도포되도록 하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 슬릿노즐 정전분사법을 이용한 미소박막 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.