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다중 기둥 구조의 트랜지스터를 갖는 씨모스 이미지 센서.

  • 기술번호 : KST2015112412
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 씨모스(Complementary metal-oxide-silicon; CMOS) 이미지 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 씨모스 이미지 센서 내에서 발생하는 암전류와 크로스토크(cross-talk)를 줄이는데 목적에 관한 것이다.본 발명에 따른 다중기둥 구조의 트랜지스터를 갖는 씨모스 이미지 센서는, 표면을 기준으로 상부는 단면이 원 또는 타원형인 다수 개의 기둥이 형성되고, 하부는 다수 개의 기둥과 인접하여 홈이 형성되는 기판; 기판의 하부에 형성된 홈에 증착된 플로팅 디퓨전; 기판의 상부에 형성된 다수 개의 기둥 위에 형성되는 수광소자; 및 플로팅 디퓨전 상단에 기판과 수직방향으로 형성되고 기판과 수광소자를 둘러싸도록 형성되는 트랜스퍼 게이트;를 포함하는 것을 특징으로 이루어진다.CMOS 이미지 센서, 수광소자, 트랜스퍼 게이트, 플로팅 디퓨젼, 암전류, 크로스토크(Cross-talk)
Int. CL H01L 27/146 (2006.01)
CPC H01L 27/14616(2013.01) H01L 27/14616(2013.01) H01L 27/14616(2013.01) H01L 27/14616(2013.01)
출원번호/일자 1020050110514 (2005.11.18)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0647514-0000 (2006.11.13)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20061123) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.11.18)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유리은 대한민국 대전광역시 유성구
2 최양규 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김성호 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동,미진빌딩 *층)(KNP 특허법률사무소)
2 박경완 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2005-0663195-76
2 선행기술조사의뢰서(내부)
Request for Prior Art Search (Inside)
2006.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2006-0060884-43
4 등록결정서
Decision to grant
2006.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0663378-16
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
표면을 기준으로 상부는 단면이 원 또는 타원형인 다수개의 기둥이 형성되고, 하부는 상기 다수개의 기둥과 인접하여 홈이 형성되는 기판;상기 기판의 하부에 형성된 홈에 증착된 플로팅 디퓨전;상기 기판의 상부에 형성된 상기 다수개의 기둥 위에 형성되는 수광소자; 및상기 플로팅 디퓨전 상단에 상기 기판과 수직방향으로 형성되고 상기 다수개의 기둥과 수광소자를 둘러싸도록 형성되는 트랜스퍼 게이트; 를 포함하는, 다중기둥 구조의 트랜지스터를 갖는 씨모스 이미지 센서
2 2
제1항에 있어서,상기 수광소자와 인접 수광소자 간의 아이솔레이션을 위해 상기 기판의 최외면에 소자 분리 산화막(STI: shallow Trench Isolation)를 더 포함하는, 다중기둥 구조의 트랜지스터를 갖는 씨모스 이미지센서
3 3
제1항에 있어서,상기 기준을 단면으로 하여 상기 트랜스퍼 게이트의 단면적 보다 상기 플로팅 디퓨전의 단면적이 더 큰 , 다중기둥 구조의 트랜지스터를 갖는 씨모스 이미지센서
4 4
제1항에 있어서,상기 기판의 기둥보다 상기 트랜스퍼 게이트의 높이가 큰, 다중기둥 구조의 트랜지스터를 갖는 씨모스 이미지센서
5 5
제1항에 있어서,상기 수광소자의 기둥이 같은 간격인, 다중기둥 구조의 트랜지스터를 갖는 씨모스 이미지센서
6 6
제6항에 있어서,상기 수광소자의 각 기둥 단면 지름은 각 기둥 간의 간격보다 큰, 다중기둥 구조의 트랜지스터를 갖는 씨모스 이미지센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.