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초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩(10) 제작 방법에 있어서, 상기 마이크로 유체칩 제작 방법은사진식각법을 이용하여 몰딩용 스탬프(350)를 제작하는 제1단계; 상기 몰딩용 스탬프(350)를 이용하여 상부기판(100) 및 하부기판(200)을 인젝션 몰딩으로 제작하는 제2단계; 및 상부기판(100) 및 하부기판(200)을 초음파 융착 방법으로 접합하는 제3단계를 포함하고,상기 사진식각법을 이용하는 제1단계는 기재(310) 상에 마이크로 유체칩의 내부 구조물의 PR(photoresist) 패턴(320)을 형성하는 제1-1단계; 초음파 융착 용 마이크로 단위의 융착선(270)을 만들기 위해 상기 PR 패턴(320) 상에 PR 융착선(330)을 형성하는 제1-2단계; 전기도금용 시드 금속층(340)을 기재(310)에 증착하는 제1-3단계; 시드 금속층(340)을 이용하여 전기도금법으로 몰딩용 스탬프(350)를 도금 형성하는 제1-4단계; 및 PR 패턴(320)과 기재(310)로부터 몰딩용 스탬프(350)를 빼내는 스탬프 릴리즈의 제1-5단계를 포함하는 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 PR 융착선(330)을 형성하는 제1-2단계는 PR 융착선(330)을 형성함에 있어서 마이크로 단위의 융착선(270)이 경사를 갖고 구성되도록 형성하는 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 마이크로 단위의 융착선(270)의 경사는 마이크로 단위의 융착선(270) 중 피 융착물과 접하는 면접부(271)가 마이크로 단위의 융착선(270)의 기저부(272)보다 좁은 폭으로 형성되어 만들어지는 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 마이크로 단위의 융착선(270)이 경사를 갖도록 형성되는 PR 융착선(330)은 상기 기재(310)를 유지하는 스테이지의 경사도가 조절되고 회전하는 노광장치에 의해 형성되는 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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제 1 항에 있어서, PR 융착선(330)을 형성하는 제1-2단계가 완료된 직후에 남아있는 솔벤트를 제거하여 PR 코팅을 건조시키고, 기재(310)에 대한 PR 코팅의 접착도를 증가시키기 위한 하드베이크(hard bake) 공정이 추가로 행해지는 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제2단계는 진공 인젝션 몰딩하는 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 몰딩에 사용되는 상부기판(100) 및 하부기판(200) 재질은 사이클로올레핀 코폴리머(COC), 폴리카보네이트(PC), 폴리에틸렌(PE), 폴리플로필렌(PP) 중 하나로부터 선택되는 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 PR 패턴(320)을 형성하는 제1-1단계는 마이크로 유체칩(10)의 내부 구조물 중 혈구를 필터링하는 필터(220, 230)를 구성하는 필터돌기(221, 233)의 PR 패턴(320)을 형성함에 있어서, 필터돌기(221, 233)들이 만드는 필터돌기(221, 233) 높이 방향의 간극(222, 234) 중 최소값이 혈구의 직경보다 적어도 작도록 구성되는 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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제 9 항에 있어서, 상기 PR 패턴(320)을 형성하는 제1-1단계는 마이크로 유체칩(10)의 내부 구조물의 PR 패턴(320)을 형성함에 있어서, 상기 필터돌기(221, 233) 가 형성된 기판(100, 200)의 상대 기판(100, 200)의 접착하는 면측에는 혈장의 유동저항을 저감하기 위한 부가적 채널(130)이 형성된 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩(10) 제작 방법에 있어서, 상기 마이크로 유체칩 제작 방법은,사진식각법을 이용하여 몰딩용 스탬프(350)를 제작하는 제1단계; 상기 몰딩용 스탬프(350)를 이용하여 2개의 융착선 형성 기판(860)을 인젝션 몰딩으로 제작하는 제2단계; 및 상기 2개의 융착선 형성 기판(860) 중 하나는 하부 융착선 형성 기판(860a)이 되고, 다른 하나는 상부 융착선 형성 기판(860b)이 되게 하여 상기 하부 융착선 형성 기판(860a)과 상기 상부 융착선 형성 기판(860b)을 서로 맞대어 초음파 융착 방법으로 접합하는 제3단계를 포함하고,상기 사진식각법을 이용하는 제1단계는 기재(310) 상에 마이크로 유체칩의 내부 구조물의 PR(photoresist) 패턴(320)을 형성하는 제1-1단계; 다수의 초음파 융착 용 마이크로 단위의 PR 융착선(830) 및 PR 패턴(820)을 형성하는 제1-2단계; 전기도금용 시드 금속층(840)을 기재(310)에 증착하는 제1-3단계; 시드 금속층(840)을 이용하여 전기도금법으로 몰딩용 스탬프(850)를 도금 형성하는 제1-4단계; 및 기재(310)로부터 몰딩용 스탬프(850)를 빼내는 스탬프 릴리즈의 제1-5단계를 포함하는 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 PR 융착선(830) 및 PR 패턴(820)을 형성하는 제1-2단계는 PR 융착선(830)을 형성함에 있어서 마이크로 단위이고 경사를 갖고 구성되도록 형성되되, 다수의 PR 융착선(830)은 2개의 PR 패턴(820)사이에 놓이며 상기 2개의 PR 패턴(820)보다 높이가 큰 이등변 사각형 형상인 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 PR 융착선(830)은 상기 기재(310)를 유지하는 스테이지의 경사도가 조절되고 회전하는 노광장치에 의해 형성되는 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 PR 융착선(830) 및 PR 패턴(820)을 형성하는 제1-2단계가 완료된 직후에 남아있는 솔벤트를 제거하여 PR 코팅을 건조시키고, 기재(310)에 대한 PR 코팅의 접착도를 증가시키기 위한 하드베이크(hard bake) 공정이 추가로 행해지는 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 제2단계는 진공 인젝션 몰딩하는 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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제 16 항에 있어서, 상기 몰딩에 사용되는 상기 하부 융착선 형성 기판(860a)과 상기 상부 융착선 형성 기판(860b)의 재질은 사이클로올레핀 코폴리머(COC), 폴리카보네이트(PC), 폴리에틸렌(PE), 폴리플로필렌(PP) 중 하나로부터 선택되는 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 PR 패턴(320)을 형성하는 제1-1단계는 마이크로 유체칩(10)의 내부 구조물 중 혈구를 필터링하는 필터(220, 230)를 구성하는 필터돌기(221, 233)의 PR 패턴(320)을 형성함에 있어서, 필터돌기(221, 233)들이 만드는 필터돌기(221, 233) 높이 방향의 간극(222, 234) 중 최소값이 혈구의 직경보다 적어도 작도록 구성되는 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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제 18 항에 있어서, 상기 PR 패턴(320)을 형성하는 제1-1단계는 마이크로 유체칩(10)의 내부 구조물의 PR 패턴(320)을 형성함에 있어서, 상기 필터돌기(221, 233)가 형성된 기판(860a, 860b)의 상대 기판(860a, 860b)의 접착하는 면측에는 혈장의 유동저항을 저감하기 위한 부가적 채널(130)이 형성된 것이 특징인 초음파 융착을 이용한 마이크로 유체칩 제작 방법
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