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혼합 블록공중합체 박막 제조방법, 혼합 블록공중합체 주형 제조방법 및 이에 의하여 제조된 혼합 블록공중합체 박막 및 주형

  • 기술번호 : KST2015115944
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 혼합 블록공중합체 박막 제조방법, 혼합 블록공중합체 주형 제조방법 및 이에 의하여 제조된 혼합 블록공중합체 박막 및 주형이 제공된다. 본 발명에 따른 혼합 블록공중합체 박막 제조방법은 고분자량의 긴 사슬길이를 가지며 자기조립된 제 1 블록공중합체에, 상기 제 1 블록공중합체에 비하여 저분자량이며, 짧은 길이를 갖는 대칭성의 제 2 블록공중합체를 혼합하여 혼합액을 제조하는 단계; 상기 혼합액을 기판 상에 적층하여, 블록공중합체 박막을 형성하는 단계; 및 상기 형성된 블록공중합체 박막을 열처리하여 자기조립하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C08L 53/00 (2006.01) B32B 15/08 (2006.01) C08F 297/08 (2006.01) C08J 5/18 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020120061924 (2012.06.11)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1412228-0000 (2014.06.19)
공개번호/일자 10-2013-0138399 (2013.12.19) 문서열기
공고번호/일자 (20140702) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.11)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상욱 대한민국 대전광역시 유성구
2 신동옥 대한민국 대전광역시 유성구
3 김봉훈 대한민국 대전광역시 유성구
4 김주영 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0460247-33
2 보정요구서
Request for Amendment
2012.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0077779-19
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0498308-54
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.12.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.01.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0002208-31
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0742668-69
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-1186918-79
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.12.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1186919-14
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2014.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0340554-80
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.05.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0484590-10
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0484589-63
13 등록결정서
Decision to grant
2014.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0413198-18
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제 1 블록공중합체에, 상기 제 1 블록공중합체보다 낮은 저분자량을 가지면서, 상기 제 1 블록공중합체보다 짧은 사슬 길이를 가지는 제 2 블록공중합체를 혼합하여 혼합물을 제조하는 단계; 상기 혼합물을 기판 상에 적층하여, 블록공중합체 박막을 형성하는 단계; 및 상기 형성된 블록공중합체 박막을 열처리하여 자기조립하는 단계를 포함하며, 상기 제 2 블록공중합체는 상기 자기조립하는 단계에서 자기조립되지 않는 수준의 분자량 및 사슬길이를 갖는 것을 특징으로 하는 혼합 블록공중합체 박막 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 자기조립하는 단계에 따라, 상기 제 1 블록공중합체의 일부 블록중합체는 실린더 또는 판상 구조로 자기조립되는 것을 특징으로 하는 혼합 블록공중합체 박막 제조방법
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서, 상기 제 2 블록공중합체는 상기 블록공중합체 박막의 10 내지 50 중량%로 혼합되는 것을 특징으로 하는 혼합 블록공중합체 박막 제조방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 제 1 블록공중합체와 제 2 블록공중합체는 동일한 종류의 디블록공중합체(diblock copolymer)인 것을 특징으로 하는 혼합 블록공중합체 박막 제조방법
6 6
제 5항에 있어서, 상기 제 1 블록공중합체와 제 2 블록공중합체는 폴리스티린-블록-폴리메타크릴레이트 공중합체인 것을 특징으로 하는 혼합 블록공중합체 박막 제조방법
7 7
제 1항, 제 2항, 제 4항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 혼합 블록공중합체 박막
8 8
제 1 블록공중합체에, 상기 제 1 블록공중합체보다 낮은 저분자량을 가지면서, 상기 제 1 블록공중합체보다 짧은 사슬 길이를 가지는 제 2 블록공중합체를 혼합하여 혼합물을 제조하는 단계; 상기 혼합물을 기판 상에 적층하여, 블록공중합체 박막을 형성하는 단계; 상기 형성된 블록공중합체 박막을 열처리하여 판상 또는 실린더 형상으로 자기조립하는 단계; 및 상기 자기조립된 블록공중합체를 선택적으로 식각하여, 판상 또는 실린더 형상의 패턴을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 제 2 블록공중합체는 상기 자기조립하는 단계에서 자기조립되지 않는 수준의 분자량 및 사슬길이를 갖는 것을 특징으로 하는 블록공중합체 주형 제조방법
9 9
삭제
10 10
제 8항에 있어서, 상기 제 2 블록공중합체는 상기 블록공중합체 박막의 10 내지 50 중량%로 혼합되는 것을 특징으로 하는 블록공중합체 주형 제조방법
11 11
제 8항에 있어서, 상기 제 2 블록공중합체 함량이 증가함에 따라 상기 판상 또는 실린더 패턴 사이의 반복주기가 짧아지는 것을 특징으로 하는 블록공중합체 주형 제조방법
12 12
제 8항에 있어서, 상기 제 2 블록공중합체 함량이 증가함에 따라 상기 실린더의 중심간 거리가 짧아지는 것을 특징으로 하는 블록공중합체 주형 제조방법
13 13
제 8항, 제 10항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 블록공중합체 주형
14 14
제 13항에 있어서, 상기 블록공중합체 주형은 판상 또는 실린더 패턴을 가지며, 상기 패턴은 상기 제 2 블록공중합체에 의하여 일정 방향으로 배향성을 갖는 것을 특징으로 하는 블록공중합체 주형
15 15
기판 상에 제 8항, 제 10항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 블록공중합체 주형을 제조하는 단계;상기 블록공중합체 주형 상에 금속물질을 적층하는 단계; 및상기 블록공중합체 주형을 제거하여, 상기 금속물질로 이루어진 나노입자를 상기 기판상에 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 나노입자 어레이 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.