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산화아연 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015116266
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 전기적 및 광학적 특성이 우수한 붕소 또는 탄탈럼이 도핑된 산화아연(ZnO) 박막을 제조하는데 있어 정전분무법을 사용함으로서, 기존에 금속이 도핑된 산화아연 박막을 생성하는 공정에 비해 간단할 뿐만 아니라 낮은 저항도 및 높은 투과도를 지니는 산화아연 박막을 제공한다.
Int. CL H01B 13/00 (2006.01)
CPC H01B 13/0033(2013.01) H01B 13/0033(2013.01) H01B 13/0033(2013.01)
출원번호/일자 1020130011494 (2013.01.31)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1432682-0000 (2014.08.14)
공개번호/일자 10-2014-0098613 (2014.08.08) 문서열기
공고번호/일자 (20140825) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.31)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박승빈 대한민국 대전 유성구
2 칼리드 마흐모드 파키스탄 대전 유성구
3 송동수 대한민국 경기도 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2013-0096274-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.08.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0082459-37
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.01.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0056194-17
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.03.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0282390-03
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.03.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0282392-94
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0442058-15
8 [일부 청구항 포기]취하(포기)서
[Abandonment of Partial Claims] Request for Withdrawal (Abandonment)		 2014.08.14 수리 (Accepted) 2-1-2014-0449336-43
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
1) 용매에 아연염 및 도펀트로써 붕소 또는 탄탈럼을 첨가하여 전구체 용액을 제조하는 단계;2) 상기 제조된 전구체 용액을 기판에 정전분무하여 산화아연 박막을 기판 상에 증착시키는 단계; 및3) 상기 산화아연 박막이 증착된 기판을 열처리하는 단계를 포함하는 산화아연 박막의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 아연염은 아세트산아연 또는 아세트산아연 수화물인 산화아연 박막의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 용매는 알코올인 산화아연 박막의 제조방법
4 4
청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
5 5
제1항에 있어서, 상기 용매에 도펀트로써 붕소를 첨가하는 것은 상기 용매에 붕산을 첨가하는 것인 산화아연 박막의 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 용매에 도펀트로써 탄탈럼을 첨가하는 것은 상기 용매에 염화 탄탈럼을 첨가하는 것인 산화아연 박막의 제조방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 붕소 또는 탄탈럼의 첨가량은 상기 아연염의 0
8 8
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 단계 2)의 정전분무는 0 kV 내지 8 kV의 전압을 가하여 수행하는 산화아연 박막의 제조방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 단계 2)의 정전분무는 4 kV 내지 8 kV의 전압을 가하여 수행하는 산화아연 박막의 제조방법
10 10
청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
11 11
청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
12 12
청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 차세대 바이오매스 생산 및 전환 기술 연구센터 글로벌프론티어연구개발사업 (세부사업명 : 바이오매스생산전환기술) Heterotrophic 미생물의고농도배양기술
2 교육과학기술부 한국과학기술원 기초과학연구사업 태양광(가시광 자외선)에 최적화된 광촉매의 제조 및 반응 특성