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나노 입자 및 레이저를 이용한 손상 전극 복원 방법(METHOD FOR REPAIRING DAMAGED ELECTRODE USING NANO PARTICLE AND LASER)

  • 기술번호 : KST2017007137
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시에에 의하면, 기판에 위치한 전극의 손상된 부분을 탐색하는 단계, 용매에 나노 입자를 분산시킨 나노 잉크를 상기 손상된 부분에 도포하여 나노 잉크 박막을 형성하는 단계 및 상기 나노 잉크 박막이 형성된 상기 손상된 부분에 레이저를 조사하여 상기 전극을 복원하는 단계를 포함하는 손상 전극 복원 방법이 제공될 수 있다. 상기 손상 전극 복원 방법에 의하면 나노 잉크의 용매의 종류, 나노 입자의 농도 및 나노 잉크 박막의 두께 등의 인자를 조절함으로써 전극의 성능 및 수율의 최적화를 달성할 수 있다.
Int. CL H01L 29/41 (2015.11.25) H01L 21/285 (2015.11.25) H01L 21/268 (2015.11.25) H01L 21/02 (2015.11.25) H01B 13/00 (2015.11.25)
CPC H01L 29/413(2013.01) H01L 29/413(2013.01) H01L 29/413(2013.01) H01L 29/413(2013.01) H01L 29/413(2013.01)
출원번호/일자 1020150142789 (2015.10.13)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0043261 (2017.04.21) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.10.13)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양민양 대한민국 대전광역시 유성구
2 이후승 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 제일특허법인(유) 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2015-0987839-26
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.11.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0831355-53
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.11.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0153875-36
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-0062755-74
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.01.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0062756-19
7 등록결정서
Decision to grant
2017.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0373188-48
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
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기판에 위치한 전극의 손상된 부분을 탐색하는 단계;용매에 나노 입자를 분산시킨 나노 잉크를 상기 손상된 부분에 도포하여 나노 잉크 박막을 형성하는 단계; 및상기 나노 잉크 박막이 형성된 상기 손상된 부분에 레이저를 조사하여 상기 전극을 복원하는 단계를 포함하며,상기 나노 잉크 박막을 형성하는 단계는, 상기 용매의 질량에 대한 상기 나노 입자의 질량의 비율에 근거하여 상기 나노 잉크의 흡수계수를 결정하는 단계; 및상기 나노 잉크 박막의 두께에 근거하여 상기 나노 잉크의 흡광도를 결정하는 단계를 포함하는손상 전극 복원 방법
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제 1 항에 있어서,상기 손상된 부분은 자동 광학 검사(AOI)에 의하여 탐색되는 것을 특징으로 하는손상 전극 복원 방법
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제 1 항에 있어서,상기 나노 입자는 금속 산화물 나노 입자인 것을 특징으로 하는 손상 전극 복원 방법
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제 3 항에 있어서,상기 금속 산화물 나노 입자는 산화구리(I) 나노 입자인 것을 특징으로 하는손상 전극 복원 방법
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제 3 항에 있어서,상기 나노 잉크는 상기 금속 산화물 나노 입자를 환원시키는 환원제를 포함하는 것을 특징으로 하는손상 전극 복원 방법
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제 1 항에 있어서,상기 용매는 상기 복원하는 단계에서 발열 특성을 나타내는 것을 특징으로 하는손상 전극 복원 방법
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