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용매 어닐링 방법, 이를 이용한 블록 공중합체 패턴 형성 방법 및 이에 의하여 제조된 블록 공중합체 패턴

  • 기술번호 : KST2015116420
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 블록 공중합체 패턴 형성 방법으로, 기판 상에 도포된 블록 공중합체에 유기 용매가 흡수된 어닐링 패드를 접촉시키는 단계; 및 상기 어닐링 패드로부터 방출되는 유기 용매에 의하여 상기 블록 공중합체가 자기조립되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴 형성 방법이 제공된다.
Int. CL B29C 59/00 (2006.01) H01L 21/20 (2006.01) H01L 21/22 (2006.01)
CPC H01L 21/0332(2013.01) H01L 21/0332(2013.01) H01L 21/0332(2013.01) H01L 21/0332(2013.01)
출원번호/일자 1020130056998 (2013.05.21)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1449850-0000 (2014.10.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141013) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.05.21)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정연식 대한민국 대전광역시 유성구
2 허윤형 대한민국 대전광역시 유성구
3 정재원 대한민국 대전광역시 유성구
4 김종민 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0446127-79
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.02.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.03.07 수리 (Accepted) 9-1-2014-0016248-64
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.05.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0362534-82
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.07.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0619406-50
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2014-0620082-85
7 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2014-0620080-94
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2014-0619405-15
9 등록결정서
Decision to grant		 2014.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0658817-17
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
삭제
3 3
블록 공중합체 패턴 형성 방법으로, 기판 상에 도포된 블록 공중합체를 어닐링하는 단계로, 유기 용매가 흡수된 어닐링 패드로부터 상기 유기 용매를 상기 블록 공중합체로 증기 상태로 방출시켜 상기 블록 공중합체를 어닐링시키는 단계; 상기 어닐링시키는 단계에 따라 상기 어닐링 패드로부터 방출되는 상기 유기 용매에 의하여 상기 블록 공중합체를 자기조립시키는 단계; 및 상기 패턴된 블록 공중합체를 제외한 중합체를 제거하는 단계를 포함하며, 상기 유기 용매가 흡수된 어닐링 패드는 상기 유기 용매에 의하여 팽창된 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴 형성 방법
4 4
제 3항에 있어서, 상기 유기 용매가 흡수된 어닐링 패드는 상기 유기 용매에 상기 어닐링 패드를 침지시킴으로써 흡수되어, 포화 팽창율까지 팽창하는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴 형성 방법
5 5
제 4항에 있어서, 상기 기판은 표면 유도 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴 형성 방법
6 6
제 5항에 있어서, 상기 어닐링 패드는 어닐링 용매에 대한 용해도 파라미터가 10 내지 40 MPa1/2 범위인 가교 고분자를 포함하는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴 형성 방법
7 7
제 6항에 있어서, 상기 어닐링 패드는 유기 용매를 함유할 수 있는 섬유질의 패드를 포함하는 블록 공중합체 패턴 형성 방법
8 8
제 5항에 있어서, 상기 표면 유도 패턴은 100 nm 내지 100 μm의 폭을 가지며, 5 nm 내지 200 nm 깊이의 트렌치를 포함하는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴 형성 방법
9 9
제 3항에 있어서, 상기 블록 공중합체는 제 1 블록 고분자 및 제 2 블록 고분자를 포함하는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴 형성 방법
10 10
제 9항에 있어서, 상기 제 1 블록 고분자와 제 2블록 고분자의 용해도 파라미터는 각각 10 내지 40 MPa1/2 인 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴 형성 방법
11 11
제 10항에 있어서, 상기 제1 블록 또는 제2 블록 고분자의 부피 분율을 0
12 12
제 4항에 있어서, 상기 어닐링 패드를 유기 용매 내에서 팽창시키는 단계에서, 상기 유기 용매의 온도는 상온 내지 끓는점까지의 범위이며, 상기 유기 용매의 온도가 높아짐에 따라 상기 유기 용매의 팽창 속도는 커지는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴 형성 방법
13 13
제 3항에 있어서, 상기 유기 용매는 단일 용매 또는 이성분 이상의 성분을 포함하는 혼합 용매인 것을 특징으로 블록 공중합체 패턴 형성 방법
14 14
제 13항에 있어서, 상기 유기 용매가 혼합 용매인 경우, 상기 어닐링 패드를 유기 용매내에서 팽창시키는 단계에서 상기 혼합 용매의 혼합 비율을 조절하여 상기 어닐링 패드로부터 발생하는 특정 용매 증기의 증기압을 제어하는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴 형성 방법
15 15
제 3항에 있어서, 상기 블록 공중합체 박막과 어닐링의 패드는 서로 이격되며, 상기 이격거리는 1~10 mm인 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴 형성 방법
16 16
제 3항 내지 제 15항 중 어느 한 항에 따른 블록 공중합체 패턴 형성 방법에 의하여 제조된 블록 공중합체 패턴
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제 16항에 따른 블록 공중합체 패턴의 자기 조립 속도 제어 방법으로, 상기 블록 공중합체가 자기조립되는 단계에서, 상기 기판의 온도를 조절하여 상기 블록 공중합체의 자기 조립 속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴의 자기 조립 속도 제어 방법
18 18
제 17항에 있어서, 상기 기판의 온도를 증가시킴에 따라 블록 공중합체 박막의 부피 팽창률은 감소하며, 이에 따라 상기 자기 조립 속도가 커지는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴의 자기 조립 속도 제어 방법
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제 18항에 있어서, 상기 어닐링 패드 온도, 기판 온도 및 용매의 증기압 중 적어도 어느 하나를 조절하여, 상기 블록 공중합체 패턴의 자기조립 속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 블록 공중합체 패턴의 자기 조립 속도 제어 방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 (주)동진쎄미켐 지식경제기술혁신사업-소재원천기술개발사업 반도체 소자 제작을 위한 20nm급 DSA(Directed Self Assembly) 소재 및 공정 개발
2 미래창조과학부 한국과학기술원 글로벌프론티어사업 초저전력 전자융합 소자