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회절 격자를 이용한 광 삼각법 변위 센서

  • 기술번호 : KST2015117564
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 회절 격자를 이용한 광 삼각법 변위 센서에 관한 것으로, 특히 결상렌즈와 수광소자 사이에 투과형 회절 격자를 삽입하여, 상기 결상렌즈를 통과한 빛을 여러 가닥으로 나누어 수광소자에 상을 맺히게 적용함으로서, 동일한 샘플링 타임 내에 기존의 센서 헤드와 동일한 크기로 산술 평균법을 구현하고자 하는 회절 격자를 이용한 광 삼각법 변위 센서장치에 관한 것이다. 이를 위해, 일정한 강도의 광원을 발생하는 광원소자와; 상기 광원소자의 광원을 입사받아, 측정 표면으로 입사하는 집광렌즈와; 상기 측정 표면에 입사된 광원이 반사하여 입사되는 결상렌즈와; 상기 결상렌즈를 통한 반사광을 다수의 회절광으로 발생하는 투과형 회절 격자와; 상기 투과형 회절 격자를 통해 입사된 회절광의 상이 형성되는 수광소자를 포함하여 구성되는 것이 특징이다. 투과형 회절 격자, 수광소자, 결상렌즈, 집광렌즈, 변위 센서
Int. CL G01B 11/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020000070038 (2000.11.23)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0407881-0000 (2003.11.20)
공개번호/일자 10-2002-0040115 (2002.05.30) 문서열기
공고번호/일자 (20031201) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.11.23)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김수현 대한민국 대전광역시유성구
2 김경찬 대한민국 대전광역시유성구
3 오세백 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2000-0248093-66
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.01.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.02.21 수리 (Accepted) 9-1-2003-0005358-40
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0097285-88
5 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.05.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2003-0175706-70
6 의견서
Written Opinion		 2003.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2003-0175697-46
7 등록결정서
Decision to grant		 2003.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0410665-34
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
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일정한 강도의 광원을 발생하는 광원소자(100)와, 상기 광원소자(100)의 광원을 입사받아 측정표면(10)으로 입사하는 집광렌즈(200)와, 상기 측정표면(10)에 입사된 광원이 반사하여 입사되는 결상렌즈(300)와, 상기 결상렌즈(300)를 통한 반사광을 다수의 회절광으로 발생하는 투과형 회절격자(400)와, 상기 투과형 회절격자(400)를 통해 입사된 회절광의 상이 형성되는 수광소자(500)를 포함하는 광 삼각법 변위 센서에 있어서,

상기 수광소자(500)에 형성된 광 강도 분포를 산술평균화 하여 소정 샘플링 타임내에 위치 정보를 얻는 것을 특징으로 하는 회절격자를 이용한 광 삼각법 변위센서

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1 US06433857 US 미국 FAMILY
2 US20020060782 US 미국 FAMILY

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1 US2002060782 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US6433857 US 미국 DOCDBFAMILY
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