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다중 증발원 및 이를 이용한 박막 형성 장치

  • 기술번호 : KST2015117830
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다중 증발원 및 이를 이용한 박막 형성 장치에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 2개 이상의 증발물질을 기화시키고 기판에 분사하여 증착시키도록 구성되어, 증착 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 다중 증발원 및 이를 이용한 박막 형성 장치를 제공하는 것이다.
Int. CL C23C 14/24 (2006.01)
CPC C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01) C23C 14/243(2013.01)
출원번호/일자 1020110112097 (2011.10.31)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1328589-0000 (2013.11.06)
공개번호/일자 10-2013-0047212 (2013.05.08) 문서열기
공고번호/일자 (20131112) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.10.31)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박규찬 대한민국 경기도 용인시 수지구
2 안병태 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0853773-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.12.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.01.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0003236-88
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.06.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0383827-56
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-0624252-09
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.07.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0624253-44
8 등록결정서
Decision to grant
2013.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0679909-11
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
증발물질을 수용하도록 내부에 2개 이상의 충전공간이 구비된 도가니; 상기 도가니의 상기 각 충전공간 내부로 상기 증발물질 및 이송 기체를 공급하도록 상기 도가니의 측부 또는 상부를 관통하여 설치되는 장입관;상기 도가니의 상기 각 충전공간 내부에 채워진 상기 증발물질들을 기화시키기 위한 가열 수단;상기 가열 수단에 의해 상기 도가니 내부에서 기화된 상기 각 증발물질들을 하향 분사하도록 상기 도가니 하측에 형성되는 적어도 2개 이상의 배출구; 상기 각 충전공간 내에 충전된 상기 증발물질이나 상기 증발물질이 기화된 증기가 상기 각 배출구를 통과하기 전까지 서로 혼합되지 않게 격리시키는 격리 수단; 및 상기 배출구들을 덮는 멤브레인(membrane);을 포함하는 다중 증발원
2 2
제1항에서,상기 도가니는 탄소 또는 탄화규소 재질로 이루어지고,상기 가열 수단은, 상기 도가니의 자체 발열에 상기 증발물질을 가열하도록 상기 도가니에 전원을 인가하기 위한 전원 공급기;를 포함하는 다중 증발원
3 3
제1항에서, 서로 인접한 상기 배출구에서 각기 다른 상기 증발물질의 증기가 배출되도록 하는 다중 증발원
4 4
삭제
5 5
제1항에서,상기 멤브레인(membrane)은 탄소 섬유로 이루어지는 다중 증발원
6 6
제1항의 상기 다중 증발원를 이용해 상기 증발물질을 증착시켜 박막을 형성하는 박막 형성 장치에 있어서, 상기 장입관을 통해 연결되어 상기 도가니의 충전공간으로 공급되는 상기 증발물질을 담아 저장하는 증발물질 저장고; 상기 장입관에 구비되어 상기 증발물질 저장고로부터 상기 도가니의 상기 충전공간으로 공급되는 상기 증발물질의 공급량을 조절하기 위한 게이트 밸브; 및상기 배출구가 형성된 상기 도가니의 하측에 인접하게 상기 기판을 이송 공급하는 기판 이송 수단;을 포함하는 박막 형성 장치
7 7
제6항에서, 상기 장입관을 냉각하기 위한 냉각 수단;을 더 포함하는 박막 형성 장치
8 8
제6항에서,상기 장입관에 연결되어, 상기 도가니 내부로 이송 기체를 공급하는 기체 공급관;을 더 포함하는 박막 형성 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.