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미소입자를 포함하는 유체가 통과하도록 형성된 적어도 하나의 관통홀을 갖는 기판;상기 기판에 구비되고, 상기 관통홀을 둘러싸며 서로 이격 배치된 제1 및 제2 전극들; 및상기 제1 및 제2 전극들에 전기적으로 연결되고, 상기 관통홀에 전기장을 인가하며 상기 관통홀을 통과한 미소입자를 검출하기 위한 검출부를 포함하는 미소입자 검출 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 전극들 각각은 상기 관통홀을 둘러싸는 폐루프를 형성하는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 전기장은 상기 관통홀 내에서 균일하게 분포되는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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제 3 항에 있어서, 상기 관통홀은 연장 방향을 따라 일정한 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제1 전극은 상기 기판의 제1 면 상에 구비되고, 상기 제2 전극은 상기 기판의 제1 면과 마주하는 제2 면 상에 구비되는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제1 전극은 상기 기판의 서로 마주하는 제1 면 및 제2 면 중 어느 하나의 면 상에 구비되고, 상기 제2 전극은 상기 기판의 내부에 구비되는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 서로 동일하거나 다른 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 검출부는상기 제1 및 제2 전극들 사이에 전압을 인가하는 전원; 및상기 제1 및 제2 전극들 사이의 전기 신호를 측정하는 측정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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제 8 항에 있어서, 도전 패턴들은 상기 기판 상에 형성되며 상기 제1 및 제2 전극들에 각각 연결되는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 기판 상에 형성되며 상기 도전 패턴들을 커버하는 절연막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 관통홀은 다수개가 구비되고, 상기 기판 상에서 상기 관통홀들 사이에 형성되는 추가 구조물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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미소입자를 포함하는 유체의 흐름을 위한 공간을 제공하는 유로;상기 유로 내에 구비되며, 서로 마주하는 제1 면 및 제2 면을 가지고 상기 제1 면으로부터 상기 제2 면까지 연장하는 관통홀을 제공하는 기판; 및상기 관통홀을 따라 전기장을 형성하기 위한 제1 및 제2 전극들을 갖는 전극부를 포함하는 미소입자 검출 장치
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제 12 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 전극들은 상기 관통홀을 둘러싸며 상기 관통홀의 연장 방향을 따라 이격 배치되는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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제 13 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 전극들 각각은 상기 관통홀을 둘러싸는 폐루프를 형성하는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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15
제 14 항에 있어서, 상기 전기장은 상기 관통홀 내에서 균일하게 분포되는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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제 12 항에 있어서, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 서로 동일하거나 다른 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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제 12 항에 있어서,상기 제1 및 제2 전극들에 연결되어 상기 제1 및 제2 전극들 사이에 전압을 인가하는 전원; 및상기 제1 및 제2 전극들 사이의 전기 신호를 측정하는 측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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제 17 항에 있어서, 도전 패턴들은 상기 기판 상에 형성되며 상기 제1 및 제2 전극들에 각각 연결되는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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제 18 항에 있어서, 상기 기판 상에 형성되며 상기 도전 패턴들을 커버하는 절연막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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제 12 항에 있어서, 상기 관통홀은 다수개가 구비되고, 상기 기판 상에서 상기 관통홀들 사이에 형성되는 추가 구조물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미소입자 검출 장치
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