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폴리머 기질과 금속입자를 포함하는 복합 유전막에 있어서, 상기 금속입자는 티올 화합물로 처리 후, 세라믹으로 코팅된 것을 특징으로 하는 복합 유전막
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제 1 항에 있어서, 상기 티올 화합물은 말단기에 -OH , -COOH, -NH3, -C≡N, -SO2, -NO2 의 친수성 관능기를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 유전막
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제 1 항에 있어서, 상기 폴리머는 폴리우레탄 공중합체, 셀룰로오스계 유도체, 폴리메틸메스아크릴레이트(PMMA), 폴리메틸아크릴레이트(PMA), 폴리아크릴 공중합체, 폴리비닐아세테이트(PVAc), 폴리비닐아세테이트 공중합체, 폴리비닐알콜(PVA), 폴리퍼퓨릴알콜(PPFA), 폴리스틸렌, 폴리스틸렌 공중합체, 폴리에틸렌 옥사이드(PEO), 폴리프로필렌옥사이드(PPO), 폴리에틸렌옥사이드 공중합체, 폴리프로필렌옥사이드 공중합체, 폴리카보네이트(PC), 폴리비닐클로라이드(PVC), 폴리카프로락톤, 폴리비닐피롤리돈(PVP), 폴리비닐풀루오라이드, 폴리비닐리덴풀루오라이드, 폴리이미드 및 폴리에틸렌테레프탈레이트 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상인 것을 특징으로 하는 복합 유전막
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제 1 항에 있어서, 상기 금속입자는 Ag, Fe, Ni, Al, Au, Pt, Cu, Mo, Cr, Ti 또는 Ta인 것을 특징으로 하는 복합 유전막
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제 1 항에 있어서, 상기 세라믹은 ZrO2, TiO2, BaTiO3, Al2O3, Ta2O5, SrTiO3, (Ba,Sr)TiO3, (Pb,Zr)TiO3, Pb(Mg,Nb)O3-PbTiO3 또는 Bi1
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제 1 항에 있어서, 상기 금속입자는 고분자 부피의 0
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금속 입자 현탁액 표면에 티올 화합물 용액을 첨가시킨 다음, 비이온 계면활성제로 처리하는 단계;상기 비이온 계면활성제가 처리된 금속 입자 표면에 세라믹 전구체 졸 용액을 반응시켜 표면을 코팅하는 단계;상기 세라믹 전구체가 코팅된 금속 입자를 가열하여 세라믹이 코팅된 금속 분말을 얻는 단계;유기용매 내에 폴리머를 용해시켜 폴리머 기질을 얻는 단계;상기 세라믹이 코팅된 금속 분말을 상기 폴리머 기질 내에 분산시켜 현탁액을 형성하는 단계; 및기판 상에 상기 현탁액을 도포하고 열처리하여 복합 유전막을 제조하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 유전막의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 금속입자 현탁액은 메탄올, 에탄올, 프로판올, 부탄올, 이소프로판올, 디메틸포름아마이드(Dimethylformamide), 디메틸아세트아마이드(Dimethylacetamide) 및 디메틸 술폭사이드(Dimethyl sulfoxide) 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상의 용매에 금속분말을 분산시켜 제조된 것임을 특징으로 하는 복합 유전막의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 티올 화합물은 말단기가 -OH, -COOH, -NH3, -C≡N, -SO2, -NO2의 친수성 관능기로 되어있는 것을 특징으로 하는 복합 유전막의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 비이온 계면활성제는 폴리비닐피롤리돈, 폴리옥시에틸렌알킬에테르, 폴리옥시에틸렌지방산에스테르 폴리옥시에틸렌알킬페놀에테르, 소르비탄지방산에스테르 및 폴리옥시에틸렌소르비탄지방산에스테르 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상인 것을 특징으로 하는 복합 유전막의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 세라믹 전구체는 지르코늄 알콕사이드, 지르코늄 이소프로폭사이드, 티타늄 알콕사이드, 티타늄(IV) 클로라이드, 티타늄(IV) 부톡사이드, 바륨티타네이트(BaTiO3) 또는 리드 지르코늄 티타네이트(Pb,Zr)TiO3 인 것을 특징으로 하는 복합 유전막의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 유기용매는 메탄올, 에탄올, 프로판올, 부탄올, 이소프로판올, 디메틸포름아마이드(Dimethylformamide), 디메틸아세트아마이드(Dimethylacetamide), 디메틸 술폭사이드(Dimethyl sulfoxide) 중에서 선택된 1종 또는 2종 이상인 것을 특징으로 하는 복합 유전막의 제조방법
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청구항 1 내지 6 중에서 선택된 어느 한 항의 복합 유전막을 구비하는 것을 특징으로 하는 내장형 캐패시터
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