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입자형 모재에 균일한 코팅이 가능한 ＣＶＤ 다이아몬드합성 장치

  • 기술번호 : KST2015121262
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 입자 형상의 모재 표면에 균일한 다이아몬드 막을 증착할 수 있는 CVD 다이아몬드 합성 장치에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명에서는 CVD 다이아몬드 합성용 진공용기를 기울일 수 있는 기구를 설치하고, 또한 이 진공용기 내에 모재 입자가 놓이는 기판을 고정하는 기판지지대를 회전시키는 기구를 설치한다. 이에 따라, 다이아몬드 합성 중에 진공용기를 일정 각도로 기울게 하고 기판지지대를 회전시켜 모재 입자를 움직이게 함으로써, 직경 50㎛ ∼ 5㎜의 모재 입자 상에 균일한 다이아몬드 증착을 가능하게 한다. CVD, 다이아몬드 합성 장치, 기울임, 회전
Int. CL C23C 16/27 (2006.01)
CPC C23C 16/27(2013.01) C23C 16/27(2013.01) C23C 16/27(2013.01) C23C 16/27(2013.01)
출원번호/일자 1020070006275 (2007.01.19)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0848818-0000 (2008.07.22)
공개번호/일자 10-2008-0068452 (2008.07.23) 문서열기
공고번호/일자 (20080728) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.01.19)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재갑 대한민국 서울 노원구
2 이욱성 대한민국 서울 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조정구 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 포스코센터 지적재산그룹(포스코) **층 (대치동)
2 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2007-0058795-05
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.11.09 수리 (Accepted) 9-1-2007-0067645-29
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0017961-64
5 [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2008.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2008-0154370-79
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.03.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0188604-09
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.03.14 수리 (Accepted) 1-1-2008-0188601-62
8 등록결정서
Decision to grant		 2008.07.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0362905-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판지지대를 구비하는 CVD 다이아몬드 합성용 용기와; 상기 기판지지대를 회전시키는 회전기구와;CVD 다이아몬드 합성시 상기 기판지지대의 상면이 지면(地面)에 대하여 기울어지도록 상기 용기를 고정하는 기울임 기구;를 포함하는CVD 다이아몬드 합성 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 기울임 기구는, 상기 용기의 적어도 일 측면에 결합하는 타워부와, 상기 타워부와 연결되어 상기 타워부가 서도록 지지하는 받침부를 포함하며,상기 타워부는 상기 용기의 일 측면에 복수의 결합 점에서 결합하되 상기 복수의 결합 점 중 하나는 고정된 것을 특징으로 하는 CVD 다이아몬드 합성 장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 기울임 기구는, 상기 용기의 적어도 일 측면에 결합하는 보조기구와, 상기 보조기구에 복수의 결합 점에서 결합하는 타워부와, 상기 타워부와 연결되어 상기 타워부가 서도록 지지하는 받침부를 포함하며,상기 복수의 결합 점 중 하나는 고정된 것을 특징으로 하는 CVD 다이아몬드 합성 장치
4 4
제 1 항에 있어서,상기 기판지지대의 회전축과 상기 기준면의 수직축이 이루는 각도는 0°초과 45°이하인 것을 특징으로 하는 CVD 다이아몬드 합성 장치
5 5
제 1 항에 있어서,상기 기판지지대 상면의 가장자리에 걸림턱이 형성된 것을 특징으로 하는 CVD 다이아몬드 합성 장치
6 6
제 1 항에 있어서,상기 합성 장치는 상기 기판지지대 위에 놓이는 기판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 CVD 다이아몬드 합성 장치
7 7
제 6 항에 있어서,상기 기판 상면의 가장자리에 걸림턱이 형성된 것을 특징으로 하는 CVD 다이아몬드 합성 장치
8 8
제 6 항에 있어서,상기 기판 상면에 일정 깊이를 갖는 복수의 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 CVD 다이아몬드 합성 장치
9 9
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패밀리정보가 없습니다
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