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초경모재 상에 제 1 박막층과 제 2 박막층을 순차적으로 증착하며, 상기 제 1 박막층과 제 2 박막층은 결정상의 다이아몬드박막이며, 상기 제 1 박막층은 제 2 박막층에 대비하여 상대적으로 큰 압축잔류응력을 갖도록 증착되고, 상기 제 2 박막층은 제 1 박막층에 대비하여 상대적으로 작은 압축잔류응력을 갖도록 증착되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 박막층의 입자 크기는 제 2 박막층의 입자 크기보다 상대적으로 큰 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구 제조방법
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제 1 항에 있어서, 제 2 박막층은 제 1 박막층에 대비하여 상대적으로 큰 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 박막층 및 제 2 박막층은 화학기상증착공정을 통해 증착되며, 제 1 박막층과 제 2 박막층의 압축잔류응력은 공정온도, 증착압력, 기체 조성 중 적어도 어느 하나를 제어하여 조절하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 박막층의 증착 전에, 상기 초경모재의 표면을 식각하여 표면에 요철을 형성하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 박막층과 초경모재의 계면에 작용하는 전단력(shear force)은, 003c#제 1 박막층의 압축잔류응력(∑P1) × 제 1 박막층의 두께(t1)003e#과 003c#제 2 박막층의 압축잔류응력(∑P2) × 제 2 박막층의 두께(t2)003e#의 합에 비례하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구 제조방법
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초경모재 상에 순차적으로 적층된 제 1 박막층 및 제 2 박막층을 포함하여 이루어지며, 상기 제 1 박막층과 제 2 박막층은 결정상의 다이아몬드박막이며, 상기 제 1 박막층의 입자 크기는 상기 제 2 박막층의 입자 크기에 대비하여 상대적으로 크며, 상기 제 1 박막층과 초경모재의 계면에 작용하는 전단력(shear force)은 003c#제 1 박막층의 압축잔류응력(∑P1) × 제 1 박막층의 두께(t1)003e#과 003c#제 2 박막층의 압축잔류응력(∑P2) × 제 2 박막층의 두께(t2)003e#의 합에 비례하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구
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제 10 항에 있어서, 상기 제 2 박막층의 두께는 상기 제 1 박막층의 두께에 대비하여 상대적으로 큰 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구
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