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다이아몬드 코팅공구 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015121910
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초경모재 상에 코팅되는 다이아몬드박막을 제 1 박막층과 제 2 박막층의 이중층으로 구성하고, 제 1 박막층과 제 2 박막층의 압축잔류응력을 제어함으로써 다이아몬드박막과 초경모재 사이의 기계적 결합력을 향상시킴과 함께 다이아몬드박막의 박리 현상을 억제하여 다이아몬드 코팅공구 상에 코팅되는 다이아몬드박막의 두께를 증가시킬 수 있는 다이아몬드 코팅공구 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다이아몬드 코팅공구 제조방법은 초경모재 상에 제 1 박막층과 제 2 박막층을 순차적으로 증착하며, 상기 제 1 박막층과 제 2 박막층은 결정상의 다이아몬드박막이며, 상기 제 1 박막층은 제 2 박막층에 대비하여 상대적으로 큰 압축잔류응력을 갖도록 증착되고, 상기 제 2 박막층은 제 1 박막층에 대비하여 상대적으로 작은 압축잔류응력을 갖도록 증착되는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 28/00 (2006.01) C23C 16/02 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) B23B 27/14 (2006.01)
CPC C23C 28/04(2013.01)
출원번호/일자 1020140018402 (2014.02.18)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1562950-0000 (2015.10.19)
공개번호/일자 10-2015-0097177 (2015.08.26) 문서열기
공고번호/일자 (20151023) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.02.18)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 백영준 대한민국 서울특별시 성동구
2 박종극 대한민국 서울특별시 서초구
3 이욱성 대한민국 서울특별시 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-0156825-95
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0025624-74
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0356548-69
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.06.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0634738-34
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-0634756-56
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2015.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0526875-72
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.08.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0806644-86
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.08.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0806643-30
10 등록결정서
Decision to grant
2015.09.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0661137-84
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번호 청구항
1 1
초경모재 상에 제 1 박막층과 제 2 박막층을 순차적으로 증착하며, 상기 제 1 박막층과 제 2 박막층은 결정상의 다이아몬드박막이며, 상기 제 1 박막층은 제 2 박막층에 대비하여 상대적으로 큰 압축잔류응력을 갖도록 증착되고, 상기 제 2 박막층은 제 1 박막층에 대비하여 상대적으로 작은 압축잔류응력을 갖도록 증착되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 박막층의 입자 크기는 제 2 박막층의 입자 크기보다 상대적으로 큰 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서, 제 2 박막층은 제 1 박막층에 대비하여 상대적으로 큰 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 박막층 및 제 2 박막층은 화학기상증착공정을 통해 증착되며, 제 1 박막층과 제 2 박막층의 압축잔류응력은 공정온도, 증착압력, 기체 조성 중 적어도 어느 하나를 제어하여 조절하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구 제조방법
5 5
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6 6
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7 7
삭제
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 박막층의 증착 전에, 상기 초경모재의 표면을 식각하여 표면에 요철을 형성하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구 제조방법
9 9
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 박막층과 초경모재의 계면에 작용하는 전단력(shear force)은, 003c#제 1 박막층의 압축잔류응력(∑P1) × 제 1 박막층의 두께(t1)003e#과 003c#제 2 박막층의 압축잔류응력(∑P2) × 제 2 박막층의 두께(t2)003e#의 합에 비례하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구 제조방법
10 10
초경모재 상에 순차적으로 적층된 제 1 박막층 및 제 2 박막층을 포함하여 이루어지며, 상기 제 1 박막층과 제 2 박막층은 결정상의 다이아몬드박막이며, 상기 제 1 박막층의 입자 크기는 상기 제 2 박막층의 입자 크기에 대비하여 상대적으로 크며, 상기 제 1 박막층과 초경모재의 계면에 작용하는 전단력(shear force)은 003c#제 1 박막층의 압축잔류응력(∑P1) × 제 1 박막층의 두께(t1)003e#과 003c#제 2 박막층의 압축잔류응력(∑P2) × 제 2 박막층의 두께(t2)003e#의 합에 비례하는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 제 2 박막층의 두께는 상기 제 1 박막층의 두께에 대비하여 상대적으로 큰 것을 특징으로 하는 다이아몬드 코팅공구
12 12
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