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매쉬를 가지는 지지체; 상기 지지체 상에 위치하고 졸-겔 법에 의하여 얻어지는 다공성 물질의 코팅층; 및 상기 다공성 물질의 코팅층에 위치하는 자기 조립 단분자막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 센서용 복합 분리막 구조체
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제 1 항에 있어서, 상기 자기 조립 단분자막은 소유성(oleophobic) 및 소수성(hydrophobic)을 동시에 지니는 것을 특징으로 하는 가스 센서용 복합 분리막 구조체
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제 2 항에 있어서,상기 자기 조립 단분자 막은 불화 탄화수소계 실란으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스 센서용 복합 분리막 구조체
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제 3 항에 있어서,상기 매쉬를 가지는 지지체는 금속 또는 세라믹 지지체인 것을 특징으로 하는 가스 센서용 복합 분리막 구조체
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제 4 항에 있어서,상기 졸-겔 법에 의하여 얻어지는 다공성 물질은 전구체로서, 메틸트리메톡시실란(methyl trimethoxi silane), 테트라메톡시실란(tetramethoxi silane), 디메틸디메톡시실란(dimethyldimethoxi silane), 테트라에톡시실란(tetraethoxi silane), 메틸트리에톡시실란(methyl triethoxi silane), 디메틸디에톡시실란(dimethyldiethoxi silane), 페닐트리메톡시실란(phenyl trimethoxi silane), 디페닐디메톡시실란(diphenyldimethoxi silane), 페닐트리에톡시실란(phenyl triethoxi silane), 디페닐디에톡시실란(diphenyldiethoxi silane), 데실트리메톡시 실란(decyltrimethoxi silane) 및 이소부틸트리메톡시 실란(isobutyltrimethoxi)으로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 하나 이상의 알콕시실란류 또는 M(OR)x [여기서, M은 금속 또는 준금속, R은 탄소수 1 내지 10의 알킬기]로 표현되는 알콕시화합물의 단독 또는 혼합물을 이용하여 졸-겔 법으로 얻어지는 중합체 물질인 것을 특징으로 하는 가스 센서용 복합 분리막 구조체
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반도체 가스 센서; 및 상기 반도체 가스 센서와 이격하여 위치하는 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항의 복합 분리막 구조체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 센서 장치
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제 6 항에 있어서,상기 가스 센서 장치는, 상기 반도체 가스 센서와 상기 복합 분리막 구조체가 수용 또는 장착되는 하우징; 상기 반도체 가스 센서를 지지하는 하부 판; 및상기 복합 분리막 구조체를 상부에서 덮는 상부 판;을 포함하는 것이고, 상기 하부 판과 상기 상부 판이 각각 상기 하우징과 체결되는 것을 특징으로 하는 가스 센서 장치
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제 7 항에 있어서,상기 가스 센서 장치는, 상기 복합 분리막 구조체의 일측 또는 양측에 위치하는 가스 시일용 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 센서 장치
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제 7 항에 있어서,상기 가스 센서 장치는, 상기 하우징 내에 시일 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 센서 장치
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제 6 항에 있어서,상기 가스 센서 장치는 하나의 상기 복합 분리막 구조체; 및 상기 반도체 가스 센서가 두 개 이상 배열된 반도체 가스 센서 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 센서 장치
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제 10 항에 있어서,상기 가스 센서 장치는, 상기 반도체 가스 센서 어레이를 수용 또는 장착하는 제 1 하우징; 상기 복합 분리막 구조체를 수용 또는 장착하는 제 2 하우징; 상기 제 1 하우징의 하부에 체결되는 엔드 캡; 및 상기 제 2 하우징의 상부에 체결되는 어댑터;를 포함하고, 상기 제 1 하우징과 상기 제 2 하우징이 상호 체결되는 것을 특징으로 하는 가스 센서 장치
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제 11 항에 있어서,상기 가스 센서 장치는, 상기 복합 분리막 구조체의 일측 또는 양측에 위치하는 가스 시일용 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 센서 장치
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제 11 항에 있어서,상기 가스 센서 장치는, 상기 제 1 하우징 또는 제 2 하우징 중 하나 이상의 하우징 내에 시일 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 센서 장치
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제 11 항에 있어서,상기 가스 센서 장치는, 상기 제 1 하우징과 상기 엔드 캡을 연결하는 연결 부재를 추가로 구비하는 가스 센서 장치
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제 6 항에 있어서,상기 가스 센서 장치는 변압기의 절연유에 접촉하거나 또는 절연유의 증기(fume)에 접촉하여 센싱을 수행하는 것을 특징으로 하는 가스 센서 장치
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