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분산용매 및 분산제를 혼합하여 분산용액을 제조하는 제1혼합단계,바인더 및 가소제를 상기 분산용액과 혼합하여 일액형용액을 제조하는 제2혼합단계,세라믹 분말과 상기 일액형용액을 혼합하여 세라믹 슬러리를 제조하는 제3혼합단계, 그리고기재(器財) 상에 상기 세라믹 슬러리를 도포, 건조하여 세라믹 시트를 포함하는 그린시트를 제조하는 필름형성단계,를 포함하고, 상기 분산용매는 톨루엔, 메탄올, 에탄올 및 이소프로필 알코올로 이루어진 군에서 선택된 2 이상의 용매를 포함하는 혼합용매인 것인, 그린시트의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 분산용매는, 톨루엔과 에탄올을 포함하는 혼합용매인 것인, 그린시트의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 분산제는, 어유(fish oil), 폴리에틸렌글리콜(PEG), 알코올 폴리 옥시 에틸렌 에테르(AE), 모노글리세라이드(Monoglyceride), 솔비탄에스테르(Sorbitan ester), 비이온계 계면활성제 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 비이온계 분산제인 것인, 그린시트의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 바인더는, 셀롤로오스(cellulose), 폴리비닐부티랄(PVB, polyvinyl butyral), 폴리메틸 메타크릴레이트(PMMA, polymethyl methacrylate), 폴리아크릴 에스테르(polyacryl esters) 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함하는 것인, 그린시트의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 가소제는 부틸 벤질 프탈레이트 (BBP, butyl benzyl phthalate), 디부틸 프탈레이트(DBP, dibuthyl phthalate), 디옥틸 프탈레이트(DOP, di-octyl-phthalate), 디옥틸아디페이트(DOA, di-octyl-adipate) 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함하는 것인, 그린시트의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 세라믹 분말은 평균 입경이 100 nm 이하인 것인, 그린시트의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 세라믹 슬러리는, 세라믹 분말 100 중량부를 기준으로, 분산용매 24 내지 36 중량부, 바인더 2 내지 4 중량부, 가소제 2 내지 4 중량부, 그리고 분산제 2 내지 4 중량부를 포함하는 것인, 그린시트의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 제1혼합단계에서 혼합은, 1 내지 2 시간 동안 이루어지는 것인, 그린시트의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제2혼합단계에서 혼합은, 2 내지 3 시간 동안 이루어지는 것인, 그린시트의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제3혼합단계에서 혼합은, 20 내지 28 시간 동안 볼 밀링(ballmilling)하여 이루어지는 것인, 그린시트의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 세라믹 시트는 그 두께가 250 ㎛ 이하인 것인 그린시트의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 그린시트는 150도 이상으로 구부려도 세라믹 시트에 크랙이 발생하지 않은 것인, 그린시트의 제조 방법
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제14항 또는 제15항에 따른 방법으로 제조된 그린시트에 포함되는 세라믹 시트를 포함하는, 센서
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